«Улыбка» (Smiley)
Пластина изгибается так, что её центр находится ниже краёв, изгибаясь в профиль как улыбка — вогнутый, чашеобразный профиль.
Вогнутый · центр ниже краяПодложки · Кастомизация
Деформированные пластины
Заказные деформированные кремниевые пластины с заданным прогибом 5–8 мм и формой «улыбка», «хмурость» или «картофельный чип» для исследования напряжений, калибровки метрологии и проверки транспортировки.
5–8 mm Диапазон прогиба
3 profiles Формы прогиба
100mm–300mm Размеры пластин
On request Изготовление на заказ
Обзор
Деформированная пластина — это кремниевая подложка с намеренно введённым контролируемым прогибом, далеко выходящим за пределы обычных допусков по плоскостности. Вместо десятков микрометров, типичных для производственных пластин, эти подложки имеют 5–8 мм внеплоскостной деформации выбранной заказчиком формы.
Деформированные пластины используются там, где важна именно известная, воспроизводимая деформация — калибровка приборов измерения прогиба, обучение понятиям напряжений и плоскостности, валидация процессов корпусирования и транспортировки, визуализация напряжений тонких плёнок. GINECHIP изготавливает их с заданной величиной и одной из трёх канонических форм.
Формы прогиба
«Хмурость» (Frowny)
Пластина выгибается вверх так, что её центр поднимается над краями, как хмурость в профиль — выпуклый, куполообразный профиль.
Выпуклый · центр выше края«Картофельный чип»
Седловидная двойная кривизна: одна ось изгибается вверх, а перпендикулярная — вниз, как картофельный чип.
Седло · противоположная кривизна по осямХарактеристики
| Параметр | Спецификация |
|---|---|
| Warp / Bow magnitude | 5–8 mm (customer-specified) |
| Warp shape | Smiley · Frowny · Potato chip |
| Substrate | Silicon (CZ, FZ) |
| Wafer diameter | 100mm · 150mm · 200mm · 300mm |
| Thickness | 300–775 μm (standard thicknesses) |
| Magnitude tolerance | ±1 mm on specified warp |
| Surface finish | As-specified (prime / test grade) |
| Packaging | Warp-preserving cassette |
Применения
Исследование и характеризация напряжений
Контролируемый большой прогиб делает напряжения от тонких плёнок и процесса видимыми и измеримыми.
Калибровка средств измерений
Эталонные пластины с известной величиной и формой прогиба калибруют приборы измерения прогиба.
Обучение и демонстрация
Реальные деформированные пластины иллюстрируют понятия напряжений и плоскостности для обучения и тренировки заказчиков.
Валидация корпусирования и соединения
Проверка процессов транспортировки, соединения и контроля прогиба на известных экстремальных геометриях.
Тестирование транспортировки и автоматизации
Проверка обращения кассет, роботов и схватов с сильно деформированными подложками.
Визуализация напряжений тонких плёнок
Демонстрация деформации от напряжений нанесённых плёнок и термического рассогласования.
Возможности GINECHIP по деформированным пластинам
GINECHIP изготавливает деформированные пластины как контролируемую кастомизацию, а не случайный результат, поэтому поставляемая подложка несёт требуемую величину и форму, проверенные измерением перед отгрузкой.
Контролируемое создание прогиба
Процессы, воспроизводимо создающие заданную величину прогиба 5–8 мм и выбранную форму по всей партии.
Точность формы и величины
Профили «улыбка», «хмурость» и «картофельный чип» выдерживаются в допуске как по величине прогиба, так и по форме.
Метрологическая проверка
Каждая пластина измеряется, и прогиб фиксируется в отчёте для подтверждения соответствия целевому профилю перед отгрузкой.
Кастомизация и масштаб
От инженерных запусков на отдельных пластинах до малых партий по диаметрам 100–300 мм, с сертификатом соответствия на каждую партию.
Нужна деформированная пластина по спецификации?
Укажите целевую величину прогиба, форму и диаметр пластины — наши инженеры подтвердят достижимый профиль и предоставят предложение в течение 24 часов.