투명 전자소자를 위한 ITO 코팅 유리
<strong>ITO(In₂O₃:SnO₂ 90:10)</strong>를 DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 유리 위에 증착했습니다. 시트 저항 5-500 Ω/sq 등급, 투과율 >85% 및 헤이즈 낮음. 작업함수 4.4-4.8 eV.
제품 개요
ITO는 업계 표준 투명 전도성 산화물입니다. 90:10 In₂O₃:SnO₂를 DC/RF 마그네트론 스퍼터링으로 유리에 증착하며, 그레이드는 5-500 Ω/sq, 투과율 >85-90%, RMS <1nm입니다.
디스플레이, 터치 패널, 태양전지를 위한 전도도/투과율의 균형 잡힌 설계를 제공합니다. 필요한 전기 성능과 제품이 요구하는 광학적 선명도를 함께 얻으세요.
핵심 장점: 조절 가능한 시트 저항 + 높은 투과율 + 낮은 헤이즈, 균일한 Rs ±5% / T ±2%.
주요 특성
그레이드별 투과율 >85-95%, 일함수 4.4-4.8 eV, <strong>RMS <1nm</strong>, 헤이즈 <1%.
대기 중 최대 300°C까지 환경 안정성, 접착력은 테이프 테스트 / MIL-STD-883 통과.
투과율 vs. 시트 저항
필요한 광학 투과율과 전기적 시트 저항의 균형에 맞춰 적절한 그레이드를 선택하세요. 아래는 그레이드별 일반적인 값입니다:
| 시트 저항 | 투과율 | 두께 | 일반적인 용도 |
|---|---|---|---|
| 5 Ω/sq | > 80% | ~280nm | EMI shielding, high-current electrodes |
| 15 Ω/sq | > 83% | ~150nm | OLED anodes, touch panels |
| 20 Ω/sq | > 85% | ~120nm | Display electrodes, solar cells |
| 100 Ω/sq | > 90% | ~25nm | Biosensors, anti-static coatings |
| 500 Ω/sq | > 95% | ~5nm | Research, low-current electrodes |
패터닝 & 커스터마이징
미패턴 또는 습식 식각/레이저로 패턴을 형성한 ITO를 선택할 수 있습니다. 터치 패널과 디스플레이용으로 <strong>정밀한 패턴</strong>을 구현하세요.
최대 400×500mm까지 커스텀 직사각형 기판, 시트 저항 그레이드 및 두께도 맞춤 제작.
기판 옵션
<strong>Soda-Lime Glass</strong>, <strong>Borofloat 33</strong>, <strong>Fused Silica</strong>, <strong>Sapphire</strong>, 또는 <strong>Silicon (SiO₂ 배리어 포함)</strong> 중에서 선택하세요. 열 예산, 투과 및 비용을 기준으로 기판을 결정합니다.
증착 공정
<strong>DC/RF 마그네트론 스퍼터링</strong>으로 증착(E-beam 증발 옵션). ITO 두께: <strong>50nm-300nm</strong>. 웨이퍼 내 균일도: <strong>Rs ±5% / T ±2%</strong>.
품질 및 신뢰성
<strong>접착 테이프 테스트</strong> / <strong>MIL-STD-883</strong> 통과. 공기 중 <strong>300°C</strong>까지 열 안정성. 에이징: <strong>85°C/85% RH</strong>에서 <strong>500-1000h</strong>. 포장: 진공 밀봉 <strong>Class 100</strong>에 인터리빙 적용.
