정전기 방지/ESD 안전 PP 웨이퍼 카세트
클린룸 운송 및 보관을 위한 정전기 방지 및 전도성 저항 등급을 갖춘 비용 효과적인 ESD 안전 폴리프로필렌 카세트입니다.
개요
정전기 방전은 첨단 반도체 제조 공정에서 소자 손상의 주요 원인이며, 특히 첨단 로직 노드에서 2nm보다 얇은 게이트 산화막의 경우에는 더욱 그러합니다. GINECHIP의 대전방지 및 ESD 안전 폴리프로필렌 카세트는 전도성 카본 충전 또는 대전방지 첨가제를 사용하여 세 가지 보호 등급에 걸쳐 전하 축적을 제어합니다: 제어된 점진적 전하 방출을 위한 정전기 분산형(10⁶~10⁹ Ω/sq), 가장 민감한 소자를 보호하는 신속한 방전을 위한 전도성(10⁴ Ω/sq 미만), 그리고 범용 및 비용 민감형 애플리케이션을 위한 표면 대전방지 처리입니다.
ESD 성능 외에도 이러한 카세트는 금속 대체품보다 훨씬 가벼워서 자동 자재 처리 시스템(AMHS)의 마모를 줄이고 수동 처리 중 작업자의 피로를 줄여줍니다. 맞춤형 저항률, 검정색 또는 공정 식별 색상, 직경 150mm~300mm에 걸쳐 13~50개 웨이퍼의 슬롯 구성이 가능합니다.
기술 사양
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | Antistatic/ESD polypropylene (PP), carbon-loaded conductive PP |
| Wafer Diameter | 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, custom slot counts |
| Surface Resistivity | 10⁴–10¹¹ Ω/sq (customizable) |
| Static Decay | < 0.5 seconds per MIL-B-81705C |
| Protection Tiers | Static-dissipative (10⁶–10⁹ Ω/sq), Conductive (< 10⁴ Ω/sq), Topical anti-static |
| Color | Black (standard) or custom for process identification |
| Weight | 50% lighter than metal alternatives |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, ANSI/ESD S20.20 |
응용
경량의 ESD 안전 PP가 금속 또는 PEEK 대안에 비해 자동화 마모를 줄이는 인터베이 및 인트라베이 AMHS 운송 및 스토커 보관소입니다.
낮은 가스 방출, 입자 제어 ESD 안전 카세트가 계측 챔버 청결을 보호하는 CD-SEM, 결함 검토 및 필름 두께 측정 스테이션.
극심한 화학적 또는 열적 요구 없이 비용 효율적인 ESD 보호가 필요한 클래스 100/ISO 5 이상의 클린룸 환경에서 일상적인 웨이퍼 처리.
제어되지 않는 정전기 방전을 견딜 수 없는 2nm 미만의 게이트 산화물을 갖춘 고급 CMOS 장치용 전도성 등급 카세트(10⁴ Ω/sq 미만)입니다.
품질 및 인증
모든 ESD 안전 PP 카세트는 ISO 9001:2015 인증 품질 관리에 따라 제조되며, ANSI/ESD S20.20에 따라 검증된 ESD 성능과 MIL-B-81705C에 따라 정전기 감쇠 테스트를 거쳤습니다. 표면 저항은 요청 시 테스트 데이터를 통해 모든 생산 로트에서 검증됩니다.