הסמכת שטיחות מחדש
הסמכת שטיחות פרוסות מקיפה.
סקירה כללית
שטיחות פרוסות אינה מספר יחיד — זהו מאפיין איכות רב-ממדי הקובע את נאמנות התבנית הליתוגרפית, אחידות CMP, תפוקת חיבור ואמינות טיפול בפרוסות.
שירות הסמכת השטיחות של GINECHIP מספק מדידה ותיעוד מקיפים הניתנים למעקב NIST של כל פרמטרי השטיחות הסטנדרטיים.
שירותי מדידת שטיחות
TTV — שונות עובי כוללת
TTV מודד את ההפרש בין ערכי העובי המקסימלי והמינימלי על פני כל הפרוסה.
STIR — קריאת מחוון כוללת לאתר
STIR מכמת את שונות העובי הכוללת בתוך אזור אתר מוגדר.
SFQR — טווח הריבועים הפחותים הקדמי של האתר
SFQR דומה ל-STIR אך מסיר את מישור ההתאמה הטובה ביותר מכל מדידת אתר.
GBIR — טווח אידיאלי גלובלי של הצד האחורי
GBIR מודד את שונות עובי הפרוסה ביחס למישור ייחוס אידיאלי ושטוח של הצד האחורי.
תהליך — רצף הסמכה מחדש
רישום פרוסות
כל פרוסה נרשמת עם מזהה ומפרטים.
התאמת סביבה
הפרוסות מתייצבות ל-23±0.5°C.
סריקת רשת צפופה
סריקת מד קיבול ב-≥2,500 נקודות.
חישוב פרמטרים
חישוב TTV, STIR, SFQR, GBIR.
סיווג SEMI
הקצאת סיווג SEMI M1-M13.
יצירת דו"ח
תעודת ניתוח מלאה.
מפרטי איכות — מערכת מטרולוגיה
| פרמטר | מפרט יעד | שיטת מדידה |
|---|---|---|
| דיוק מדידת TTV | ± 0.2μm (k=2) | תקני עובי ניתנים למעקב NIST |
| חזרתיות TTV | ± 0.1μm (3σ) | מדידות חוזרות על פרוסה סטנדרטית |
| צפיפות נקודות (200 מ"מ) | ≥ 1,000 נקודות | סריקת רשת במד קיבול |
| צפיפות נקודות (300 מ"מ) | ≥ 2,500 נקודות | סריקת רשת במד קיבול |
| דיוק גודל אתר | ± 0.5 מ"מ ב-X ו-Y | כיול שולחן באינטרפרומטר לייזר |
| בקרת סביבה | 23 ± 0.5°C, 45 ± 5% לחות יחסית | חיישנים ניתנים למעקב NIST |
| עקיבות נתונים | שרשרת כיול NIST/SEMI | תעודות כיול בתיק |
| זמן אספקת דוח | 24–48 שעות סטנדרטי | עיבוד אוטומטי ב-LIMS |
מפרטים מאומתים באמצעות תקני כיול.
שיטות מדידה — מד קיבול מול אינטרפרומטריה
שיטת מד קיבול
מערכת מדידת השטיחות העיקרית שלנו משתמשת בסריקת מד קיבול כפול.
שיטת אינטרפרומטריה (אופטית)
אינטרפרומטריה אופטית מספקת יכולת מדידה משלימה.
הסמכת ליתוגרפיה — דרישות שטיחות לפי צומת
שטיחות הפרוסה קובעת ישירות את עומק המיקוד השמיש לחשיפה ליתוגרפית.
דרישות שטיחות לפי צומת טכנולוגי
עבור צמתים בוגרים (≥ 180nm), ה-DOF בדרך כלל עולה על 500nm.
סיווגי שטיחות SEMI
תקני SEMI M1 עד M13 מגדירים מערכת סיווג מקיפה לשטיחות פרוסות סיליקון.
תוכן דו"ח הסמכה מחדש
כל מגרש מקבל תעודת ניתוח מקיפה.
יישומים
הסמכה מחדש של פרוסות משוחזרות
לאחר עיבוד שחזור פרוסות, יש לאמת מחדש את השטיחות.
ביקורת איכות ספקים
אימות שטיחות עצמאי של צד שלישי מספק ביקורת איכות אובייקטיבית של ספק הפרוסות שלך.
הבטחת איכות
מערכת המטרולוגיה שלנו עוברת אימות כיול יומי.