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2″–12″ 晶圓尺寸範圍
4 種材料體系 GaAs / InP / SiC / 藍寶石
全檢 CoA XRD、EPD、電阻率映射
SEMI / RoHS / REACH 合規文件
以批量規模採購化合物半導體晶錠 全檢 CoA 與 EPD/電阻率驗證
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市場概述

GaAs 與 InP 晶錠用於射頻與光子製造;SiC 則支撐高功率電子製程;藍寶石晶錠常作為 LED 成長與其他光電應用的基板材料。

每批產品皆附 <strong>完整 CoA</strong>,包含 XRD、EPD 與電阻率映射,以強化可追溯性與批次一致性。材料同時符合 SEMI、RoHS、REACH 以及衝突礦產(Conflict Minerals)要求。

<strong>每顆晶錠皆附完整 CoA 與獨立追溯 ID。</strong>生長文件可核驗,便於來料驗證與製程管控。

GaAs(砷化鎵) 晶錠供應

GaAs 化合物半導體晶錠
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用于化合物半導體製程的 GaAs 晶錠批量供貨:支持 <strong>VGF/LEC</strong>,直徑 2″–6″,提供 SI / N-type / P-type,缺陷密度控制(<strong>EPD &lt; 5×10³/cm²</strong>),最大長度可達 <strong>300 mm</strong>。

生長方式

VGF (Vertical Gradient Freeze)

VGF 生長 GaAs 晶錠,晶體品質更可控:支持 <strong>2″–6″</strong> 直徑規格,並涵蓋 SI / N-type / P-type。典型 EPD 指標:<strong>EPD &lt; 500(4″)</strong>,採用 VGF 生長。

LEC (Liquid-Encapsulated Czochralski)

LEC 生長 GaAs 晶錠面向穩定的化合物半導體供貨:提供 <strong>2″–6″</strong> 直徑規格,並可選 SI / N-type / P-type。典型 EPD 指標:<strong>EPD &lt; 5×10³/cm²</strong>,採用 LEC 生長。

2″ – 6″ (50 – 150 mm) 直徑
< 500 (VGF 4″), < 5×10³ (LEC) EPD
> 10⁷ Ω·cm (SI-GaAs) 電阻率
VGF / LEC 生長
市場焦點: 面向高可靠化合物半導體製造的 GaAs 晶錠——VGF/LEC 工藝與 EPD 指標品質可控。

InP(磷化銦) 晶錠供應

InP 化合物半導體晶錠
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面向 RF/光子及先進化合物半導體應用的 InP 晶錠:支持 <strong>VGF/LEC</strong>,直徑 2″–4″,<strong>EPD &lt; 5×10⁴/cm²</strong> 缺陷密度控制,最大長度 <strong>200 mm</strong>。提供 SI 或 N-type 選項。

生長方式

VGF (Vertical Gradient Freeze)

VGF 生長 InP 晶錠,缺陷水準受控以支持精密化合物半導體生產。典型規格包括 <strong>2″–4″</strong> 直徑與 <strong>EPD &lt; 5×10⁴/cm²</strong>,並可提供 SI 或 N-type。

LEC (Liquid-Encapsulated Czochralski)

LEC 生長 InP 晶錠用於先進化合物半導體產線的穩定供貨:提供 <strong>2″–4″</strong> 直徑,並滿足 <strong>EPD &lt; 5×10⁴/cm²</strong>;電阻率可提供 SI 或 N-type 選項,採用 LEC 生長。

2″ – 4″ (50 – 100 mm) 直徑
< 5×10⁴/cm² (VGF) EPD
SI or N-type available 電阻率
VGF / LEC 生長
市場焦點: 面向光子與射頻器件製造的 InP 晶錠——<strong>VGF/LEC</strong> 生長,EPD 品質受控。

