클램셸 웨이퍼 캐리어
계측 실험실 및 R&D 환경에서 빈번한 웨이퍼 이동을 위한 가볍고 빠르게 접근 가능한 힌지형 캐리어입니다.
개요
Clamshell 캐리어는 속도와 편리함을 위해 배송 상자의 최대 보호 엔지니어링을 포기하고 공정 도구와 계측 스테이션 사이, 복도를 가로질러 인접한 팹 건물 또는 R&D 특성화 연구실 안팎에서 짧은 거리에서 하루에 여러 번 많은 웨이퍼 이동이 발생하는 현실을 해결합니다. 싱글 액션 래치는 장갑을 낀 한 손으로 열고 닫을 수 있으며, 경첩이 달린 투명한 폴리카보네이트 뚜껑을 통해 작업자는 인클로저를 전혀 파손하지 않고도 웨이퍼 방향과 상태를 시각적으로 확인할 수 있습니다.
비슷한 알루미늄 캐리어 무게의 약 절반에 불과한 가벼운 구조에도 불구하고, 연동형 베이스와 뚜껑 디자인은 보관 및 카트 운반을 위해 안전하게 쌓이고, 질량이 줄어들어 전체 생산 교대에서 작업자의 피로와 자동화된 자재 취급 장비의 마모가 눈에 띄게 줄어듭니다. 모든 표준 직경에 걸쳐 단일 웨이퍼 및 소형 다중 웨이퍼 구성으로 제공됩니다.
기술 사양
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Body Material | Conductive PC, antistatic ABS |
| Lid Type | Hinged, clear polycarbonate for visual inspection without opening |
| Latch Mechanism | Single-action latch, gloved-hand operable, cycle-tested 10,000+ operations |
| Weight | 50% lighter than comparable aluminum carriers |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Stacking | Interlocking base/lid design for cart and shelf storage |
| Cleanroom Class | ISO Class 5 (Class 100) molded and assembled |
| Standards | ANSI/ESD S20.20, SEMI E1 (slot-compatible variants) |
응용
프로세스 도구와 계측 또는 결함 검토 스테이션 간의 빠르고 시각적으로 검증 가능한 웨이퍼 핸드오프.
인접한 건물이나 동일한 현장의 프로세스 베이 간에 신속하고 오버헤드가 낮은 웨이퍼 운송입니다.
빈번한 소규모 배치 샘플 회전율을 처리하는 특성화 실험실에 대한 빠른 접근이 가능합니다.
전체 재밀봉에 대한 부담 없이 반복적인 회수가 필요한 웨이퍼용 클린룸 선반 보관소입니다.
품질 및 인증
클램셸 캐리어는 ISO 클래스 5 클린룸에서 성형 및 조립되며, 각 래치 메커니즘은 씰이나 정렬의 저하 없이 10,000회 이상의 열기/닫기 작업에 대해 사이클 테스트를 거쳤습니다. 모든 장치는 ANSI/ESD S20.20 정적 제어 요구 사항을 충족하고 완전한 ISO 9001:2015 로트 추적성을 제공합니다.