זכוכית מצופה ITO לאלקטרוניקה שקופה
<strong>ITO (In₂O₃:SnO₂ 90:10)</strong> ספרוטטר על זכוכית באמצעות DC/RF מגנטרון ספרטינג. דרגות התנגדות עילית 5–500 Ω/sq עם העברה >85% והשתקפות נמוכה. פונקציית עבודה 4.4–4.8 eV.
סקירת מוצר
ITO הוא תחמוצת מוליכה שקופה סטנדרטית בתעשייה; 90:10 In₂O₃:SnO₂; ציפוי בשיטת DC/RF מגנטרון ספרטרינג על זכוכית; דרגות 5-500 Ω/□; שקיפות/Transmission >85-90%; RMS <1nm.
איזון נכון בין מוליכות ושקיפות המותאם לתצוגות, מסכי מגע ותאי שמש—כדי לקבל את הביצועים החשמליים הנדרשים עם הבהירות האופטית שהמוצר שלכם דורש.
יתרון מרכזי: התנגדות רצועה ניתנת לכוונון + שידור גבוה + הייז נמוך, אחידות Rs ±5% / T ±2%.
תכונות עיקריות
שקיפות/Transmission >85-95% לפי דרגה, פונקציית עבודה 4.4-4.8 eV, <strong>RMS <1nm</strong>, הייז <1%.
יציבות סביבתית עד 300°C באוויר, חוזק ההדבקה עובר בדיקת סרט דבק / MIL-STD-883.
שקיפות/Transmission מול התנגדות רצועה (Sheet Resistance)
בחרו את הדרגה המתאימה בהתאם לאיזון הנדרש בין שקיפות אופטית לבין התנגדות רצועה חשמלית. התוצאות להלן הן טיפוסיות לפי דרגה:
| התנגדות רצועה (Sheet Resistance) | שקיפות/Transmission | עובי | יישומים טיפוסיים |
|---|---|---|---|
| 5 Ω/sq | > 80% | ~280nm | EMI shielding, high-current electrodes |
| 15 Ω/sq | > 83% | ~150nm | OLED anodes, touch panels |
| 20 Ω/sq | > 85% | ~120nm | Display electrodes, solar cells |
| 100 Ω/sq | > 90% | ~25nm | Biosensors, anti-static coatings |
| 500 Ω/sq | > 95% | ~5nm | Research, low-current electrodes |
פטרנינג והתאמה אישית
בחרו ITO לא מפורט (unpatterned) או ITO מפורט דרך תחריט רטוב או לייזר. השיגו <strong>תבניות מדויקות</strong> למסכי מגע ותצוגות.
מצעים מלבניים בהתאמה אישית עד 400×500mm, עם דרגות התנגדות רצועה מותאמות ועובי מותאם.
אפשרויות מצע
בחרו מתוך <strong>Soda-Lime Glass</strong>, <strong>Borofloat 33</strong>, <strong>Fused Silica</strong>, <strong>Sapphire</strong> או <strong>Silicon (with SiO₂ barrier)</strong>. את המצע בוחרים לפי תקציב תרמי, הולכה/שידור ובעלות.
תהליך שקיעה
שקיעה באמצעות <strong>DC/RF magnetron sputtering</strong> (אידוי E-beam אופציונלי). עובי ITO: <strong>50nm-300nm</strong>. אחידות על פני הוופֶר: <strong>Rs ±5% / T ±2%</strong>.
איכות ואמינות
עובר <strong>בדיקת הידבקות עם סרט</strong> / <strong>MIL-STD-883</strong>. יציבות תרמית עד <strong>300°C</strong> באוויר. הזדקנות: <strong>85°C/85% RH</strong> למשך <strong>500-1000h</strong>. אריזה: <strong>Class 100</strong> אטום ואקום עם <strong>interleaving</strong>.
