Раскладные носители для пластин
Легкие носители с быстрым доступом на шарнирах для частых передач пластин в метрологических лабораториях и R&D-средах.
Обзор
Раскладные носители жертвуют максимальным уровнем защиты транспортировочных коробок ради скорости и удобства, учитывая реальность: многие перемещения пластин происходят по много раз в день на короткие расстояния — между технологическим оборудованием и метрологической станцией, через коридор в соседний корпус фабрики или при входе-выходе из лаборатории характеризации R&D. Однокнопочная защёлка открывается и закрывается одной рукой в перчатке, а откидная прозрачная поликарбонатная крышка позволяет операторам визуально подтвердить ориентацию и состояние пластины, вообще не вскрывая корпус.
Несмотря на облегчённую конструкцию — примерно вдвое легче сопоставимого алюминиевого носителя — блокируемая конструкция основания и крышки надёжно штабелируется для хранения и транспортировки на тележке, а сниженная масса заметно снижает утомляемость оператора и износ автоматизированного оборудования транспортировки материалов за полную рабочую смену. Доступны конфигурации для одной пластины и небольших партий пластин по всем стандартным диаметрам.
Технические характеристики
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Body Material | Conductive PC, antistatic ABS |
| Lid Type | Hinged, clear polycarbonate for visual inspection without opening |
| Latch Mechanism | Single-action latch, gloved-hand operable, cycle-tested 10,000+ operations |
| Weight | 50% lighter than comparable aluminum carriers |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Stacking | Interlocking base/lid design for cart and shelf storage |
| Cleanroom Class | ISO Class 5 (Class 100) molded and assembled |
| Standards | ANSI/ESD S20.20, SEMI E1 (slot-compatible variants) |
Применения
Быстрая, визуально проверяемая передача пластин между технологическим оборудованием и станциями метрологии или анализа дефектов.
Быстрая, малозатратная транспортировка пластин между соседними зданиями или технологическими зонами на одной площадке.
Быстрый доступ для лабораторий характеризации с частым оборотом небольших партий образцов.
Полочное хранение в чистом помещении для пластин, требующих повторного извлечения без затрат на полную повторную герметизацию.
Качество и сертификация
Раскладные носители формуются и собираются в чистом помещении класса ISO 5, при этом каждый механизм защёлки проходит циклические испытания более 10 000 операций открытия/закрытия без ухудшения уплотнения или совмещения. Все изделия соответствуют требованиям статического контроля ANSI/ESD S20.20 и имеют полную прослеживаемость партии по ISO 9001:2015.
Нужны раскладные носители для пластин?
Сообщите нам диаметр пластины и суточный объём передач — наша команда порекомендует подходящую конфигурацию раскладного носителя в течение 24 часов.