輸送箱・キャリア
帯電防止保護とクリーンルームグレード包装付き単一・複数ウェーハ輸送容器。
概要
ウェーハ輸送は半導体サプライチェーンにおける重要な環節です — 完璧に製造されたウェーハがパーティクル汚染、機械的損傷、またはESD劣化を伴って到着すれば、価値は完全に損なわれます。ファブ間でプライムウェーハを輸送する場合でも、ファウンドリ加工のために送出する場合でも、完成ウェーハをOSATパッケージハウスに納入する場合でも、輸送容器は最後で最も重要な防御線です。
GINECHIPは、国際物流向けに設計されたウェーハ輸送箱およびキャリアの包括的なラインナップを提供します：高価値なSOIやパターニングウェーハ向けの精密加工フォーム緩衝を備えた単一ウェーハ輸送箱、25枚のウェーハカセット全体を輸送できる複数ウェーハ輸送箱、酸化に敏感な材料向けの窒素バックフィル（オプション）付き真空密封容器、そして2nm未満のゲート酸化膜を持つ先端CMOSデバイス向けのESDセーフファラデーケージ設計。
輸送箱タイプ
単枚ウェーハ輸送ボックス
最も価値の高いウェーハ向けに精密設計——SOI、パターン付きウェーハ、レチクルグレードブランク、特殊基板。
- 個別緩衝 — ウェーハ間接触ゼロ
- 気密封止用の真空ポート付きも可能
- 酸化に敏感なウェーハ向けの窒素バックフィル（オプション）
- 衝撃インジケーターおよび傾斜インジケーターラベルに対応
複数枚ウェーハ輸送ボックス
導電性フォームセパレーターとカセット・イン・ボックス設計により、複数枚（2〜25枚）のウェーハを費用対効果高く輸送します。
- 2、6、13、25枚のウェーハ収容
- 各ウェーハ間に導電性PEフォームセパレーター
- ファブオートメーションとの互換性のためのカセットインボックス設計
- 効率的なパレット積載のためのスタッカブル設計
真空シールウェーハシッパー
湿気に敏感で酸化しやすい材料向けの、真空ポート付き気密シール容器。
- リークレート：< 1×10⁻⁶ atm·cc/sec（He）
- 湿度インジケーターカード付属（標準）
- 蓋に統合された乾燥剤パック
- GaAs、InP、その他のIII-V基板に適合
クラムシェル型ウェーハキャリア
高頻度アクセスシナリオ向けの軽量ヒンジ式クラムシェルキャリア、クイックオープン/クローズラッチ付き。
- 手袋操作に対応したワンアクションラッチ
- 開けずにウェーハを目視検査できる透明PCリッド
- 軽量：アルミ代替品より50%軽い
- 噛み合いベース/リッド設計でスタッカブル
技術仕様
| パラメータ | 利用可能な範囲 / 値 |
|---|---|
| タイプ | Single-wafer shipper, Multi-wafer shipper (25/13 wafer), Clamshell, Vacuum-sealed, Foam-lined |
| ウェーハ直径 | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| 収容枚数 | 1 wafer, 2–6 wafers, 13 wafers, 25 wafers (standard cassette), custom |
| 本体材料 | Conductive PP, Antistatic PC, ABS, PEEK, PTFE, Aluminum (anodized) |
| 緩衝材 | Conductive PE foam, Antistatic PU foam, PTFE inserts, PEEK wafer separators |
| ESD保護 | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq; Conductive: < 10⁴ Ω/sq; Faraday cage designs |
| シールタイプ | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, Latch-lock, Tamper-evident tape, Nitrogen backfill port |
| クリーンルームクラス | ISO Class 4–5 (Class 10–100) cleanroom assembled and packaged |
| 規格 | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H packaging (dangerous goods option) |
| 温度範囲 | Standard: -20°C to +80°C; Premium PEEK: -40°C to +260°C |
| カスタマイズ | Custom foam inserts, company logo, barcode labels, RFID tag slots, color coding |
ESD保護と梱包の完全性
静電気保護レベル
- 静電拡散性 — 制御された電荷放出のための10⁶–10⁹ Ω/sq表面抵抗率。ほとんどのデバイス技術に適合
- 導電性 — < 10⁴ Ω/sqで迅速な電荷拡散。ESD感受性が100V HBM未満のデバイスに必須
- ファラデーケージ — 完全な静電シールドを提供する全金属または金属化エンクロージャ。MIL-PRF-81705 Type IIIに相当
- 埋め込みシールド層 — 拡散性外殻を備えた金属化内層ライナー。ファラデーケージの効果と外部ESD安全性を両立
機械的保護
- 衝撃吸収 — ISTA 3Aに準拠し、1m落下高さで25～50Gの減速度を実現する導電性PE/PUフォーム
- 振動減衰 — 5～500Hzの輸送振動スペクトルに合わせて調整されたフォームコンプライアンス
- 耐圧縮性 — 最大100kgの積載荷重に対応する補強コーナーとリブ構造の本体
- 衝撃インジケーター — 物流品質保証用のG力衝撃インジケーター（25G、50G、75G閾値）および傾斜インジケーター
国際輸送コンプライアンス
ISTA 3A
小包配送およびLTL貨物環境を模擬した梱包性能試験。当社の輸送箱は、ISTA 3Aで定義された最大70kgの荷物向け落下・振動・大気調和試験に合格しています。
ASTM D4169
輸送容器およびシステムの性能試験に関する標準実施基準。取扱い、圧縮、振動、低圧（高度）試験を網羅し、当社の輸送箱設計についてすべて検証済みです。
UN 4G / 4H
規制物質向けのUN認証段ボール（4G）およびプラスチック（4H）梱包。危険物分類が必要なウェーハ（例：特定の化学処理を施した一部のIII-V基板）に対応します。
アプリケーション
品質と認証
すべての輸送箱は、ISO Class 5（Class 100）クリーンルーム環境で組立・梱包されています。品質保証には、IEST-RP-CC005に準拠したパーティクルカウント検証、ANSI/ESD STM11.11に準拠したESD性能試験、ASTM E595に準拠したアウトガス分析（指定がある場合）、および各設計改訂時のISTA 3Aに準拠した落下試験が含まれます。ISO 9001:2015認証の品質マネジメントにより、原材料から最終出荷までの完全なロットトレーサビリティを確保します。