単結晶クォーツウェハ
周波数制御向けに設計したAT/STカットのクォーツウェハ。低温度係数に近い条件での安定性を重視し、厳しい用途でもQ > 10⁶を実現。
概要
クォーツは圧電性のα-SiO₂結晶で、ATカットウェハは25°Cで温度係数がほぼゼロとなり、優れた周波数安定性を実現します。Q > 10⁶（真空中> 2 × 10⁶）により、高性能な発振器およびSAW/BAWデバイスを支えます。
当社では、100–150mm径のクォーツウェハを100μm〜500μmの厚さで提供しています。RMS < 0.5nm、TTV ≤ 3μm、Bow ≤ 15μmに対応。SSP/DSP、ラッピング、CMPなどの仕上げに加え、各ウェハはClass 100クリーンルーム環境で真空シールされたシングルウェハカセットに梱包して出荷します。
ATカットのf ≈ 1,670/t(μm)（周波数計算用）と、25°C近傍での安定動作を支えるほぼゼロの温度係数。
ATカットとSTカットの比較
目標とする性能に合わせて、適切な結晶カットをお選びください。周転温度、周波数特性、SAW/TCDなどの主要パラメータを比較し、発振器、フィルタ、タイミングデバイスを最適化します。
AT-cut (35°15′)
周波数安定の発振器グレード
ATカットは、~25°Cで温度係数がほぼゼロです。f ≈ 1,670 / t (μm)；発振器やフィルタに最適です。
ST-cut (42°45′)
ゼロTCD SAW基板
STカットはSAW速度 ~3,158 m/s と、25°CでのTCD ~0 ppm/°C を実現します。SAWフィルタとディレイラインに最適です。
水熱成長と合成
高温・高圧のオートクレーブで水熱成長させた合成クォーツ
天然クォーツを採掘・選別；どちらも欠陥密度の低い単結晶α‑SiO₂を提供
GINECHIPは、AT/ST/BT/CT/DT/X/Y/Zカット向けに、種結晶の方位を制御してウエハを調達・加工します
周波数・温度の安定性
ATカットの立方周波数−温度曲線は、25°Cでほぼゼロ。-20°C〜+70°Cで安定性を維持
Q > 10⁶、真空中最大2 × 10⁶；精密タイミング向けの低エージング
SAW & BAWデバイス
SAW：STカット表面弾性波デバイス、速度~3,158 m/s、TCD~0 ppm/°C
BAW：ATカット上のバルク弾性波共振器（基音および高調波モード）
周波数範囲 1 MHz–2.5 GHz。発振器、フィルタ、共振器、センサーをカバー
仕様
| パラメータ | 利用可能な範囲 / 値 |
|---|---|
| 材料 | Single-crystal α-SiO₂ (Quartz), synthetic or natural |
| カット方位 | AT-cut (35°15′), ST-cut (42°45′), BT-cut, CT-cut, DT-cut, X-cut, Y-cut, Z-cut |
| 直径 | 100mm (4″), 150mm (6″) |
| 厚さ | 100μm–500μm, frequency-specific lapping |
| 表面研磨 | SSP, DSP, lapped, or CMP-finished |
| 表面粗さ | RMS < 0.5nm for polished wafers |
| TTV | ≤ 3μm |
| ボウ / ワープ | Bow ≤ 15μm |
| 密度 | 2.65 g/cm³ |
| 圧電結合（k²） | ≈ 0.11% (AT-cut fundamental mode) |
| Q 値 | > 10⁶ for AT-cut, > 2 × 10⁶ in vacuum |
| 温度係数 | AT-cut: near-zero at 25°C (cubic frequency-temperature curve) |
| 周波数範囲 | 1 MHz–2.5 GHz via fundamental and harmonic (overtone) modes |
| CTE（Z 軸に垂直） | 13.7 × 10⁻⁶/K |
| 屈折率 | nₒ = 1.544, nₑ = 1.553 @ 589nm |
| パッケージング | Vacuum-sealed single-wafer cassette, Class 100 cleanroom |
代表的な用途
SAWフィルタ
ST-cut基板で、SAW速度は約3,158 m/s、TCDは約0 ppm/°C。モバイルおよびRFフロントエンドのバンドパスフィルタやデュプレクサに最適です。
発振器
25°Cで温度係数がほぼゼロのAT-cutウェハと、Q > 10⁶ を実現。高安定なクロックおよびリファレンス発振器に最適です。
BAW共振器
AT-cutのバルク弾性波（BAW）共振器を基本モードおよび高調波モードで使用。1 MHz–2.5 GHz に対応し、タイミングおよびフィルタリングに最適です。
センサー
AT/STカットの安定した電気機械結合を活かした、圧電クォーツのマイクロバランスおよび圧力センサー。
ピエゾMEMS
低損失の圧電MEMS共振器、ジャイロスコープ、エネルギーハーベスティング機器向けの薄いクォーツプレート。
タイミング参照
電気通信、GNSS、データセンター向けの高精度周波数リファレンス。低エージングと優れた長期安定性が求められる用途に最適です。
計測・品質管理
GINECHIPのすべての石英ウェハは個別に検査されています。切り出し方位、表面粗さ、形状、共振、純度データを含む完全なメトロロジーレポートを、各出荷に同梱します。
クォーツウェハ見積を依頼
切断方位、直径、厚さ、表面仕上げなどのカスタム仕様をお送りください。発振器、SAW/BAW、タイミング用途に合わせて、迅速に見積をご案内します。