웨이퍼 카세트(PEEK, ESD 안전)
웨이퍼 보관 및 운송을 위한 PEEK 및 정전기 방지 카세트. 100mm~300mm 웨이퍼와 호환되며 25 또는 13슬롯 설계로 제공됩니다.
개요
웨이퍼 카세트는 웨이퍼와 팹의 나머지 공정 사이의 주요 인터페이스입니다. 습식 벤치 처리부터 노 장입, 계측 스테이션부터 베이 간 운송까지 아우릅니다. 오염되거나 뒤틀리거나 가스를 방출하는 카세트는 로트 전체의 수율을 조용히 저하시킬 수 있습니다. GINECHIP은 모든 반도체 공정 환경에서 화학적 호환성, 열 안정성 및 입자 제어를 위해 설계된 웨이퍼 카세트와 캐리어의 전체 라인업을 공급합니다.
당사의 카세트 포트폴리오는 고온 습식 공정의 표준인 PEEK(폴리에테르에테르케톤)부터 공격적인 화학 환경용 PFA 및 PTFE, 일반 클린룸 사용을 위한 비용 효율적인 폴리프로필렌 카세트까지 아우릅니다. 모든 카세트는 민감한 게이트 산화막과 첨단 CMOS 소자를 보호하기 위해 ESD 안전 및 정전기 방지 등급으로 제공됩니다.
카세트 재료 선택 가이드
PEEK 웨이퍼 카세트
웨이퍼 카세트용 최고의 소재 — 260°C 연속 사용, 뛰어난 내화학성, ESD 안전 탄소 충전 등급.
- 온도: -40°C ~ +260°C 연속
- 산, 염기 및 유기 용제에 대한 우수한 내성
- 최소 가스 방출 — 진공 공정에 적합
- 카본 충전 ESD 안전 등급 제공(10⁴–10⁹ Ω/sq)
PFA / PTFE 웨이퍼 카세트
공격적인 반도체 공정을 위한 거의 보편적인 내화학성 - RCA 세정 및 피라냐 식각 스테이션을 위한 표준 선택입니다.
- 온도: -200°C ~ +260°C(PFA)
- 거의 모든 공정 화학물질에 대해 불활성
- 초저 추출 금속(< 1 ppb)
- 매끄러운 비점착 표면이 입자 부착을 최소화
정전기 방지/ESD 안전 PP 웨이퍼 카세트
일반 웨이퍼 운송, 보관 및 계측에 이상적인 전도성 탄소 로딩을 통한 비용 효율적인 ESD 보호입니다.
- 표면 저항: 10⁴–10¹¹ Ω/sq(맞춤 가능)
- 정전기 감쇠: < 0.5초(MIL-B-81705C)
- 경량 — AMHS 마모와 작업자 피로 감소
- 공정 식별을 위한 검정 또는 맞춤 색상
표준 PP 웨이퍼 카세트
중요하지 않은 용도를 위한 보급형 폴리프로필렌 카세트 - 대량 작업을 위한 가장 경제적인 옵션입니다.
- 온도: 0°C ~ 100°C
- 실온에서 산과 염기에 대한 우수한 내성
- 자연색, 흰색 또는 맞춤 색상 제공
- 팹 전체 도입을 위한 대량 포장 할인
기술 사양
| 매개변수 | 사용 가능한 범위 / 값 |
|---|---|
| 재료 | PEEK (polyetheretherketone), PFA, PTFE, Polypropylene (PP), Antistatic/ESD PP, Carbon-filled PEEK |
| 웨이퍼 직경 | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| 슬롯 용량 | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| 슬롯 피치 | 4.76mm (3/16″), 6.35mm (1/4″), 9.525mm (3/8″), 12.7mm (1/2″), custom |
| ESD 보호 | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity; Conductive: < 10⁴ Ω/sq |
| 온도 범위 | PEEK: -40°C to +260°C continuous; PFA: -200°C to +260°C; PP: -0°C to +100°C |
| 클린룸 클래스 | ISO Class 4–5 (Class 10–100) compatible; particle-controlled packaging |
| 구성 | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible cassettes |
| 표준 | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158; custom non-SEMI configurations |
| 내화학성 | PEEK: excellent acid/alkali/solvent; PFA: near-universal chemical resistance |
| 가스 방출 | PEEK: < 0.1% TML, < 0.01% CVCM per ASTM E595 (space-grade available) |
카세트 구성 및 자동화 호환성
개방형 카세트 유형
- H-Bar 카세트 — 최대 웨이퍼 접근성을 위한 H형 크로스바 설계. 수동 장입 및 습식 벤치 작업에 적합
- C-Bar 카세트 — 연결 바가 있는 C형 엔드 플레이트. 더 가볍고 운송 및 보관에 적합
- 풀바디 카세트 — 운송 중 최대 웨이퍼 보호를 위한 밀폐형 측벽
- 맞춤형 슬롯 구성 — 비표준 슬롯 피치, 깊이 및 웨이퍼 고정 구조
자동화 인터페이스
- SMIF 포드 호환 — 150mm/200mm 팹용 표준 기계 인터페이스(SMIF) 시스템과 인터페이스하도록 설계된 카세트
- FOUP 호환 내부 카세트 — 300mm 전면 개방형 통합 포드(FOUP) 내부 웨이퍼 취급용
- 로봇 취급 기능 — 자동화 물류 처리 시스템(AMHS)용 픽업 플랜지, 정렬 노치 및 바코드 라벨 면
- RFID 태그 통합 — 웨이퍼 로트 추적용 내장형 또는 부착형 RFID 태그(선택 사항)
ESD 보호 및 정전기 제어
정전기 방전(ESD)은 첨단 반도체 제조에서 소자 손상의 주요 원인 중 하나입니다. 특히 첨단 로직 노드의 2nm 미만 박막 게이트 산화막에서 두드러집니다. 당사의 ESD 안전 카세트는 가장 까다로운 정전기 제어 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다:
정전기 분산형
표면 저항은 10⁶–10⁹ Ω/sq 범위입니다. 전하는 제어된 방식으로 분산됩니다. 축적을 방지할 만큼 빠르고 스파크 방전을 피할 만큼 느립니다. 대부분의 CMOS 및 MEMS 생산 환경에 권장됩니다.
전도성
표면 저항이 10⁴ Ω/sq 미만입니다. 고감도 소자를 위한 빠른 전하 분산. 카본 충전 PEEK 또는 카본 로드 PP. 팹 접지 시스템과의 통합을 위한 접지 연결점 제공.
정전기 방지(표면 처리)
마찰 대전을 줄이기 위해 정전기 방지제로 표면 처리합니다. 일반적인 ESD 보호에 비용 효율적입니다. 참고: 표면 처리는 반복적인 습식 공정에서 저하될 수 있으므로 습식 벤치 사용에는 벌크 정전기 분산 소재를 고려하십시오.
응용
품질 및 인증
모든 웨이퍼 카세트는 ISO 9001:2015 인증 품질 관리 아래에서 제조 및 포장됩니다. 모든 로트는 IEST-RP-CC005에 따른 입자 계수, ASTM E595에 따른 가스 방출 시험(해당하는 경우), SEMI 표준에 대한 치수 검증, ANSI/ESD S20.20에 따른 ESD 성능 검증을 거칩니다. 적합성 인증서와 완전한 자재 추적 문서가 모든 출하 시 제공됩니다.