ITO-beschichtetes Glas für transparente Elektronik
<strong>ITO (In₂O₃:SnO₂ 90:10)</strong> auf Glas per DC/RF-Magnetronsputtern abgeschieden. Oberflächenwiderstand in Stufen von 5–500 Ω/sq, Transmission >85% bei geringer Trübung. Austrittsarbeit 4.4–4.8 eV.
Produkteinblick
ITO ist das branchenübliche, transparente leitfähige Oxid: 90:10 In₂O₃:SnO₂; per DC/RF-Magnetronsputtern auf Glas abgeschieden; Qualitäten 5-500 Ω/□; Transmission >85-90%; RMS <1 nm.
Ein ausgewogener Kompromiss aus Leitfähigkeit und Transparenz — maßgeschneidert für Displays, Touch-Panels und Solarzellen. So erhalten Sie die benötigte elektrische Leistung bei zugleich hoher optischer Klarheit.
Hauptvorteil: einstellbarer Flächenwiderstand + hohe Transmission + geringe Trübung (Haze), gleichmäßiges Rs ±5% / T ±2%.
Kern-Eigenschaften
Transmission >85-95% je nach Qualität, Austrittsarbeit 4.4-4.8 eV, <strong>RMS <1 nm</strong>, Haze <1%.
Umweltstabilität bis zu 300°C in der Luft; die Haftung besteht den Tape-Test / MIL-STD-883.
Transmission vs. Flächenwiderstand
Wählen Sie die passende Qualität basierend auf Ihrem gewünschten Gleichgewicht aus optischer Transmission und elektrischem Flächenwiderstand. Die folgenden Werte sind typisch nach Qualität:
| Flächenwiderstand | Transmission | Dicke | Typische Anwendungen |
|---|---|---|---|
| 5 Ω/sq | > 80% | ~280nm | EMI shielding, high-current electrodes |
| 15 Ω/sq | > 83% | ~150nm | OLED anodes, touch panels |
| 20 Ω/sq | > 85% | ~120nm | Display electrodes, solar cells |
| 100 Ω/sq | > 90% | ~25nm | Biosensors, anti-static coatings |
| 500 Ω/sq | > 95% | ~5nm | Research, low-current electrodes |
Strukturierung & Anpassung
Wählen Sie unstrukturierte oder strukturierte ITO-Beschichtung per Nassätzen oder Laser. So erhalten Sie <strong>präzise Muster</strong> für Touch-Panels und Displays.
Maßgeschneiderte rechteckige Substrate bis zu 400×500 mm sowie kundenspezifische Qualitäten des Flächenwiderstands und Dicke.
Substratoptionen
Wählen Sie aus <strong>Soda-Lime Glass</strong>, <strong>Borofloat 33</strong>, <strong>Fused Silica</strong>, <strong>Sapphire</strong> oder <strong>Silicon (with SiO₂ barrier)</strong>. Die Auswahl erfolgt anhand des thermischen Budgets, der Transmission und der Kosten.
Beschichtungsprozess
Beschichtung per <strong>DC/RF-Magnetronsputtern</strong> (E-Beam-Verdampfung optional). ITO-Dicke: <strong>50nm-300nm</strong>. Gleichmäßigkeit auf dem Wafer: <strong>Rs ±5% / T ±2%</strong>.
Qualität & Zuverlässigkeit
Bestanden: <strong>Adhäsions-Klebebandtest</strong> / <strong>MIL-STD-883</strong>. Thermische Stabilität bis <strong>300°C</strong> in Luft. Alterung: <strong>85°C/85% RH</strong> für <strong>500-1000h</strong>. Verpackung: vakuumversiegelt <strong>Class 100</strong> mit Zwischenlagen.