מפרט
| פרמטר | ערך / מפרט |
|---|---|
| מצע בסיס | Soda-Lime Glass, Borofloat 33, Fused Silica, Sapphire, Silicon (with SiO₂ barrier) |
| חומר ציפוי | ITO (In₂O₃:SnO₂, 90:10 wt%) |
| שיטת השקעה | DC/RF Magnetron Sputtering, E-beam evaporation optional |
| התנגדות יריעית | 5, 10, 15, 20, 50, 100, 200, 500 Ω/sq, ±10% tolerance |
| עובי | ITO: 50nm–300nm; Custom thickness available |
| העברה @ 550nm | > 85% for 20 Ω/sq, > 90% for 100 Ω/sq |
| קוטר המצע | 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; custom rectangular up to 400×500mm |
| אחידות בתוך הפרוסה | Rs ±5%, T ±2% |
| הידבקות | Passes Scotch tape test, MIL-STD-883 |
| חספוס פני שטח | RMS < 1nm |
| ערפול | < 1% for display-grade |
| פונקציית עבודה | 4.4–4.8 eV |
| אפשרויות תבניות | Unpatterned, patterned (wet etch or laser) |
| יציבות סביבתית | Thermal stability up to 300°C in air |
| אריזה | Interleaved, vacuum-sealed, Class 100 |
יישומים
פאנלים למגע ותצוגות
זכוכית עם ציפוי ITO היא טכנולוגיית האלקטרודה השקופה הדומיננטית בפאנלי מגע קיבוליים לסמארטפונים, טאבלטים ומערכות בידור לרכב. שורות ועמודות ITO מתוכנתות יוצרות מטריצת קיבול היטל, המזהה קלט ריבוי-מגע בזמן תגובה תת-מילישני. בתצוגות LCD ו-OLED, ITO משמש כאלקטרודת פיקסל שקופה, הדורשת התנגדות יריעית מתחת ל-20 Ω/sq כדי למזער השהיית RC בפאנלים בגדלים גדולים.
תאורת OLED ותצוגות
אנודות ITO עם פונקציית עבודה גבוהה (4.4–4.8 eV) מספקות הזרקת חורים יעילה לשכבות מוליכים למחצה אורגניים הן בתצוגות OLED והן בפאנלי תאורה במצב מוצק. בארכיטקטורות OLED עם פליטה עליונה, ITO על זכוכית עם ציפויים אנטי-רפלקטיביים משיג העברה של > 90% תוך שמירה על < 15 Ω/sq — קריטי לתצוגות סמארטפון בבהירות גבוהה של 500+ ניט.
תאי שמש בשכבה דקה
מגעי חזית ITO הם סטנדרט בטכנולוגיות פוטו-וולטאיות של שכבה דקה, כולל סיליקון אמורפי (a-Si), קדמיום טלוריד (CdTe) ותאי שמש פרובסקיט. הפשרה בין התנגדות יריעית (אובדן התנגדות טורית) לבין העברה אופטית (יצירת זרם פוטו) מותאמת בקפידה לכל ארכיטקטורת תא. בתאי טנדם פרובסקיט-סיליקון, שכבות רקומבינציה של ITO עם פונקציית עבודה מכווננת בדיוק מאפשרות הובלת נושאים יעילה בין תת-התאים.
מיגון EMI/RFI
מצעים עם ציפוי ITO מספקים מיגון אופטי שקוף מפני הפרעות אלקטרומגנטיות (EMI) לתצוגות ולחלונות בציוד צבאי, תעופה וחלל ורפואי. ב-5 Ω/sq, סרטי ITO משיגים יעילות מיגון של > 30 dB מ-100 MHz עד 10 GHz תוך שמירה על > 80% העברה באור נראה — חיוני לתצוגות תא טייס, חלונות חדרי MRI ופתחי תצפית במתקנים מאובטחים.
ביוסנסורים ומעבדה-על-שבב
אלקטרודות ITO נמצאות בשימוש נרחב בביוסנסורים אלקטרוכימיים, ניטור תאים מבוסס עכבה ופלטפורמות מיקרופלואידיות של מעבדה-על-שבב, בזכות השילוב של מוליכות חשמלית, שקיפות אופטית (המאפשרת מיקרוסקופיה אופטית בו-זמנית) ותאימות ביולוגית. אלקטרודות עבודה ITO שעברו פונקציונליזציה עם אנזימים, נוגדנים או אפטאמרים מאפשרות זיהוי אמפרומטרי של גלוקוז, מוליכים עצביים ו-DNA של פתוגנים.
חלונות אלקטרוכרומיים וחכמים
זכוכית עם ציפוי ITO משמשת כמוליך שקוף בשני צידי התקנים אלקטרוכרומיים המאפננים העברה באור נראה ובאינפרה-אדום קרוב במתח מופעל. חלונות חכמים למבנים חסכוניים באנרגיה משתמשים במבני ITO/אלקטרוכרומי/ITO על פאנלי זכוכית בקנה מידה מטרי, הדורשים התנגדות יריעית מתחת ל-10 Ω/sq למעבר צבע אחיד על פני שטחים גדולים.
מדידה ובקרת איכות
כל מצע נבדק; CoA בכל משלוח; <strong>100% נתונים פרמטריים</strong>.
רכישת זכוכית מצופה ITO
מידות מותאמות אישית, דרגות התנגדות גיליון, פטרנינג. דברו עם המהנדסים שלנו כדי להתאים לדרישות שלכם—<strong>נוכל לעזור</strong>.