SiC(碳化矽) 晶錠供應

SiC 化合物半導體晶錠
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面向高功率與惡劣環境半導體應用的 SiC 晶錠:採用 <strong>PVT</strong> 工藝,直徑 <strong>4″–8″</strong>,多型體支持 4H-SiC & 6H-SiC,提供 N-type 與 SI;缺陷控制 <strong>MPD &lt; 1/cm²</strong>,最大厚度可達 <strong>50 mm</strong>。

生長方式

PVT (Physical Vapor Transport)

採用 <strong>PVT(物理氣相傳輸)</strong>生長工藝的 SiC 晶錠,提供 <strong>4H-SiC</strong> 與 <strong>6H-SiC</strong> 多型體,並可選 <strong>N 型</strong>與 <strong>SI</strong>。指標包含:4″–8″ 直徑的 <strong>MPD < 1/cm²</strong>;其中 <strong>6″:< 0.5/cm²</strong>、<strong>8″:< 1/cm²</strong>。晶錠厚度最高可達 <strong>50 mm</strong>。

4″ – 8″ (100 – 200 mm) 直徑
< 0.5/cm² (6″), < 1/cm² (8″) MPD
4H-SiC / 6H-SiC 多型體
PVT 生長
市場焦點: 功率電子 • 電動車 • 新能源

藍寶石(Al₂O₃) 晶錠供應

藍寶石(Al₂O₃)材料
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藍寶石(Al₂O₃)材料卡用於晶體生長與晶圓供應,尺寸涵蓋 <strong>2″–12″</strong>(50–300 mm)。晶向可選 <strong>C-plane</strong>、<strong>R-plane</strong> 或 <strong>A-plane</strong>,並提供 <strong>無氣泡(bubble-free)</strong>的 KY/HEM 生長品質。生長方式包括 <strong>KY</strong>、<strong>EFG</strong> 與 <strong>HEM</strong>(其中 KY/HEM 為 <strong>無氣泡</strong>)。

生長方式

Kyropoulos (KY)

採用 Kyropoulos(KY 泡生法)生長藍寶石晶錠,提供 <strong>大直徑</strong>、<strong>低應力</strong>且 <strong>無泡</strong>的高品質材料。直徑範圍 <strong>2″–12″</strong>,單根長度最高 <strong>500 mm</strong>。

EFG (Edge-Defined Film-Fed Growth)

EFG(導模法/Edge-Defined Film-Fed Growth)藍寶石晶錠,著重於高 <strong>成形效率</strong>與穩定的規則截面幾何。提供 <strong>無泡</strong>品質;晶錠生長路線涵蓋 KY / EFG / HEM,並支援最高 <strong>2″–12″</strong> 直徑規格。

HEM (Heat Exchanger Method)

HEM(熱交換法/Heat Exchanger Method)藍寶石晶錠,面向 <strong>高品質</strong>晶體生長與 <strong>更少位錯</strong>的要求。適用於更大直徑的量產需求,並在 KY / EFG / HEM 各種生長線上提供 <strong>無泡</strong>輸出。

2″ – 12″ (50 – 300 mm) 直徑
C-plane / R-plane / A-plane 晶向
Bubble-free (KY/HEM) 氣泡含量
KY / EFG / HEM 生長
市場焦點: 市場焦點:LED 基板、光電、消費電子——面向先進化合物半導體製程的可靠藍寶石晶錠供應。

