Транспортировочные коробки и носители
Контейнеры для транспортировки одной и нескольких пластин.
Обзор
Транспортировка пластин — критически важное звено цепочки поставок полупроводников: идеально изготовленная пластина, прибывшая с загрязнением частицами, механическими повреждениями или ESD-деградацией, означает полную потерю ценности. Транспортируете ли вы премиальные пластины между фабриками, отправляете на обработку в фаундри или доставляете готовые пластины в упаковочные дома OSAT — транспортировочный контейнер является вашей последней и самой важной линией защиты.
Компания GINECHIP предлагает полную линейку транспортировочных боксов и носителей для пластин, спроектированных для международной логистики: боксы для одной пластины с прецизионно обработанной пеноматериальной амортизацией для дорогостоящих SOI или структурированных пластин, боксы для нескольких пластин, вмещающие полные кассеты на 25 пластин, вакуумно-герметичные контейнеры с опциональным заполнением азотом для материалов, чувствительных к окислению, и ESD-безопасные конструкции клетки Фарадея для передовых КМОП-приборов с подзатворными оксидами менее 2 нм.
Типы транспортировочных коробок
Тара для транспортировки одной пластины
Прецизионная конструкция для самых ценных пластин — SOI, структурированных пластин, заготовок ретикл-класса и особых подложек.
- Индивидуальная амортизация — нулевой контакт между пластинами
- Доступны с вакуумным портом для герметичного уплотнения
- Опциональное заполнение азотом для пластин, чувствительных к окислению
- Доступны этикетки-индикаторы удара и наклона
Тара для транспортировки нескольких пластин
Экономичное решение для транспортировки нескольких пластин (2–25) с проводящими пенопластовыми разделителями и конструкцией "кассета в коробке".
- Вместимость 2, 6, 13 или 25 пластин
- Проводящие разделители из PE-пеноматериала между каждой пластиной
- Конструкция «кассета в коробке» для совместимости с автоматизацией фабрики
- Штабелируемая конструкция для эффективной загрузки поддонов
Вакуумно-герметичные контейнеры для пластин
Герметично закрытый контейнер с вакуумным портом для чувствительных к влаге и склонных к окислению материалов.
- Скорость утечки: < 1×10⁻⁶ atm·cc/sec (He)
- В комплекте карта индикатора влажности (стандарт)
- Пакет с осушителем интегрирован в крышку
- Подходит для GaAs, InP и других подложек III-V
Раскладные носители для пластин
Легкие раскладные носители на шарнирах для сценариев частого доступа с быстрой защёлкой открытия/закрытия.
- Защелка с одним движением для работы в перчатках
- Прозрачная крышка из PC для визуального контроля пластин без вскрытия
- Легкий вес: на 50% меньше, чем у алюминиевых аналогов
- Штабелируемая конструкция с взаимоблокирующимся основанием и крышкой
Технические характеристики
| Параметр | Доступный диапазон / значения |
|---|---|
| Тип | Single-wafer shipper, Multi-wafer shipper (25/13 wafer), Clamshell, Vacuum-sealed, Foam-lined |
| Диаметр пластины | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Вместимость | 1 wafer, 2–6 wafers, 13 wafers, 25 wafers (standard cassette), custom |
| Материал корпуса | Conductive PP, Antistatic PC, ABS, PEEK, PTFE, Aluminum (anodized) |
| Материал амортизации | Conductive PE foam, Antistatic PU foam, PTFE inserts, PEEK wafer separators |
| ESD-защита | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq; Conductive: < 10⁴ Ω/sq; Faraday cage designs |
| Тип уплотнения | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, Latch-lock, Tamper-evident tape, Nitrogen backfill port |
| Класс чистого помещения | ISO Class 4–5 (Class 10–100) cleanroom assembled and packaged |
| Стандарты | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H packaging (dangerous goods option) |
| Диапазон температур | Standard: -20°C to +80°C; Premium PEEK: -40°C to +260°C |
| Кастомизация | Custom foam inserts, company logo, barcode labels, RFID tag slots, color coding |
ESD-защита и целостность упаковки
Уровни защиты от статики
- Статико-диссипативный — поверхностное сопротивление 10⁶–10⁹ Ω/sq для контролируемого стекания заряда; подходит для большинства технологий приборов
- Проводящий — < 10⁴ Ω/sq для быстрого рассеивания заряда; требуется для приборов с чувствительностью к ESD ниже 100 В HBM
- Клетка Фарадея — полностью металлический или металлизированный корпус, обеспечивающий полное электростатическое экранирование; эквивалент MIL-PRF-81705 Type III
- Заглубленный экранирующий слой — металлизированная внутренняя облицовка с диссипативной внешней оболочкой; сочетает эффективность клетки Фарадея с внешней ESD-безопасностью
Механическая защита
- Ударопоглощение — проводящий пеноматериал PE/PU с замедлением 25–50G при высоте падения 1 м по ISTA 3A
- Демпфирование вибраций — податливость пеноматериала настроена на спектр транспортных вибраций 5–500 Гц
- Сопротивление сжатию — усиленные углы и ребристая конструкция корпуса для штабелирования нагрузок до 100 кг
- Индикаторы удара — индикаторы ударной перегрузки в единицах G (пороги 25G, 50G, 75G) и индикаторы наклона для обеспечения качества логистики
Соответствие международным перевозкам
ISTA 3A
Испытания упаковки на эксплуатационные характеристики, имитирующие среды доставки посылок и сборных грузов (LTL). Наши транспортировочные боксы проходят испытания на падение, вибрацию и атмосферную подготовку согласно ISTA 3A для упаковок массой до 70 кг.
ASTM D4169
Стандартная практика испытаний транспортировочных контейнеров и систем. Охватывает испытания на обращение, сжатие, вибрацию и пониженное давление (высоту) — все валидированы для наших конструкций транспортировочных боксов.
UN 4G / 4H
Сертифицированная по стандартам ООН упаковка из фиброкартона (4G) и пластика (4H) для регулируемых материалов. Доступна для пластин, требующих классификации опасных грузов (например, некоторых подложек III-V с определенной химической обработкой).
Применения
Качество и сертификация
Каждый транспортировочный бокс собирается и упаковывается в чистом помещении класса ISO Class 5 (Class 100). Контроль качества включает проверку подсчета частиц по IEST-RP-CC005, испытания ESD-характеристик по ANSI/ESD STM11.11, анализ газовыделения по ASTM E595 (где указано) и испытание на падение по ISTA 3A при каждой ревизии конструкции. Управление качеством сертифицировано по ISO 9001:2015 с полной прослеживаемостью партий от сырья до финальной отгрузки.
Нужны решения для транспортировки?
Укажите размер, количество, способ доставки. Ответ в течение 24 ч.