Versandboxen & Carrier
Einzel- und Mehrfach-Wafer-Transportbehälter mit ESD-Schutz.
Übersicht
Der Wafersand ist ein kritischer Punkt in der Halbleiterlieferkette — ein perfekt gefertigter Wafer, der mit Partikelkontamination, mechanischen Schäden oder ESD-Degradation ankommt, bedeutet vollständige Wertvernichtung. Ob Sie Prime-Wafer zwischen Fabs versenden, zur Foundry-Bearbeitung ausgeben oder fertige Wafer an OSAT-Packaging-Häuser liefern — die Versandbox ist Ihre letzte und wichtigste Verteidigungslinie.
GINECHIP bietet eine umfassende Produktlinie an Wafer-Versandboxen und Carriern für die internationale Logistik: Einzelwafer-Versandboxen mit präzisionsgefräster Schaumstoffpolsterung für hochwertige SOI- oder strukturierte Wafer, Mehrfachwafer-Versandboxen für den Transport kompletter 25-Wafer-Kassetten, vakuumversiegelte Behälter mit optionaler Stickstoffbegasung für oxidationsempfindliche Materialien sowie ESD-sichere Faraday-Käfig-Designs für fortschrittliche CMOS-Bauelemente mit Gate-Oxiden unter 2 nm.
Versandbox-Typen
Einzelwafer-Versandboxen
Präzisionskonstruktion für die wertvollsten Wafer — SOI, strukturierte Wafer, Retikel-Rohlinge und exotische Substrate.
- Einzeln gepolstert — kein Wafer-zu-Wafer-Kontakt
- Erhältlich mit Vakuumanschluss für hermetische Versiegelung
- Optionale Stickstoffbegasung für oxidationsempfindliche Wafer
- Stoß- und Neigungsindikator-Etiketten erhältlich
Multiwafer-Versandboxen
Kosteneffiziente Lösung für den Versand mehrerer Wafer (2–25) mit leitfähigen Schaumstofftrennern und Cassette-in-Box-Design.
- Kapazität für 2, 6, 13 oder 25 Wafer
- Leitfähige PE-Schaumstoff-Separatoren zwischen jedem Wafer
- Kassette-in-Box-Design für Kompatibilität mit der Fab-Automatisierung
- Stapelbar für effizientes Palettenladen
Vakuumversiegelte Wafer-Shipper
Hermetisch versiegelter Behälter mit Vakuumanschluss für feuchtigkeitsempfindliche und oxidationsanfällige Materialien.
- Leckrate: < 1×10⁻⁶ atm·cc/sec (He)
- Feuchtigkeitsindikatorkarte im Lieferumfang (Standard)
- Trockenmittelpackung in den Deckel integriert
- Geeignet für GaAs, InP und andere III-V-Substrate
Klappwafer-Träger
Leichte, klappbare Muschelträger für häufige Zugriffsszenarien mit schneller Öffnungs-/Schließverriegelung.
- Einhandverschluss für den Betrieb mit Handschuhen
- Transparenter PC-Deckel zur Sichtprüfung der Wafer ohne Öffnen
- Leichtgewicht: 50% weniger als Aluminiumalternativen
- Stapelbar mit ineinandergreifendem Boden-/Deckel-Design
Technische Spezifikationen
| Parameter | Verfügbarer Bereich / Werte |
|---|---|
| Typ | Single-wafer shipper, Multi-wafer shipper (25/13 wafer), Clamshell, Vacuum-sealed, Foam-lined |
| Waferdurchmesser | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Fassungsvermögen | 1 wafer, 2–6 wafers, 13 wafers, 25 wafers (standard cassette), custom |
| Gehäusematerial | Conductive PP, Antistatic PC, ABS, PEEK, PTFE, Aluminum (anodized) |
| Polstermaterial | Conductive PE foam, Antistatic PU foam, PTFE inserts, PEEK wafer separators |
| ESD-Schutz | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq; Conductive: < 10⁴ Ω/sq; Faraday cage designs |
| Dichtungstyp | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, Latch-lock, Tamper-evident tape, Nitrogen backfill port |
| Reinraumklasse | ISO Class 4–5 (Class 10–100) cleanroom assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H packaging (dangerous goods option) |
| Temperaturbereich | Standard: -20°C to +80°C; Premium PEEK: -40°C to +260°C |
| Anpassung | Custom foam inserts, company logo, barcode labels, RFID tag slots, color coding |
ESD-Schutz & Verpackungsintegrität
Statische Schutzstufen
- Statisch dissipativ — Oberflächenwiderstand 10⁶–10⁹ Ω/sq für kontrolliertes Ladungsableiten; geeignet für die meisten Bauteiltechnologien
- Leitfähig — < 10⁴ Ω/sq für schnelle Ladungsdissipation; erforderlich für Bauelemente mit ESD-Empfindlichkeit unter 100 V HBM
- Faraday-Käfig — Vollmetall- oder metallisiertes Gehäuse für vollständige elektrostatische Abschirmung; entspricht MIL-PRF-81705 Type III
- Eingebettete Abschirmschicht — metallisierte Innenauskleidung mit dissipativer Außenhülle; kombiniert Faraday-Käfig-Wirkung mit äußerer ESD-Sicherheit
Mechanischer Schutz
- Stoßabsorption — leitfähiger PE-/PU-Schaum mit 25–50G-Verzögerung bei 1 m Fallhöhe nach ISTA 3A
- Schwingungsdämpfung — Schaumstoffnachgiebigkeit abgestimmt auf das Transport-Vibrationsspektrum von 5–500 Hz
- Druckbeständigkeit — verstärkte Ecken und gerippte Gehäusestruktur für Stapellasten bis 100 kg
- Stoßindikatoren — G-Kraft-Stoßindikatoren (Schwellenwerte 25G, 50G, 75G) und Neigungsindikatoren für die Logistikqualitätssicherung
Internationale Versandkonformität
ISTA 3A
Verpackungsleistungstests zur Simulation von Paketzustellung und LTL-Frachtumgebungen. Unsere Versandboxen bestehen Fall-, Vibrations- und Klimakonditionierungstests gemäß ISTA 3A für Pakete bis 70 kg.
ASTM D4169
Standardverfahren für Leistungstests von Versandbehältern und -systemen. Umfasst Handhabungs-, Kompressions-, Vibrations- und Niederdrucktests (Höhe) — alle für unsere Versandbox-Designs validiert.
UN 4G / 4H
UN-zertifizierte Verpackungen aus Faserplatte (4G) und Kunststoff (4H) für regulierte Materialien. Erhältlich für Wafer, die eine Gefahrgutklassifizierung erfordern (z. B. bestimmte III-V-Substrate mit spezifischer chemischer Behandlung).
Anwendungen
Qualität & Zertifizierung
Jede Versandbox wird in einer Reinraumumgebung der ISO Class 5 (Class 100) montiert und verpackt. Die Qualitätssicherung umfasst Partikelzählungsverifikation nach IEST-RP-CC005, ESD-Leistungsprüfung nach ANSI/ESD STM11.11, Ausgasungsanalyse nach ASTM E595 (sofern spezifiziert) und Fallprüfung nach ISTA 3A bei jeder Designrevision. Nach ISO 9001:2015 zertifiziertes Qualitätsmanagement mit vollständiger Chargenrückverfolgbarkeit vom Rohmaterial bis zur Endlieferung.
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