クラムシェル型ウェーハキャリア
計測ラボやR&D環境における頻繁なウェーハ移送向けの、軽量でクイックアクセス可能なヒンジ式キャリア。
概要
クラムシェルキャリアは、輸送箱の最大限の保護設計を、速度と利便性のためにトレードオフします。これは、多くのウェーハ移動が1日に何度も、プロセスツールと計測ステーションの間、廊下を挟んだ隣接ファブ建屋への移動、あるいはR&D特性評価ラボへの出入りなど、短距離で発生するという実情に対応するものです。ワンアクションラッチは手袋をした片手で開閉でき、ヒンジ式のクリアポリカーボネートリッドにより、オペレーターは筐体を開けることなくウェーハの向きと状態を目視確認できます。
軽量構造（同等のアルミニウムキャリアの約半分の重量）にもかかわらず、インターロック式のベースとリッド設計により保管やカート輸送時にも安全に積み重ねることができ、質量の低減はフルシフトを通じてオペレーターの疲労と自動搬送装置の摩耗を測定可能なレベルで削減します。すべての標準直径において、単枚および少数枚構成で提供されます。
技術仕様
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Body Material | Conductive PC, antistatic ABS |
| Lid Type | Hinged, clear polycarbonate for visual inspection without opening |
| Latch Mechanism | Single-action latch, gloved-hand operable, cycle-tested 10,000+ operations |
| Weight | 50% lighter than comparable aluminum carriers |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Stacking | Interlocking base/lid design for cart and shelf storage |
| Cleanroom Class | ISO Class 5 (Class 100) molded and assembled |
| Standards | ANSI/ESD S20.20, SEMI E1 (slot-compatible variants) |
アプリケーション
プロセスツールと計測または欠陥レビューステーション間の、迅速で視覚的に確認可能なウェーハ引き渡し。
同一敷地内の隣接建屋やプロセスベイ間での、迅速かつ低コストのウェーハ輸送。
頻繁な少量サンプルの回転を扱う特性評価ラボ向けのクイックオープンアクセス。
完全な再封止の手間をかけずに繰り返し取り出す必要があるウェーハ向けのクリーンルーム棚保管。
品質と認証
クラムシェルキャリアはISO Class 5クリーンルームで成形・組立され、各ラッチ機構は10,000回を超える開閉サイクル試験を受け、シールや位置合わせの劣化がないことを確認しています。すべてのユニットはANSI/ESD S20.20静電気制御要件を満たし、完全なISO 9001:2015ロットトレーサビリティを備えています。