先進半導体プラットフォーム技術
0.5μm解像度精度
月間1000枚以上生産能力
ISO 9001:2015認証
概要
当社の能力とサービスの包括的な概要
業界トップクラスの品質と精度を提供します
センサー種類
memsSensors.sensor1Name
memsSensors.sensor1Desc
Substrates: Si, SOI, Si-on-GlassKey processes: DRIE, wafer bondingStructures: comb-drive, tuning forkRange: ±2g to ±200g (accel)Range: ±100°/s to ±2000°/s (gyro)Diameters: 150mm, 200mm
memsSensors.sensor2Name
memsSensors.sensor2Desc
Substrates: Si, SOI, Si-on-GlassMembrane: Si or Si₃N₄ diaphragmPiezoresistive: doped Si strain gaugesCapacitive: sealed reference cavityRange: 1 kPa to 100 MPaAnodic/fusion bonding for cavity
memsSensors.sensor3Name
memsSensors.sensor3Desc
Substrates: Si wafers (150mm, 200mm)Membrane: poly-Si or Si₃N₄SNR: 60–73 dB(A)Key processes: sacrificial layer etchPackaging: wafer-level, bottom-portVolume: multi-billion units/year
memsSensors.sensor4Name
memsSensors.sensor4Desc
Substrates: SOI, Si, poly-SiFrequency: 1 MHz–625 MHzStability: ±0.1 ppm (TCXO class)Resonator: DETF, disk, ringProcess: DRIE + vacuum packagingWafer-level hermetic seal
memsSensors.sensor5Name
memsSensors.sensor5Desc
Substrates: Si, SOI, glassSensing film: SnO₂, WO₃, ZnOIntegrated micro-heater (MEMS hotplate)Power: < 15mW (pulsed operation)Detection: ppb-level for some gasesWafer-level packaging compatible
memsSensors.sensor6Name
memsSensors.sensor6Desc
Substrates: Si, glass, SOIMicrofluidics: PDMS, SU-8, glassSurface chemistry: silanization, PEGElectrodes: Au, Pt, ITO, TiNHermetic: anodic bonding, AuSn sealISO 13485 (medical devices)
基板選択ガイド
memsSensors.sub1Name
memsSensors.sub1Desc
memsSensors.sub2Name
memsSensors.sub2Desc
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memsSensors.sub4Name
memsSensors.sub4Desc
プロセスサービス
memsSensors.svc1TitlememsSensors.svc1Desc
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memsSensors.svc3TitlememsSensors.svc3Desc
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設計サポート
Design Paragraph 1
Design Paragraph 2
パッケージングソリューション
MEMS packaging options include wafer-level capping (anodic, glass frit, metal eutectic), die-level hermetic ceramic packages, and plastic overmolded packages with cavity. Vacuum packaging down to < 1 mTorr is available for inertial sensors and resonators.
品質保証
当社の品質マネジメントシステムはISO 9001:2015認証を取得し、SEMI標準、RoHS、REACH、紛争鉱物規制に準拠しています。各出荷にはロットトレーサビリティ付きの適合証明書が含まれます
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ISO 9001 認証 SEMI 標準準拠 グローバル物流ネットワーク 24時間エンジニア対応