단결정 석영 웨이퍼
주파수 제어용 AT/ST 컷 석영 웨이퍼로, 0에 가까운 온도 계수 조건에서 안정성을 지향하며 Q > 10⁶ 성능으로 까다로운 애플리케이션에 대응합니다.
개요
석영은 압전성 α-SiO₂ 결정이며, AT 컷 웨이퍼는 25°C에서 거의 0에 가까운 온도 계수를 제공해 뛰어난 주파수 안정성을 보장합니다. Q > 10⁶(진공에서 > 2 × 10⁶) 성능으로 고성능 발진기 및 SAW/BAW 장치를 지원합니다.
당사는 100–150mm 직경의 석영 웨이퍼를 두께 100μm–500μm 범위로 공급합니다. RMS < 0.5nm, TTV ≤ 3μm, Bow ≤ 15μm를 지원하며 SSP/DSP, 래핑(lapped), CMP 등의 마감도 가능합니다. 각 웨이퍼는 Class 100 클린룸 조건에서 진공 밀봉된 싱글 웨이퍼 카세트로 출고됩니다.
AT 컷 기준 주파수 계산: f ≈ 1,670/t(μm). 25°C 부근에서 안정적인 성능을 위한 거의 0에 가까운 온도 계수를 제공합니다.
AT컷 vs ST컷 비교
목표 성능에 맞는 결정 컷을 선택하세요. 주전환 온도, 주파수 거동, SAW/TCD 특성 같은 핵심 파라미터를 비교해 발진기, 필터, 타이밍 장치를 최적화할 수 있습니다.
AT-cut (35°15′)
주파수 안정형 발진기 등급
AT컷은 ~25°C에서 온도계수가 거의 0에 가깝습니다. f ≈ 1,670 / t (μm)；발진기와 필터에 이상적입니다.
ST-cut (42°45′)
제로 TCD SAW 기판
ST컷은 SAW 속도 ~3,158 m/s, 25°C에서 TCD ~0 ppm/°C를 제공합니다. SAW 필터와 딜레이 라인에 최적입니다.
수열(하이드로써멀) 성장 & 합성
고온·고압 조건에서 오토클레이브로 수열(하이드로써멀) 성장한 합성 석영
자연 석영을 채굴 및 선별; 둘 다 결함 밀도가 낮은 단결정 α‑SiO₂를 제공합니다
GINECHIP는 AT/ST/BT/CT/DT/X/Y/Z 컷을 위해 제어된 시드(종자) 방향으로 웨이퍼를 소싱하고 가공합니다
주파수 & 온도 안정성
AT컷 입방 주파수-온도 곡선: 25°C에서 거의 0에 가까우며, -20°C~+70°C 범위에서 안정적
Q > 10⁶, 진공에서 최대 2 × 10⁶; 정밀 타이밍을 위한 낮은 에이징
SAW & BAW 디바이스
SAW: ST컷 표면 탄성파 장치, 속도 ~3,158 m/s, TCD ~0 ppm/°C
BAW: AT컷 기반 벌크 탄성파 공진기, 기본 및 오버톤 모드
주파수 범위 1 MHz–2.5 GHz로 발진기, 필터, 공진기, 센서를 포괄
사양
| 매개변수 | 사용 가능한 범위 / 값 |
|---|---|
| 재료 | Single-crystal α-SiO₂ (Quartz), synthetic or natural |
| 컷 방향 | AT-cut (35°15′), ST-cut (42°45′), BT-cut, CT-cut, DT-cut, X-cut, Y-cut, Z-cut |
| 지름 | 100mm (4″), 150mm (6″) |
| 두께 | 100μm–500μm, frequency-specific lapping |
| 표면 연마 | SSP, DSP, lapped, or CMP-finished |
| 표면 거칠기 | RMS < 0.5nm for polished wafers |
| TTV | ≤ 3μm |
| 활 / 워프 | Bow ≤ 15μm |
| 밀도 | 2.65 g/cm³ |
| 압전 결합(k²) | ≈ 0.11% (AT-cut fundamental mode) |
| Q 인자 | > 10⁶ for AT-cut, > 2 × 10⁶ in vacuum |
| 온도 계수 | AT-cut: near-zero at 25°C (cubic frequency-temperature curve) |
| 주파수 범위 | 1 MHz–2.5 GHz via fundamental and harmonic (overtone) modes |
| CTE(Z축 수직) | 13.7 × 10⁻⁶/K |
| 굴절률 | nₒ = 1.544, nₑ = 1.553 @ 589nm |
| 포장 | Vacuum-sealed single-wafer cassette, Class 100 cleanroom |
대표 응용 분야
SAW 필터
ST-cut 기판으로 SAW 속도 ~3,158 m/s 및 TCD ~0 ppm/°C를 제공하여 모바일 및 RF 프런트엔드의 대역통과 필터와 듀플렉서에 사용됩니다.
발진기
25°C에서 온도 계수가 거의 0에 가까운 AT-cut 웨이퍼와 Q > 10⁶ 성능으로 고안정 클록 및 기준 발진기에 적합합니다.
BAW 공진기
AT-cut 기반 벌크 음향파(BAW) 공진기로 기본 모드 및 오버톤 모드에서 동작하며, 1 MHz–2.5 GHz 범위로 타이밍과 필터링에 사용됩니다.
센서
AT/ST 컷의 안정적인 전기기계 결합을 활용한 압전 석영 마이크로밸런스와 압력 센서.
피에조 MEMS
손실이 낮은 압전 MEMS 공진기, 자이로스코프, 에너지 하베스팅 장치용 얇은 석영 플레이트.
타이밍 기준
통신, GNSS 및 데이터 센터를 위한 정밀 주파수 기준으로, 낮은 에이징과 뛰어난 장기 안정성이 필요할 때 사용됩니다.
계측 및 품질 관리
GINECHIP의 모든 석영 웨이퍼는 개별 검사됩니다. 절단 방향, 거칠기, 기하, 공진 및 순도 데이터를 포함한 전체 메트롤로지 리포트가 각 출하와 함께 제공됩니다.