晶錠良率優勢

以受控缺陷目標打造穩定批次輸出。完善的品質文件有助於降低切割損耗,支援製程可重複性。

長晶良率

具備高資質通過率,成長控制可重複。以低 EPD 目標為核心,確保性能一致。

缺陷目標:EPD<5×10³/cm²(GaAs,300mm) 合格輸出:依 CoA(XRD+EPD+電阻率映射)對齊批次驗收

批次一致性

以獨立晶錠 ID 與生長批次履歷實現嚴密追溯;種子系譜與映射性質支援跨批次穩定製程。

追溯包:獨立晶錠 ID+生長批次履歷+種子系譜 品質文件:完整 CoA,包含 XRD、EPD 與電阻率映射

交期與起訂量

化合物半導體晶錠批量交期依材料列示。下單前請確認供貨狀態與吸濕材料的氮氣密封需求。

材料標準交期最小起訂量交貨週期
GaAs(VGF,4″–6″) 2–4 週 5 根 3–5 週
InP(VGF,2″–4″) 4–6 週 5 根(氮氣密封包裝) 5–7 週
SiC(PVT,6″–8″) 6–10 週 3 根 8–14 週
藍寶石(KY,4″–12″) 8–12 週 2 根 10–16 週

<strong>交期總結</strong>:大批量與長期合約可議價。MOQ 可依您的專案時程與需求預估進行協商。

掺杂與導電性控制

我們提供化合物半導體晶錠的<strong>半絕緣</strong>與<strong>導電型</strong>方案。依材料與客戶需求定制掺杂種與目标浓度,滿足 SiC(4H/6H)用於射頻/光電襯底,以及 GaAs/InP 用於光電與電子應用。

半絕緣(SI)

用於確保器件穩定運作的高電阻率半絕緣牌號。典型:<strong>SI-GaAs:電阻率 &gt;10⁷ Ω·cm</strong>;<strong>SI-InP</strong>。同時提供用於射頻/光電襯底之高阻 SiC。

定制掺杂

依您的目标<strong>电阻率</strong>/<strong>载流子浓度</strong>进行掺杂定制。确保掺杂分布均匀与批次一致性,支持可靠的製程与器件加工。掺杂浓度可依需求配置。

應用領域

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GaAs 射頻與通信

適用於無線終端與射頻前端器件製造,選用 <strong>GaAs</strong> 晶錠(VGF/LEC,2″–6″,SI/N/P 型),並滿足 <strong>EPD &lt; 5×10³/cm²</strong>,支持 300mm 製程。

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InP 光子器件

面向光通信與光電器件應用,選用 <strong>InP</strong> 晶錠(VGF/LEC,2″–4″,N 型/SI),<strong>EPD &lt; 5×10⁴/cm²</strong> 適配 200mm 晶圓加工。

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SiC 功率電子

用於高可靠功率器件與嚴苛環境應用,採用 <strong>SiC</strong> 晶錠(PVT,4″–8″,4H/6H,N & SI),並實現 <strong>MPD &lt; 1/cm²</strong>,支撐穩定的 50mm 製造。

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藍寶石 LED 照明

面向 LED/照明與藍寶石基板製備應用,選用 <strong>藍寶石(Al₂O₃)</strong> 晶錠(KY/EFG/HEM,2″–12″),提供 C/R/A-plane 並具備 <strong>無氣泡</strong>品質,支持 500mm 大規模加工。

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科研與外延

支持複合半導體的實驗與外延層堆疊開發,可根據工藝選取合適的 <strong>GaAs</strong>(VGF/LEC,2″–6″,EPD &lt; 5×10³/cm²)、<strong>InP</strong>(VGF/LEC,2″–4″,EPD &lt; 5×10⁴/cm²)或 <strong>SiC</strong>(PVT,4″–8″,MPD &lt; 1/cm²)晶錠。

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航太級半導體

面向衛星通信與航太電子設備對耐用晶圓的需求,結合 <strong>GaAs</strong>(VGF/LEC,2″–6″,EPD &lt; 5×10³/cm²,300mm)以及 <strong>InP</strong>(VGF/LEC,2″–4″,EPD &lt; 5×10⁴/cm²,200mm)用於光子整合。

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工業晶圓量產

用於複合材料晶錠的規模化量產:<strong>SiC</strong>(PVT,4″–8″,4H/6H,N & SI,MPD &lt; 1/cm²)支持可靠的 50mm 加工;<strong>藍寶石</strong>(KY/EFG/HEM,2″–12″,無氣泡)為 500mm 供基板提供穩定原料。

