다중 웨이퍼 배송 상자
전도성 폼 분리기와 카세트 인 박스 설계를 갖춘 상자당 2~25개의 웨이퍼를 배송할 수 있는 비용 효율적인 캐리어입니다.
개요
멀티 웨이퍼 배송업체는 개별 단일 웨이퍼 패키징의 단위당 비용 없이 테스트, 모니터 또는 생산 웨이퍼 배치를 이동할 수 있는 경제적인 방법을 팹 및 유통 센터에 제공합니다. 웨이퍼는 정전기 방지 인터리프 폼 시트로 분리되거나 전도성 카세트 인서트 내의 전용 슬롯에 장착되어 스태킹 및 팔레트 로드 하에서도 각 기판을 기계적으로 격리된 상태로 유지합니다.
카세트 인 박스 형식은 AMHS(팹 자동화 자재 처리 시스템)와 직접 인터페이스하도록 설계되었으므로 웨이퍼는 중간 전송 단계 없이 입고 도크에서 스토커로 이동할 수 있습니다. 효율적인 팔레트 로딩을 위해 상자가 안전하게 쌓이고, 모든 장치는 표준 로트 크기에 맞게 2, 6, 13 또는 25웨이퍼 용량으로 제공됩니다.
기술 사양
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Capacity | 2, 6, 13, or 25 wafers per box; custom counts available |
| Separator Material | Conductive PE foam interleaf sheets, or conductive cassette insert |
| Body Material | Conductive PP, antistatic PC, ABS |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Automation Interface | Cassette-in-box design compatible with fab AMHS |
| Stacking | Interlocking base/lid for secure pallet loading |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, SEMI E1, ISTA 3A, ASTM D4169 |
응용
도구 검증 현장과 제조 시설 간 테스트 및 모니터 웨이퍼를 경제적으로 대량 배송합니다.
단일 전도성 카세트 인서트 아래 여러 현장의 팹 네트워크 간에 생산 웨이퍼의 전체 이동이 가능합니다.
옵션으로 브랜드 상자 라벨을 부착하여 파운드리 고객에게 표준 로트 아웃바운드 배송을 제공합니다.
대용량 화물 통합 및 창고 보관 밀도에 최적화된 적층형 박스 디자인입니다.
품질 및 인증
멀티 웨이퍼 박스는 ISO 클래스 4-5 클린룸 조건에서 조립되며 각 인터리프 폼 시트와 카세트 인서트는 포장 전에 입자 기여가 검증되었습니다. 설계 수정 사항은 ISTA 3A 낙하 및 진동 테스트를 통과했으며 모든 배송에는 완전한 ISO 9001:2015 로트 추적성이 포함됩니다.