MEMSセンサー
圧力、慣性、音響、環境センサー向け基板とプロセスサービス。
概要
MEMSセンサーは現代の電子機器の中核部品であり、自動車、コンシューマーエレクトロニクス、医療機器、産業オートメーション分野で広く使用されています。GINECHIPは、圧力センサー、慣性センサー、音響センサー、環境センサーの設計・製造を支える包括的な基板とプロセスサービスを提供しています。
業界トップクラスの品質と精度を提供します。シリコンウェーハ、SOIウェーハからガラス基板まで、DRIEエッチングからウェーハ接合まで、MEMSセンサー製造ニーズをワンストップで満たします。
センサータイプ
慣性センサー（加速度計・ジャイロスコープ）
Si、SOI、またはガラス上Si基板に形成された静電容量式コムドライブおよび音叉構造により、±2gから±200gの加速度範囲、±100°/sから±2000°/sの角速度範囲を実現し、車載・民生・産業用の運動検知に対応します。
圧力センサー
ピエゾ抵抗式ひずみゲージ、または密封基準キャビティを介した静電容量式検出により1 kPaから100 MPaの圧力を測定し、Si、SOI、ガラス上Si基板上に陽極接合または直接接合で気密キャビティを形成します。
MEMSマイクロフォン
犠牲層リリースプロセスによるポリシリコンまたは窒化シリコン振動膜により、ウェーハレベル・ボトムポートパッケージで60~73 dB(A)のSN比を実現し、民生用オーディオの量産需要に対応します。
MEMS発振器・共振器
SOI、Si、ポリシリコン基板上のDETF、ディスク、リング共振構造により、1 MHzから625 MHzの周波数基準をTCXO級±0.1 ppmの安定度で提供し、ウェーハレベル真空パッケージで封止します。
ガスセンサー
SnO₂、WO₃、ZnOの検知膜と集積型MEMSマイクロヒーターにより、15mW未満のパルス駆動でppbレベルのガス検知を実現し、ウェーハレベルパッケージングに対応した製造プロセスです。
マイクロ流体・バイオセンサー
PDMS、SU-8、またはガラスのマイクロ流路とAu、Pt、ITO、TiN電極を組み合わせ、陽極接合またはAuSn気密シールにより、ISO 13485に準拠したラボオンチップおよび診断デバイスを実現します。
基板選択ガイド
プライムシリコンウェーハ
MEMSの構造層・機械層・電気層に適したSEMI規格準拠のプライムグレードシリコンウェーハ。
SOIウェーハ
デバイス層厚を精密に制御したSOIウェーハで、明確なエッチストップとリリース構造の作製に適しています。
ガラス上シリコン
陽極接合によるシリコン・ガラス積層で、静電容量式・光学式MEMSデバイスに電気絶縁と光学アクセスを提供します。
ホウケイ酸ガラスウェーハ
熱膨張係数を整合させたホウケイ酸ガラスウェーハで、陽極接合、キャビティ封止、透明センサー窓に対応します。
プロセスサービス
Boschプロセスによる DRIE で、高アスペクト比の構造体、コム歯、リリース振動膜を厳密な側壁プロファイル制御のもとに形成します。
陽極接合、直接接合、共晶接合プロセスによりキャビティを封止し、デバイスウェーハとキャップウェーハを気密で機械的に堅牢な界面で積層します。
精密研削・研磨によりウェーハ厚を低減し、振動膜のコンプライアンス、応力緩和、最終パッケージ高さの目標を満たします。
キャップウェーハ接合と気密封止により、ダイシング前のウェーハレベルで脆弱なMEMS構造を保護し、ダイあたりのパッケージコストを削減します。
ブレードダイシングおよびステルスダイシングによりMEMSダイを分離し、露出した振動膜、キャビティ、リリース構造を機械的損傷から保護します。
ウェーハレベル電気試験、周波数応答特性評価、光学／SEM検査により、出荷前にデバイス性能を検証します。
設計サポート
当社のエンジニアリングチームは、マスクレイアウトレビュー、デザインルールチェック、プロセスフロー最適化、有限要素解析コンサルティングを含む包括的なMEMS設計サポートを提供します。GDSII、CIF、DXFなどの標準フォーマットの設計ファイルに対応しています。
試作および小ロット生産向けに、専用プロセスモニタリングとインラインメトロロジーを備えたマルチプロジェクトウェーハ（MPW）ランを提供しています。複数の設計間でマスクおよびプロセスコストを共有することで、開発コストを削減します。
パッケージングソリューション
MEMSパッケージングオプションには、ウェーハレベルキャッピング（陽極接合、ガラスフリット、金属共晶）、ダイレベル気密セラミックパッケージ、およびキャビティ付きプラスチックオーバーモールドパッケージが含まれます。慣性センサーおよび共振器向けに< 1 mTorrまでの真空パッケージングも可能です。
品質保証
当社の品質マネジメントシステムはISO 9001:2015認証を取得し、SEMI標準、RoHS、REACH、紛争鉱物規制に準拠しています。各出荷にはロットトレーサビリティ付きの適合証明書が含まれます