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多片晶圓運輸盒
經濟高效的載具，每盒可運輸2至25片晶圓，採用導電泡棉隔板及卡匣式內盒設計。
2–25 Wafers容量
100mm–300mm晶圓直徑
Conductive PE Foam隔板材料
Cassette-in-Box自動化介面
概述
多片晶圓運輸盒為晶圓廠及配送中心提供經濟實惠的方式，批量運送測試片、監控片或生產晶圓，而無需承擔單片包裝的單位成本。晶圓透過抗靜電隔片泡棉或置於導電卡匣內襯的專用插槽中隔開，即使在堆疊及棧板負載下仍能保持機械隔離。
卡匣式內盒格式設計可直接與晶圓廠自動化物料搬運系統（AMHS）介接，晶圓可從收貨碼頭直接移至儲位，無需中間轉運步驟。箱體可安全堆疊以提升棧板裝載效率，每款產品均提供2、6、13或25片容量，以符合標準批量。
技術規格
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Capacity | 2, 6, 13, or 25 wafers per box; custom counts available |
| Separator Material | Conductive PE foam interleaf sheets, or conductive cassette insert |
| Body Material | Conductive PP, antistatic PC, ABS |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Automation Interface | Cassette-in-box design compatible with fab AMHS |
| Stacking | Interlocking base/lid for secure pallet loading |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, SEMI E1, ISTA 3A, ASTM D4169 |
應用
測試與監控晶圓分發
在設備驗證場所與晶圓廠之間，經濟地批量運送測試片與監控片。
晶圓廠間批量轉運
在多站點晶圓廠網路之間，以單一導電卡匣內襯進行整批生產晶圓運送。
晶圓代工客戶出貨
向晶圓代工客戶進行標準批量出貨，並可選擇品牌標籤客製化。
棧板級物流
可堆疊箱體設計，針對大批量貨運集拼及倉儲密度進行優化。
品質與認證
多片晶圓運輸盒在ISO Class 4–5無塵室條件下組裝，每張隔片泡棉及卡匣內襯在包裝前均經微粒貢獻度驗證。設計修訂通過ISTA 3A落下與振動測試，每次出貨均附完整ISO 9001:2015批次可追溯性。