Переработка пластин — восстановление, очистка, шлифовка | GINECHIP

Up to 70%Экономия

3–5 CyclesЦиклы

100mm–300mmДиаметр

ISO 9001Сертификация

Обзор

Тысячи тестовых пластин в месяц. GINECHIP — единое решение для продления срока службы.

Полный цикл: восстановление, очистка, шлифовка кромки, изменение размера, маркировка.

Интеграция — единый контакт для всей цепочки переработки.

Услуги восстановления

Восстановление пластин →

Химическое удаление + CMP. Восстановление до Ra < 0,5 нм.

Film strip: oxide, nitride, metal, poly-SiCMP to Ra < 0.5nmTTV < 2μm post-polishParticle: < 10 adds @ 0.2μm3–5 reclaim cyclesSi · SOI · Glass · GaAs

Химическая очистка →

RCA SC-1/SC-2, пиранья. Металлы < 5E10 ат/см².

RCA SC-1 / SC-2SPM piranha cleanHF-last passivationMegasonic + brush scrubTXRF metal verificationClass 1 cleanroom

Шлифовка кромки →

SEMI профилирование кромки. Продление срока службы на 1–2 цикла.

SEMI standard edge profilesRemove chips & micro-cracksPrevent slip dislocationsRound / bevel / custom100mm–300mm diameterReduce thermal stress risk

Изменение размера →

Уменьшение диаметра ±50 мкм. Si, SOI, стекло, сапфир.

Diameter reduction±50μm toleranceNotch/flat re-machiningThickness adjustmentSi · SOI · Glass · SapphireLegacy size conversion

Лазерная маркировка →

Лазерная маркировка. SEMI T7. 1D/2D штрихкоды.

Front-side & edge markingSoft-mark / hard-mark optionsLot ID + cycle count encodingBarcode (1D/2D) capabilitySEMI T7 compliantLegacy mark re-identification

Пересертификация и метрология

Метрология и пересертификация с полной документацией.

Экономическое и экологическое воздействие

Снижение затрат

Экономия 50–70%. До $7.2M/год при 10K пластин/мес.

Экологическая устойчивость

Экономия 300 МВт·ч и 36 млн л воды в год. Поддержка ESG.

Интегрированный рабочий процесс

6 модулей в едином процессе. Единая система качества.

Входной контроль

Визуальный контроль. Цифровая регистрация. Маршрутизация.

Химическое удаление

Селективное удаление слоев. Мониторинг концентрации.

CMP и шлифовка кромки

CMP + шлифовка. Ra < 0,5 нм.

Химическая очистка

RCA + мегазвук. Сушка Марангони. TXRF.

Финальный контроль

TTV, AFM, частицы, эллипсометрия, микроскопия.

Упаковка и сертификация

Упаковка, маркировка, сертификат, отчёт.

Управление жизненным циклом

Интегрированная система: очистка после reclaim, шлифовка после очистки, маркировка.

3–5 циклов восстановления. Срок службы 5–8 лет.

GINECHIP управляет всем процессом. Один заказ, один контакт, одна система качества.

Начните программу переработки

Укажите тип, состояние, объём, нужные услуги. Ответ в течение 24 ч.

Запросить КП Связаться с инженерами

ISO 9001:2015 SEMI стандарты Интегрированный процесс Полная прослеживаемость

Услуги переработки пластин