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2–25 Wafers용량
100mm–300mm웨이퍼 직경
Conductive PE Foam분리막 재질
Cassette-in-Box자동화 인터페이스

개요

멀티 웨이퍼 배송업체는 개별 단일 웨이퍼 패키징의 단위당 비용 없이 테스트, 모니터 또는 생산 웨이퍼 배치를 이동할 수 있는 경제적인 방법을 팹 및 유통 센터에 제공합니다. 웨이퍼는 정전기 방지 인터리프 폼 시트로 분리되거나 전도성 카세트 인서트 내의 전용 슬롯에 장착되어 스태킹 및 팔레트 로드 하에서도 각 기판을 기계적으로 격리된 상태로 유지합니다.

카세트 인 박스 형식은 AMHS(팹 자동화 자재 처리 시스템)와 직접 인터페이스하도록 설계되었으므로 웨이퍼는 중간 전송 단계 없이 입고 도크에서 스토커로 이동할 수 있습니다. 효율적인 팔레트 로딩을 위해 상자가 안전하게 쌓이고, 모든 장치는 표준 로트 크기에 맞게 2, 6, 13 또는 25웨이퍼 용량으로 제공됩니다.

기술 사양

ParameterAvailable Range / Values
Wafer Diameter100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″)
Capacity2, 6, 13, or 25 wafers per box; custom counts available
Separator MaterialConductive PE foam interleaf sheets, or conductive cassette insert
Body MaterialConductive PP, antistatic PC, ABS
ESD ProtectionStatic-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity
Automation InterfaceCassette-in-box design compatible with fab AMHS
StackingInterlocking base/lid for secure pallet loading
Cleanroom ClassISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged
StandardsSEMI E154, SEMI E1, ISTA 3A, ASTM D4169

응용

웨이퍼 유통 테스트 및 모니터링

도구 검증 현장과 제조 시설 간 테스트 및 모니터 웨이퍼를 경제적으로 대량 배송합니다.

Fab 간 대량 전송

단일 전도성 카세트 인서트 아래 여러 현장의 팹 네트워크 간에 생산 웨이퍼의 전체 이동이 가능합니다.

파운드리 고객 선적

옵션으로 브랜드 상자 라벨을 부착하여 파운드리 고객에게 표준 로트 아웃바운드 배송을 제공합니다.

팔레트 수준 물류

대용량 화물 통합 및 창고 보관 밀도에 최적화된 적층형 박스 디자인입니다.

품질 및 인증

멀티 웨이퍼 박스는 ISO 클래스 4-5 클린룸 조건에서 조립되며 각 인터리프 폼 시트와 카세트 인서트는 포장 전에 입자 기여가 검증되었습니다. 설계 수정 사항은 ISTA 3A 낙하 및 진동 테스트를 통과했으며 모든 배송에는 완전한 ISO 9001:2015 로트 추적성이 포함됩니다.

멀티 웨이퍼 배송 상자가 필요하십니까?

웨이퍼 직경, 로트 크기 및 AMHS 호환 요구 사항을 지정해 주시면 24시간 이내에 카세트 인서트 구성과 리드 타임을 확인해 드리겠습니다.

ISO 9001:2015 AMHS 호환 2–25 웨이퍼 용량 적층형 디자인