Spezifikationen
| Parameter | Wert / Spezifikation |
|---|---|
| Basissubstrat | Soda-Lime Glass, Borofloat 33, Fused Silica, Sapphire, Silicon (with SiO₂ barrier) |
| Beschichtungsmaterial | ITO (In₂O₃:SnO₂, 90:10 wt%) |
| Abscheidungsmethode | DC/RF Magnetron Sputtering, E-beam evaporation optional |
| Schichtwiderstand | 5, 10, 15, 20, 50, 100, 200, 500 Ω/sq, ±10% tolerance |
| Dicke | ITO: 50nm–300nm; Custom thickness available |
| Transmission @ 550nm | > 85% for 20 Ω/sq, > 90% for 100 Ω/sq |
| Substratdurchmesser | 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; custom rectangular up to 400×500mm |
| Gleichmäßigkeit innerhalb des Wafers | Rs ±5%, T ±2% |
| Haftung | Passes Scotch tape test, MIL-STD-883 |
| Oberflächenrauheit | RMS < 1nm |
| Haze | < 1% for display-grade |
| Austrittsarbeit | 4.4–4.8 eV |
| Strukturierungsoptionen | Unpatterned, patterned (wet etch or laser) |
| Umweltstabilität | Thermal stability up to 300°C in air |
| Verpackung | Interleaved, vacuum-sealed, Class 100 |
Anwendungen
Touchpanels & Displays
ITO-beschichtetes Glas ist die dominierende transparente Elektrodentechnologie in kapazitiven Touchpanels für Smartphones, Tablets und Automotive-Infotainmentsysteme. Strukturierte ITO-Zeilen und -Spalten bilden die Matrix der projizierten Kapazität, die Multi-Touch-Eingaben mit Submillisekunden-Reaktion erkennt. Für LCD- und OLED-Displays dient ITO als transparente Pixelelektrode und erfordert einen Schichtwiderstand unter 20 Ω/sq, um die RC-Verzögerung bei großformatigen Panels zu minimieren.
OLED-Beleuchtung & Displays
ITO-Anoden mit hoher Austrittsarbeit (4.4–4.8 eV) ermöglichen eine effiziente Lochinjektion in organische Halbleiterschichten sowohl in OLED-Displays als auch in Festkörperbeleuchtungspanels. Für Top-Emissions-OLED-Architekturen erreicht ITO auf Glas mit Antireflexbeschichtungen > 90% Transmission bei gleichzeitig < 15 Ω/sq — entscheidend für helle Smartphone-Displays bei 500+ Nits.
Dünnschicht-Solarzellen
ITO-Frontkontakte sind Standard in Dünnschicht-Photovoltaiktechnologien, darunter amorphes Silizium (a-Si), Cadmiumtellurid (CdTe) und Perowskit-Solarzellen. Der Kompromiss zwischen Schichtwiderstand (Verlust durch Serienwiderstand) und optischer Transmission (Photostromerzeugung) wird für jede Zellarchitektur sorgfältig optimiert. Bei Tandem-Perowskit-Silizium-Zellen ermöglichen ITO-Rekombinationsschichten mit präzise abgestimmter Austrittsarbeit einen effizienten Ladungsträgertransport zwischen den Teilzellen.
EMI/RFI-Abschirmung
ITO-beschichtete Substrate bieten optisch transparente elektromagnetische Abschirmung (EMI) für Displays und Fenster in Militär-, Luft- und Raumfahrt- sowie Medizingeräten. Bei 5 Ω/sq erreichen ITO-Schichten eine Schirmdämpfung von > 30 dB von 100 MHz bis 10 GHz bei gleichzeitiger > 80% Transmission im sichtbaren Bereich — unerlässlich für Cockpit-Displays, MRT-Raumfenster und Beobachtungsöffnungen in Sicherheitseinrichtungen.
Biosensoren & Lab-on-Chip
ITO-Elektroden werden aufgrund ihrer Kombination aus elektrischer Leitfähigkeit, optischer Transparenz (die gleichzeitige optische Mikroskopie ermöglicht) und Biokompatibilität breit in elektrochemischen Biosensoren, impedanzbasierter Zellüberwachung und mikrofluidischen Lab-on-Chip-Plattformen eingesetzt. Mit Enzymen, Antikörpern oder Aptameren funktionalisierte ITO-Arbeitselektroden ermöglichen die amperometrische Detektion von Glukose, Neurotransmittern und Pathogen-DNA.
Elektrochrome & Smart Windows
ITO-beschichtetes Glas dient als transparenter Leiter auf beiden Seiten elektrochromer Bauelemente, die die Transmission im sichtbaren und nahen IR-Bereich bei angelegter Spannung modulieren. Smart Windows für energieeffiziente Gebäude verwenden ITO/Elektrochrom/ITO-Stapel auf Glaspanels im Meterskala-Bereich und erfordern einen Schichtwiderstand unter 10 Ω/sq für ein gleichmäßiges Umschalten der Färbung über große Flächen.
Messtechnik & Qualitätskontrolle
Jedes Substrat wird geprüft; CoA bei jeder Lieferung; <strong>100% parametrierte Daten</strong>.
ITO-beschichtetes Glas beziehen
Maßgeschneiderte Formate, Schichtwiderstands-Güten, Strukturierung. Sprechen Sie mit unseren Ingenieuren, um Ihre Anforderungen zu erfüllen — <strong>wir unterstützen Sie</strong>.