Кассеты для пластин (PEEK, ESD)
PEEK и ESD-безопасные кассеты для хранения и транспортировки пластин.
Обзор
Кассеты для пластин — это основной интерфейс между вашими пластинами и остальной фабрикой: от обработки на линии влажных процессов до загрузки в печь, от измерительных станций до межбейной транспортировки. Загрязненная, деформированная или газовыделяющая кассета может незаметно снизить выход годных по всей партии. Компания GINECHIP поставляет полный ассортимент кассет и носителей, спроектированных для химической совместимости, термической стабильности и контроля частиц в любой среде полупроводникового производства.
Наш ассортимент кассет охватывает PEEK (полиэфирэфиркетон) — золотой стандарт для высокотемпературных влажных процессов — PFA и PTFE для агрессивных химических сред, а также экономичный полипропилен для общего использования в чистых помещениях. Каждая кассета доступна в ESD-безопасном и антистатическом исполнении для защиты чувствительных подзатворных оксидов и передовых КМОП-приборов.
Руководство по выбору материала
Кассеты для пластин из PEEK
Премиальный материал для кассет пластин — непрерывная эксплуатация при 260°C, отличная химическая стойкость и ESD-безопасные углеродонаполненные марки.
- Температура: от -40°C до +260°C непрерывно
- Превосходная стойкость к кислотам, щелочам и органическим растворителям
- Минимальное газовыделение — подходит для вакуумных процессов
- Доступны в углеродонаполненном ESD-безопасном исполнении (10⁴–10⁹ Ω/sq)
Кассеты для пластин из PFA/PTFE
Почти универсальная химическая стойкость для агрессивных полупроводниковых процессов — стандартный выбор для станций RCA-очистки и травления в пиранье.
- Температура: от -200°C до +260°C (PFA)
- Инертен практически ко всем технологическим химикатам
- Сверхнизкое содержание экстрагируемых металлов (< 1 ppb)
- Гладкая нелипкая поверхность минимизирует прилипание частиц
Антистатические / ESD-безопасные кассеты из ПП
Экономичная ESD-защита с проводящим углеродным наполнением, идеальна для транспортировки, хранения и метрологии пластин.
- Удельное поверхностное сопротивление: 10⁴–10¹¹ Ω/sq (настраивается)
- Спад статического заряда: < 0,5 секунды (MIL-B-81705C)
- Легкий вес — снижает износ AMHS и утомляемость оператора
- Черный или заказные цвета для идентификации процессов
Стандартные кассеты из ПП
Полипропиленовые кассеты начального уровня для некритичных применений — самый экономичный вариант для крупносерийных операций.
- Температура: от 0°C до +100°C
- Хорошая стойкость к кислотам и щелочам при комнатной температуре
- Доступны в натуральном, белом или заказном цвете
- Скидки на оптовую упаковку для оснащения всей фабрики
Технические характеристики
| Параметр | Доступный диапазон / значения |
|---|---|
| Материал | PEEK (polyetheretherketone), PFA, PTFE, Polypropylene (PP), Antistatic/ESD PP, Carbon-filled PEEK |
| Диаметр пластины | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Ёмкость слотов | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Шаг слотов | 4.76mm (3/16″), 6.35mm (1/4″), 9.525mm (3/8″), 12.7mm (1/2″), custom |
| ESD-защита | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity; Conductive: < 10⁴ Ω/sq |
| Диапазон температур | PEEK: -40°C to +260°C continuous; PFA: -200°C to +260°C; PP: -0°C to +100°C |
| Класс чистого помещения | ISO Class 4–5 (Class 10–100) compatible; particle-controlled packaging |
| Конфигурация | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible cassettes |
| Стандарты | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158; custom non-SEMI configurations |
| Химическая стойкость | PEEK: excellent acid/alkali/solvent; PFA: near-universal chemical resistance |
| Газовыделение | PEEK: < 0.1% TML, < 0.01% CVCM per ASTM E595 (space-grade available) |
Конфигурации и совместимость с автоматизацией
Типы открытых кассет
- Кассета H-Bar — H-образная поперечная конструкция для максимального доступа к пластинам; предпочтительна для ручной загрузки и работы на линии влажных процессов
- Кассета C-Bar — C-образные торцевые пластины с соединительными стержнями; меньший вес, подходит для транспортировки и хранения
- Кассета Full-Body — закрытые боковые стенки для максимальной защиты пластин при транспортировке
- Заказные конфигурации слотов — нестандартный шаг, глубина слотов и элементы фиксации пластин
Интерфейс автоматизации
- Совместимость с SMIF-подом — кассеты, спроектированные для сопряжения со стандартным механическим интерфейсом (SMIF) для фабрик 150/200 мм
- Внутренние кассеты, совместимые с FOUP — для внутреннего обращения с пластинами 300 мм в Front-Opening Unified Pod
- Функции для роботизированного обращения — фланцы захвата, установочные пазы и поверхности для штрих-кодовых меток для систем автоматизированного перемещения материалов (AMHS)
- Интеграция RFID-меток — встроенные или прикрепленные RFID-метки для отслеживания партий пластин (опционально)
ESD-защита и контроль статики
Электростатический разряд (ESD) — одна из основных причин повреждения приборов в передовом полупроводниковом производстве, особенно для тонких подзатворных оксидов толщиной менее 2 нм в передовых логических узлах. Наши ESD-безопасные кассеты спроектированы в соответствии с самыми строгими требованиями к контролю статики:
Статико-диссипативный
Удельное поверхностное сопротивление в диапазоне 10⁶–10⁹ Ω/sq. Заряды рассеиваются контролируемым образом — достаточно быстро, чтобы предотвратить накопление, и достаточно медленно, чтобы избежать искрового разряда. Рекомендуется для большинства сред производства CMOS и MEMS.
Проводящий
Удельное поверхностное сопротивление ниже 10⁴ Ω/sq. Быстрое рассеивание заряда для высокочувствительных приборов. Углеродонаполненный PEEK или PP с углеродом. Доступны точки заземления для интеграции с системами заземления фабрики.
Антистатический (поверхностный)
Поверхностная обработка антистатическими агентами для снижения трибоэлектрического заряда. Экономичное решение для общей ESD-защиты. Примечание: поверхностные обработки могут деградировать при повторных влажных процессах — для использования на линии влажных процессов рассмотрите объемно-диссипативные материалы.
Применения
Качество и сертификация
Все кассеты для пластин изготавливаются и упаковываются в рамках системы менеджмента качества, сертифицированной по ISO 9001:2015. Каждая партия проходит подсчет частиц по IEST-RP-CC005, испытание на газовыделение по ASTM E595 (где применимо), проверку размеров по стандартам SEMI и валидацию характеристик ESD по ANSI/ESD S20.20. Сертификаты соответствия и полная документация по прослеживаемости материалов прилагаются к каждой поставке.
Нужны кассеты для пластин?
Укажите диаметр, материал, требования ESD и конфигурацию. Ответ в течение 24 ч.