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2.5D · 3D-IC · FOWLPPackaging-Architekturen
L/S 0.4/0.4μmMin. RDL-Pitch
TSV · TGV · μ-BumpWichtige Packaging-Technologien
TB/s/mmInterconnect-Bandbreite

Übersicht

Advanced Packaging ist der zentrale Weg der Halbleiterindustrie über das Mooresche Gesetz hinaus. GINECHIP bietet umfassende Substrate und Prozessdienstleistungen für Advanced Packaging — von 2.5D-Silizium-Interposern über 3D-IC-Stacking bis zu Fan-Out-Wafer-Level-Packaging (FOWLP) und TSV-Technologie — und unterstützt heterogene Integration von der Chip- bis zur Systemebene.

Wir liefern branchenführende Qualität und Präzision — jeder Prozess läuft in einer ISO-Klasse-5-Reinraumumgebung und gewährleistet höchste Zuverlässigkeit und Ausbeute.

Packaging-Technologien

2.5D-Silizium-Interposer

TSV-basierte Silizium-Interposer verbinden mehrere Dies auf einem gemeinsamen Träger mit hochdichter Signalführung für die breiten I/O-Anbindungen von HBM-Stapeln und Multi-Die-SoCs.

Interposer: 300mm Si, 100μm thickTSV: 10μm dia, 100μm deep, AR 10:1RDL: Cu damascene, 2–5 layersL/S: 0.4/0.4μm minimumμ-bump pitch: 40–55μmC4 bump pitch: 130–150μm

3D-Die-Stacking & Hybridbonding

Vertikales Die-zu-Die- und Wafer-zu-Wafer-Stacking mittels Thermokompression oder Cu-Cu-Hybridbonding liefert die kürzestmöglichen Verbindungen für HBM-, Bildsensor- und Logic-on-Logic-3D-IC-Architekturen.

Stack height: 2–12 dieμ-bump pitch: 10–40μmHybrid bond pitch: < 1μm (R&amp;D)TSV: 5μm dia, 50μm deepWafer thinning: < 50μmTemp: TCB or mass reflow

Fan-Out Wafer-Level Packaging (FOWLP)

Bekannt gute Dies werden in einem geformten Wafer rekonstituiert und mit Feinpitch-Cu-RDL umverteilt, wodurch das Substrat entfällt und ein dünneres, kostengünstigeres Gehäuse mit exzellenter elektrischer Leistung entsteht.

Die shift: < 2μmRDL: Cu, 2–5 layers, L/S 2/2μmMold compound: EMCBall pitch: 300–500μmPackage thickness: < 0.5mmWafer: 200mm or 300mm recon

Fan-Out System-in-Package (SiP)

Ultra-feines 1μm-RDL, integrierte Passivbauteile und Cu-EMI-Abschirmung vereinen mehrere Dies in einem einzigen Fan-Out-Modul für RF-Frontend- und kompakte SiP-Anwendungen.

RDL L/S: 1/1μm (Cu damascene)Dielectric: polyimide or SiO₂Multi-die integrationPassive integration (IPD)Shielding: Cu backside metalWafer: 300mm

Flip-Chip-BGA (FC-BGA)

Flip-Chip-Dies werden direkt auf Laminatsubstrate mit Mikrovia-Verbindungen und mSAP-Feinleiterführung montiert — die Standard-Packaging-Plattform für CPUs, GPUs und Netzwerk-ASICs.

Laminate: BT, ABF, or corelessDie thickness: 50–100μmMicrovia: 30–60μm diaL/S: 8/8μm (mSAP)Embedded passives possiblePanel-level processing option

Glasinterposer (TGV)

Through-Glass-Vias auf ultraflachen, verlustarmen Glassubstraten bieten einen einstellbaren CTE und überlegene RF-Eigenschaften gegenüber Silizium — ideal für Hochfrequenz-RDL und großformatige Fan-Out-Interposer.

Glass: borosilicate, fused silicaTGV: 20–50μm dia, AR 6:1Metallization: Cu-filled TGVCTE: 3–8 ppm/K (tunable)Panel: up to 510×515mmLoss tangent: < 0.005 @ 10GHz

Verfügbare Prozessdienstleistungen

RDL- & UBM-Prozessierung

Feinpitch-RDL-Routing und Under-Bump-Metallisierung für Wafer-Level-Interconnect, von Standard-10μm bis Ultra-Fine-0,4μm L/S.

