קלטות פרוסות (PEEK, מוגנות ESD)
קלטות PEEK ומוגנות ESD לאחסון והובלת פרוסות.
סקירה כללית
קלטות פרוסות הן הממשק העיקרי בין הפרוסות שלכם לשאר חלקי הפאב — מעיבוד בסטנד רטוב ועד להעמסה לתנור, מתחנות מדידה ועד להובלה בין-אזורית. קלטת מזוהמת, מעוותת או פולטת גזים עלולה להפחית בשקט את התפוקה של מנה שלמה. ב-GINECHIP אנו מספקים מגוון מלא של קלטות פרוסות ונשאים שתוכננו עבור תאימות כימית, יציבות תרמית ובקרת חלקיקים בכל סביבת תהליך מוליכים למחצה.
פורטפוליו הקלטות שלנו כולל PEEK (פוליאתראתרקטון) — תקן הזהב לעיבוד רטוב בטמפרטורה גבוהה — דרך PFA ו-PTFE עבור סביבות כימיות אגרסיביות, ועד קלטות פוליפרופילן חסכוניות לשימוש כללי בחדר נקי. כל קלטת זמינה בדרגות ESD-safe ואנטי-סטטיות להגנה על תחמוצות שער רגישות והתקני CMOS מתקדמים.
מדריך לבחירת חומר
קלטות פרוסות מ-PEEK
החומר המוביל לקלטות פרוסות — שימוש רציף ב-260°C, עמידות כימית מצוינת ודרגות מוגנות ESD מלאות פחמן.
- טמפרטורה: -40°C עד +260°C ברציפות
- עמידות מעולה בפני חומצות, בסיסים וממסים אורגניים
- פליטת גזים מזערית — מתאים לתהליכי ואקום
- זמין בדרגת ESD-safe עם מילוי פחמן (10⁴–10⁹ Ω/sq)
קלטות פרוסות PFA/PTFE
עמידות כימית כמעט אוניברסלית לתהליכי מוליכים למחצה תוקפניים — הבחירה הסטנדרטית לתחנות ניקוי RCA ותקיפת פיראניה.
- טמפרטורה: -200°C עד +260°C (PFA)
- אינרטי כמעט לכל הכימיקלים בתהליך
- מתכות מחולצות במינון נמוך במיוחד (< 1 ppb)
- משטח חלק ודוחה מפחית למינימום היצמדות חלקיקים
קלטות פרוסות PP אנטי-סטטיות / מוגנות ESD
הגנת ESD חסכונית עם מילוי פחמן מוליך, אידיאלית להובלה, אחסון ומטרולוגיה כלליים של פרוסות.
- התנגדות פני שטח: 10⁴–10¹¹ Ω/sq (ניתן להתאמה)
- דעיכה סטטית: < 0.5 שניות (MIL-B-81705C)
- קל משקל — מפחית שחיקת AMHS ועייפות מפעילים
- שחור או צבעים מותאמים לזיהוי תהליכים
קלטות פרוסות PP סטנדרטיות
קלטות פוליפרופילן ברמת כניסה ליישומים לא קריטיים — האפשרות החסכונית ביותר לפעילות בהיקף גדול.