사양
| 파라미터 | 값 / 사양 |
|---|---|
| 베이스 기판 | Soda-Lime Glass, Borofloat 33, Fused Silica, Sapphire, Silicon (with SiO₂ barrier) |
| 코팅 재료 | ITO (In₂O₃:SnO₂, 90:10 wt%) |
| 증착 방법 | DC/RF Magnetron Sputtering, E-beam evaporation optional |
| 시트 저항 | 5, 10, 15, 20, 50, 100, 200, 500 Ω/sq, ±10% tolerance |
| 두께 | ITO: 50nm–300nm; Custom thickness available |
| 투과율 @ 550nm | > 85% for 20 Ω/sq, > 90% for 100 Ω/sq |
| 기판 직경 | 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; custom rectangular up to 400×500mm |
| 웨이퍼 내 균일도 | Rs ±5%, T ±2% |
| 밀착력 | Passes Scotch tape test, MIL-STD-883 |
| 표면 거칠기 | RMS < 1nm |
| 헤이즈 | < 1% for display-grade |
| 일함수 | 4.4–4.8 eV |
| 패터닝 옵션 | Unpatterned, patterned (wet etch or laser) |
| 환경 안정성 | Thermal stability up to 300°C in air |
| 포장 | Interleaved, vacuum-sealed, Class 100 |
적용 분야
터치 패널 및 디스플레이
ITO 코팅 유리는 스마트폰, 태블릿 및 차량 인포테인먼트 시스템의 정전용량 방식 터치 패널에서 지배적인 투명 전극 기술입니다. 패터닝된 ITO 행과 열은 투영 정전용량 매트릭스를 형성하여 서브밀리초 응답으로 멀티터치 입력을 감지합니다. LCD 및 OLED 디스플레이에서 ITO는 투명 화소 전극 역할을 하며, 대형 패널에서 RC 지연을 최소화하려면 20 Ω/sq 미만의 시트 저항이 필요합니다.
OLED 조명 및 디스플레이
높은 일함수(4.4–4.8 eV)를 갖는 ITO 양극은 OLED 디스플레이와 고체 조명 패널 모두에서 유기 반도체층으로의 효율적인 정공 주입을 제공합니다. 상부 발광 OLED 구조의 경우, 반사 방지 코팅이 적용된 유리 위의 ITO는 < 15 Ω/sq를 유지하면서 > 90% 투과율을 달성하며, 이는 500+ 니트의 고휘도 스마트폰 디스플레이에 매우 중요합니다.
박막 태양전지
ITO 전면 접점은 비정질 실리콘(a-Si), 카드뮴 텔루라이드(CdTe), 페로브스카이트 태양전지를 포함한 박막 광전지 기술의 표준입니다. 시트 저항(직렬 저항 손실)과 광학 투과율(광전류 생성) 사이의 절충은 각 셀 구조에 맞게 신중하게 최적화됩니다. 탠덤 페로브스카이트-실리콘 셀의 경우, 일함수를 정밀하게 조정한 ITO 재결합층이 서브셀 간의 효율적인 캐리어 수송을 가능하게 합니다.
EMI/RFI 차폐
ITO 코팅 기판은 군사, 항공우주 및 의료 장비의 디스플레이와 창에 광학적으로 투명한 전자기 간섭(EMI) 차폐를 제공합니다. 5 Ω/sq에서 ITO 필름은 100 MHz에서 10 GHz까지 > 30 dB의 차폐 효과를 달성하면서 > 80%의 가시광 투과율을 유지합니다. 이는 조종석 디스플레이, MRI실 창 및 보안 시설 관찰창에 필수적입니다.
바이오센서 및 랩온어칩
ITO 전극은 전기 전도성, 광학적 투명성(동시 광학 현미경 관찰 가능), 생체 적합성의 조합 덕분에 전기화학적 바이오센서, 임피던스 기반 세포 모니터링 및 미세유체 랩온어칩 플랫폼에서 널리 사용됩니다. 효소, 항체 또는 앱타머로 기능화된 ITO 작업 전극은 포도당, 신경전달물질 및 병원체 DNA의 전류법 검출을 가능하게 합니다.
전기변색 및 스마트 윈도우
ITO 코팅 유리는 인가 전압에 따라 가시광 및 근적외선 투과율을 변조하는 전기변색 소자의 양쪽에서 투명 도체로 사용됩니다. 에너지 효율 건물용 스마트 윈도우는 미터 규모 유리 패널에 ITO/전기변색/ITO 적층을 사용하며, 대면적에서 균일한 착색 전환을 위해 10 Ω/sq 미만의 시트 저항이 필요합니다.
계측 & 품질 관리
모든 기판을 검사하며, 출하 때마다 CoA 제공, <strong>100% 파라메트릭 데이터</strong> 제공.
ITO 코팅 유리 소싱
맞춤 사이즈, 시트 저항 등급, 패터닝. 요구사항에 맞게 엔지니어와 상담하세요—<strong>도와드리겠습니다</strong>.