TSV- & TGV-Fertigung

Bohren von Through-Silicon- und Through-Glass-Vias, Linerabscheidung und Cu-Füllung für hochdichte vertikale Verbindungen in 2.5D/3D-Gehäusen.

Wafer-Verdünnung & Backgrinding

Präzises Backgrinding und spannungsarmes Polieren bis unter 50μm Endstärke für TSV-Freilegung und 3D-Stacking.

Wafer-zu-Wafer- & Die-zu-Wafer-Bonding

Thermokompressions- und Cu-Cu-Hybridbonding-Services für 3D-IC-Stacking mit Sub-Mikrometer-Ausrichtgenauigkeit.

Fan-Out-Rekonstitution & Molding

Die-Platzierung, Epoxidharz-Overmolding und Prozessierung rekonstituierter Wafer/Panels für FOWLP und Fan-Out-SiP.

Substrat- & Package-Messtechnik

AOI, Röntgen, C-SAM und Querschnittsanalyse zur Prüfung der RDL-Integrität, Via-Füllqualität und Package-Zuverlässigkeit.

Hauptanwendungsbereiche

KI- & HPC-Beschleuniger

2.5D-Silizium-Interposer verbinden Logik-Dies mit HBM-Speicherstapeln und liefern die für KI-Training und -Inferenz nötige Interconnect-Bandbreitendichte.

High-Bandwidth Memory (HBM)

TSV-Interposer und Cu-Cu-Hybridbonding stapeln mehrere DRAM-Dies mit den breiten I/O-Schnittstellen, die für HBM3- und HBM3E-Speicherwürfel erforderlich sind.

Mobile SoC- & AP-Packaging

FOWLP und Fan-Out-SiP verringern Grundfläche und Bauhöhe für Anwendungsprozessoren und RF-Module in Smartphones und Wearables.

5G- & RF-Frontend-Module

Feinpitch-RDL mit integrierten Passivbauteilen und Cu-EMI-Abschirmung vereint Filter, Schalter und Leistungsverstärker in kompakten RF-Frontend-Modulen.

Automobil- & Industrieelektronik

Zuverlässiges Flip-Chip-BGA- und Fan-Out-Packaging ist für erweiterte Temperaturbereiche und Vibrationen in ADAS, Leistungsmodulen und Industriesteuerungen ausgelegt.

Data-Center-Networking

Hochdichtes 2.5D-Packaging verbindet Switch-ASICs mit optischen Engines und SerDes-Chiplets für Netzwerk-Silizium der nächsten Generation.

RDL-Designregeln

ParameterStandard-RDL (≤ 10μm L/S)Fine-Line-RDL (≤ 5μm L/S)Ultra-Fine-RDL (≤ 2μm L/S)
Minimum L/S5/5μm2/2μm0.4/0.4μm
Cu Thickness5–8μm3–5μm1–3μm
Via Diameter20–30μm10–15μm5–10μm
DielectricPolyimide (PID)Polyimide or BCBSiO₂ (CVD)
Dielectric Constant (k)3.0–3.52.6–3.03.9 (SiO₂)
Number of Layers1–32–52–8
Cu Deposition MethodSemi-additive (SAP)SAP or DamasceneCu Damascene
PlanarizationNone or CMPCMPCMP (per layer)

Substratauswahl

Die Substratauswahl ist entscheidend für die Gesamtleistung beim Advanced Packaging. Unser Engineering-Team empfiehlt die optimale Kombination aus Substratmaterial und Spezifikation basierend auf Ihrer Packaging-Architektur, Ihrem Thermal Budget und Ihren elektrischen Leistungsanforderungen.

Qualität & Messtechnik

Jeder RDL- und TSV-Prozess läuft in einem ISO-Klasse-5-Reinraum mit vollständiger Inline-Messtechnik, abgesichert durch unser ISO-9001:2015-Qualitätssystem.

Bereit loszulegen?

Kontaktieren Sie unser Engineering-Team, um Ihre spezifischen Anforderungen zu besprechen und innerhalb von 24 Stunden ein detailliertes Angebot zu erhalten.

ISO 9001:2015 JEDEC Standards TSV · RDL · Bump 3D Integration