- טמפרטורה: 0°C עד +100°C
- עמידות טובה בפני חומצות ובסיסים בטמפרטורת החדר
- זמין בצבע טבעי, לבן או צבעים מותאמים
- הנחות על אריזה בכמות גדולה לפריסה בכל הפאב
מפרטים טכניים
| פרמטר | טווח / ערכים זמינים |
|---|---|
| חומר | PEEK (polyetheretherketone), PFA, PTFE, Polypropylene (PP), Antistatic/ESD PP, Carbon-filled PEEK |
| קוטר פרוסה | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| קיבולת חריצים | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| מרווח חריצים | 4.76mm (3/16″), 6.35mm (1/4″), 9.525mm (3/8″), 12.7mm (1/2″), custom |
| הגנת ESD | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity; Conductive: < 10⁴ Ω/sq |
| טווח טמפרטורות | PEEK: -40°C to +260°C continuous; PFA: -200°C to +260°C; PP: -0°C to +100°C |
| דרגת חדר נקי | ISO Class 4–5 (Class 10–100) compatible; particle-controlled packaging |
| תצורה | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible cassettes |
| תקנים | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158; custom non-SEMI configurations |
| עמידות כימית | PEEK: excellent acid/alkali/solvent; PFA: near-universal chemical resistance |
| פליטת גזים | PEEK: < 0.1% TML, < 0.01% CVCM per ASTM E595 (space-grade available) |
תצורות ותאימות אוטומציה
סוגי קלטות פתוחות
- קלטת H-Bar — עיצוב מוט צולב בצורת H לגישה מקסימלית לפרוסות; מועדף להעמסה ידנית ולעבודה בסטנד רטוב
- קלטת C-Bar — לוחות קצה בצורת C עם מוטות חיבור; קלה יותר, מתאימה להובלה ואחסון
- קלטת Full-Body — דפנות צד סגורות להגנה מקסימלית על הפרוסות במהלך ההובלה
- תצורות חריצים מותאמות — מרווח חריצים, עומק ותכונות החזקת פרוסות לא סטנדרטיים
ממשק אוטומציה
- תואם SMIF Pod — קלטות שתוכננו להתממשק עם מערכות Standard Mechanical Interface (SMIF) עבור פאבים של 150mm/200mm
- קלטות פנימיות תואמות FOUP — לטיפול פנימי בפרוסות 300mm ב-Front-Opening Unified Pod
- תכונות טיפול ברובוט — אוגני איסוף, מגרעות יישור ומשטחי תווית ברקוד עבור מערכות הובלת חומרים אוטומטיות (AMHS)
- שילוב תגי RFID — תגי RFID מובנים או מוצמדים למעקב אחר מנות פרוסות (אופציונלי)
הגנת ESD ובקרת חשמל סטטי
פריקה אלקטרוסטטית (ESD) היא אחת הסיבות העיקריות לנזק להתקנים בייצור מוליכים למחצה מתקדם — במיוחד עבור תחמוצות שער דקות מתחת ל-2nm בצמתי לוגיקה מתקדמים. קלטות ה-ESD-safe שלנו תוכננו לעמוד בדרישות בקרת החשמל הסטטי התובעניות ביותר:
דיסיפטיבי סטטי
התנגדות פני שטח בטווח 10⁶–10⁹ Ω/sq. מטענים מתפזרים באופן מבוקר — מהר מספיק כדי למנוע הצטברות, ואיטי מספיק כדי למנוע פריקת ניצוץ. מומלץ לרוב סביבות הייצור של CMOS ו-MEMS.
מוליך
התנגדות פני שטח מתחת ל-10⁴ Ω/sq. פיזור מטען מהיר עבור התקנים רגישים במיוחד. PEEK עם מילוי פחמן או PP עם פחמן. נקודות חיבור הארקה זמינות לשילוב עם מערכות ההארקה של הפאב.
אנטי-סטטי (ציפוי שטח)
טיפול שטח בחומרים אנטי-סטטיים להפחתת מטען טריבואלקטרי. חסכוני להגנת ESD כללית. שים לב: טיפולי שטח עלולים להתדרדר בעיבוד רטוב חוזר — יש לשקול חומרים דיסיפטיביים בנפח עבור שימוש בסטנד רטוב.
יישומים
איכות והסמכה
כל קלטות הפרוסות מיוצרות ונארזות תחת ניהול איכות מוסמך ISO 9001:2015. כל מנה עוברת ספירת חלקיקים לפי IEST-RP-CC005, בדיקת פליטת גזים לפי ASTM E595 (היכן שרלוונטי), אימות מידות מול תקני SEMI, ואימות ביצועי ESD לפי ANSI/ESD S20.20. תעודות התאמה ותיעוד מלא של עקיבות חומרים מסופקים עם כל משלוח.
צריך קלטות פרוסות?
ציין קוטר, חומר, דרישות ESD ותצורה. הצעת מחיר תוך 24 שעות.