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化合物基板供給

匹配化合物半導體工廠與晶圓製造需求,提供 <strong>GaAs</strong>(VGF/LEC,2″–6″,SI/N/P 型,EPD &lt; 5×10³/cm²)、<strong>InP</strong>(VGF/LEC,2″–4″,N 型/SI,EPD &lt; 5×10⁴/cm²)、<strong>SiC</strong>(PVT,4″–8″,MPD &lt; 1/cm²)以及 <strong>藍寶石</strong>(KY/EFG/HEM,2″–12″,無氣泡),以簡化採購與供貨。

品質與認證

每一根晶錠皆附完整 CoA 與可追溯記錄。文件包含 XRD、EPD 與電阻率映射(依材料適用項目),協助穩定製程與品質驗證。

晶體取向測定 依規格量測 on-axis 或 off-axis,確保每批化合物半導體晶錠的取向符合要求。
EPD 位錯密度測量 量測 EPD 以評估缺陷水準,並確認晶錠品質符合客戶與內部要求。
電阻率分布映射 每一顆晶錠皆進行電阻率分布映射,以驗證均勻性並支援材料性能要求。
XRD 晶體品質分析 收集並分析 XRD 數據,用於評估晶體品質參數,並支援每顆晶錠的 CoA 文件。
直徑與幾何尺寸 尺寸驗證包含直徑與幾何符合性,依據晶錠規格及客戶要求的表面配置。
表面缺陷檢查 針對缺陷相關特徵檢查表面狀態,以符合 as-grown/ground 與定向 flats/notches 的要求。
微量雜質分析 進行微量雜質分析,以支援摻雜/材料規格符合性並提升整體晶錠性能。
全檢報告與追溯 CoA 提供包含 XRD、EPD 與電阻率分布映射的完整 CoA 套件,並附上獨立晶錠 ID、成長批次歷史與種晶血緣,實現全面追溯與合規。

技術規格表(關鍵參數)

參數規格 / 數值
GaAs 晶錠 VGF/LEC, 2″ – 6″ diameter, SI / N-type / P-type, EPD < 5×10³/cm², up to 300mm length
InP 晶錠 VGF/LEC, 2″ – 4″ diameter, N-type SI available, EPD < 5×10⁴/cm², up to 200mm length
SiC 晶錠 PVT, 4″ – 8″ diameter, 4H-SiC & 6H-SiC, N-type & SI, MPD < 1/cm², up to 50mm thickness
藍寶石晶錠 Kyropoulos / EFG / HEM, 2″ – 12″ diameter, C/R/A-plane, bubble-free, up to 500mm length
摻雜濃度 Per material specification and customer requirement
晶體取向 On-axis or off-axis per specification
表面 As-grown, ground, oriented flats/notches
品質文件 Full CoA including XRD, EPD, resistivity mapping for each ingot
可追溯性 Unique ingot ID, growth run history, seed lineage
包裝 Custom crate with vibration isolation, nitrogen-purged container for hygroscopic materials (InP)
合規標準 SEMI Standards, RoHS, REACH, Conflict Minerals

準備好採購化合物半導體晶錠批量供貨?

歡迎聯繫業務洽詢:詢價、樣品,以及 MOQ 與交期細節。我們提供 GaAs(VGF/LEC,2″–6″)、InP(VGF/LEC,2″–4″)、SiC(PVT,4″–8″,4H/6H)與藍寶石(KY/EFG/HEM,2″–12″;C/R/A-plane),並附完整 CoA 與可追溯資料。

ISO 9001:2015 SEMI 標準 <strong>完整 CoA 隨附</strong> — 每批次皆附完整 CoA,包含 <strong>XRD</strong>、<strong>EPD</strong> 與 <strong>電阻率映射</strong>,可追溯更清晰。 RoHS / REACH / 衝突礦產