運輸箱與載具
單晶圓和多晶圓運輸容器，具有防靜電保護和潔淨室級包裝。
概述
晶圓運輸是半導體供應鏈中的關鍵環節——一片製造完美的晶圓若在送達時帶有微粒污染、機械損傷或 ESD 劣化，即代表價值完全毀損。無論您是在晶圓廠之間運送正品晶圓、送出進行代工製程，或將成品晶圓交付給 OSAT 封裝廠，運輸容器都是您最後且最重要的防線。
GINECHIP 提供全方位的晶圓運輸箱與載具系列，專為國際物流設計：配備精密加工泡棉緩衝、適用於高價值 SOI 或圖案化晶圓的單晶圓運輸盒；可運輸整批 25 片晶圓卡匣的多晶圓運輸盒；具備選配氮氣回填、適用於易氧化材料的真空密封容器；以及適用於閘極氧化層低於 2nm 的先進 CMOS 元件的防靜電法拉第籠設計。
運輸箱類型
單片晶圓運輸盒
為最高價值的晶圓精密打造——SOI、圖案化晶圓、光罩級空白基板及特殊基板。
- 個別緩衝——晶圓間零接觸
- 可選配真空埠以實現氣密密封
- 選配氮氣回填，適用於易氧化晶圓
- 提供衝擊指示器與傾斜指示器標籤
多片晶圓運輸盒
經濟高效的解決方案，透過導電泡棉隔板與卡匣式內盒設計運送多片晶圓（2-25片）。
- 2、6、13 或 25 片晶圓容量
- 每片晶圓之間使用導電 PE 泡棉隔板
- 盒中卡匣設計，相容於晶圓廠自動化
- 可堆疊，便於高效托盤裝載
真空密封晶圓運輸容器
配備真空閥的氣密密封容器，適用於濕度敏感及易氧化材料。
- 洩漏率：< 1×10⁻⁶ atm·cc/sec（He）
- 隨附濕度指示卡（標準配備）
- 乾燥劑包整合於上蓋內
- 適用於 GaAs、InP 及其他 III-V 基板
扣殼式晶圓載具
輕量鉸鏈式扣殼載具，適用於高頻取用場景，具備快速開合鎖扣。
- 單一動作扣鎖，便於戴手套操作
- 透明 PC 上蓋，無需開蓋即可目視檢查晶圓
- 輕量化：較鋁製替代方案輕 50%
- 可堆疊，採用互鎖底座／上蓋設計
技術規格
| 參數 | 可用範圍 / 值 |
|---|---|
| 類型 | Single-wafer shipper, Multi-wafer shipper (25/13 wafer), Clamshell, Vacuum-sealed, Foam-lined |
| 晶圓直徑 | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| 容量 | 1 wafer, 2–6 wafers, 13 wafers, 25 wafers (standard cassette), custom |
| 本體材料 | Conductive PP, Antistatic PC, ABS, PEEK, PTFE, Aluminum (anodized) |
| 緩衝材料 | Conductive PE foam, Antistatic PU foam, PTFE inserts, PEEK wafer separators |
| ESD 防護 | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq; Conductive: < 10⁴ Ω/sq; Faraday cage designs |
| 密封類型 | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, Latch-lock, Tamper-evident tape, Nitrogen backfill port |
| 無塵室等級 | ISO Class 4–5 (Class 10–100) cleanroom assembled and packaged |
| 標準規範 | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H packaging (dangerous goods option) |
| 溫度範圍 | Standard: -20°C to +80°C; Premium PEEK: -40°C to +260°C |
| 客製化 | Custom foam inserts, company logo, barcode labels, RFID tag slots, color coding |
ESD保護與包裝完整性
靜電防護等級
- 靜電耗散型——10⁶–10⁹ Ω/sq 表面電阻率，實現受控電荷釋放；適用於大多數元件技術
- 導電型——< 10⁴ Ω/sq，實現快速電荷耗散；為 ESD 敏感度低於 100V HBM 的元件所必需
- 法拉第籠——全金屬或金屬化外殼，提供完整的靜電屏蔽；等效於 MIL-PRF-81705 Type III
- 埋置屏蔽層——金屬化內襯搭配耗散型外殼；兼具法拉第籠效能與外部 ESD 安全性
機械防護
- 衝擊吸收——導電 PE／PU 泡棉，依 ISTA 3A 在 1m 落下高度提供 25–50G 減速度
- 震動阻尼——泡棉順應性針對 5–500Hz 運輸震動頻譜調校
- 抗壓強度——強化邊角與帶肋條的箱體結構，可承受最高 100kg 的堆疊負載
- 衝擊指示器——G 力衝擊指示器（25G、50G、75G 閾值）與傾斜指示器，用於物流品質保證
國際運輸合規
ISTA 3A
模擬包裹配送與零擔（LTL）貨運環境的包裝性能測試。我們的運輸盒通過 ISTA 3A 所定義、適用於最高 70kg 包裹的落下、震動與大氣調節測試。
ASTM D4169
運輸容器與系統性能測試的標準實務。涵蓋搬運、壓縮、震動與低壓（海拔）測試——全部已針對我們的運輸箱設計完成驗證。
UN 4G / 4H
通過 UN 認證的纖維板（4G）與塑膠（4H）包裝，適用於受管制材料。可提供給需要危險品分類的晶圓（例如經特定化學處理的某些 III-V 基板）。
應用
品質與認證
每個運輸箱均在 ISO Class 5（Class 100）無塵室環境中組裝與包裝。品質保證包括：符合 IEST-RP-CC005 的微粒計數驗證、符合 ANSI/ESD STM11.11 的ESD 性能測試、符合 ASTM E595 的逸氣分析（如指定），以及每次設計變更時符合 ISTA 3A 的落下測試。通過 ISO 9001:2015 認證的品質管理，從原材料到最終出貨具備完整批次追溯。