Multiwafer-Versandboxen
Kosteneffiziente Träger für den Versand von 2 bis 25 Wafern pro Box mit leitfähigen Schaumstofftrennern und Cassette-in-Box-Design.
Übersicht
Multiwafer-Versandboxen bieten Fabs und Vertriebszentren eine wirtschaftliche Möglichkeit, Chargen von Test-, Monitor- oder Produktionswafern zu transportieren, ohne die Stückkosten einer Einzelverpackung. Die Wafer werden durch antistatische Zwischenlagen-Schaumfolien getrennt oder in speziellen Schlitzen innerhalb eines leitfähigen Kasseteneinsatzes platziert, wodurch jedes Substrat auch unter Stapel- und Palettenlasten mechanisch isoliert bleibt.
Das Cassette-in-Box-Format ist für die direkte Schnittstelle mit automatisierten Materialtransportsystemen (AMHS) der Fab ausgelegt, sodass Wafer ohne Zwischenübergabe von der Wareneingangsrampe zum Stocker gelangen können. Die Boxen lassen sich sicher stapeln für effiziente Palettenbeladung und sind in Kapazitäten von 2, 6, 13 oder 25 Wafern erhältlich, passend zu Standard-Losgrößen.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Capacity | 2, 6, 13, or 25 wafers per box; custom counts available |
| Separator Material | Conductive PE foam interleaf sheets, or conductive cassette insert |
| Body Material | Conductive PP, antistatic PC, ABS |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Automation Interface | Cassette-in-box design compatible with fab AMHS |
| Stacking | Interlocking base/lid for secure pallet loading |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, SEMI E1, ISTA 3A, ASTM D4169 |
Anwendungen
Wirtschaftlicher Massenversand von Test- und Monitor-Wafern zwischen Anlagenqualifizierungsstandorten und Fabs.
Vollständiger Losversand von Produktionswafern zwischen mehreren Fab-Standorten in einem einzigen leitfähigen Kasseteneinsatz.
Standard-Losversand an Foundry-Kunden mit optionaler Markenbeschriftung der Box.
Stapelbares Boxdesign, optimiert für hochvolumige Frachtkonsolidierung und Lagerdichte.
Qualität & Zertifizierung
Multiwafer-Boxen werden unter ISO-Klasse-4–5-Reinraumbedingungen montiert, wobei jede Zwischenlagen-Schaumfolie und jeder Kasseteneinsatz vor dem Verpacken auf Partikelbeitrag geprüft wird. Designrevisionen bestehen ISTA-3A-Fall- und Vibrationstests, und jede Sendung verfügt über vollständige ISO-9001:2015-Losrückverfolgbarkeit.
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