Klappwafer-Träger
Leichte, schnell zugängliche Klappträger für häufige Wafertransfers in Messlabors und F&E-Umgebungen.
Übersicht
Klappträger tauschen die maximale Schutztechnik von Versandboxen gegen Geschwindigkeit und Komfort ein und tragen der Realität Rechnung, dass viele Wafertransporte mehrmals täglich über kurze Distanzen stattfinden — zwischen einer Prozessanlage und einer Messstation, über einen Flur in ein benachbartes Fab-Gebäude oder ein und aus einem F&E-Charakterisierungslabor. Eine Einhand-Verriegelung öffnet und schließt mit einer behandschuhten Hand, und der klappbare klare Polycarbonat-Deckel ermöglicht es Bedienern, Waferausrichtung und -zustand visuell zu bestätigen, ohne das Gehäuse überhaupt zu öffnen.
Trotz der leichteren Bauweise — etwa die Hälfte des Gewichts eines vergleichbaren Aluminiumträgers — lässt sich die ineinandergreifende Basis-Deckel-Konstruktion für Lagerung und Wagentransport sicher stapeln, und die reduzierte Masse verringert messbar die Ermüdung des Bedieners und den Verschleiß automatisierter Materialtransportgeräte über eine volle Produktionsschicht. Erhältlich in Einzelwafer- und kleinen Multiwafer-Konfigurationen für alle Standarddurchmesser.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Verfügbarer Bereich / Werte |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Body Material | Conductive PC, antistatic ABS |
| Lid Type | Hinged, clear polycarbonate for visual inspection without opening |
| Latch Mechanism | Single-action latch, gloved-hand operable, cycle-tested 10,000+ operations |
| Weight | 50% lighter than comparable aluminum carriers |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Stacking | Interlocking base/lid design for cart and shelf storage |
| Cleanroom Class | ISO Class 5 (Class 100) molded and assembled |
| Standards | ANSI/ESD S20.20, SEMI E1 (slot-compatible variants) |
Anwendungen
Schnelle, visuell überprüfbare Waferübergabe zwischen Prozessanlagen und Mess- oder Defektprüfstationen.
Schneller, aufwandsarmer Wafertransport zwischen benachbarten Gebäuden oder Prozessbereichen am selben Standort.
Schnellzugriff für Charakterisierungslabors mit häufigem, kleinvolumigem Probenumsatz.
Reinraum-Regallagerung für Wafer, die wiederholten Zugriff ohne den Aufwand einer vollständigen erneuten Versiegelung erfordern.
Qualität & Zertifizierung
Klappträger werden in einem ISO-Klasse-5-Reinraum geformt und montiert, wobei jeder Verriegelungsmechanismus über 10.000 Öffnungs-/Schließzyklen ohne Verschlechterung von Dichtung oder Ausrichtung getestet wird. Alle Einheiten erfüllen die ANSI/ESD-S20.20-Anforderungen zur statischen Kontrolle und verfügen über vollständige ISO-9001:2015-Losrückverfolgbarkeit.
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