Einzelwafer-Versandboxen
Präzise schaumgepolsterte Träger für den Einzelversand hochwertiger SOI-, strukturierter und exotischer Substratwafer.
Übersicht
Einzelwafer-Versandboxen bieten das höchste Schutzniveau im Verpackungsportfolio von GINECHIP und sind für Wafer konzipiert, bei denen Ersatzkosten oder Lieferzeiten jegliche Beschädigung inakzeptabel machen. Jeder Wafer wird in einer CNC-gefrästen leitfähigen Schaumstofftasche mit kontrollierter Kompression fixiert, wodurch jeglicher Wafer-zu-Wafer-Kontakt entfällt und das Substrat während des Transports vor Stößen, Vibrationen und elektrostatischer Entladung isoliert wird.
Optionale hermetische Vakuumversiegelung und Stickstoff-Rückfüllung erweitern den Schutz auf oxidationsempfindliche Oberflächen und feuchtigkeitskritische Schichtstapel, während Stoß- und Kippanzeige-Etiketten den Wareneingangsprüfern eine sofortige visuelle Aufzeichnung der Handhabungsereignisse während des Transports liefern. GINECHIP montiert jede Einzelwafer-Versandbox in einem ISO-Klasse-4–5-Reinraum, um Partikelkontamination zu verhindern, bevor die Box überhaupt versiegelt wird.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Cushion Material | CNC-machined conductive PE/PU foam, custom-profiled per wafer type |
| Wafer Retention | Individually suspended, controlled compression, zero wafer-to-wafer contact |
| Sealing | Standard snap-lid, optional hermetic vacuum port |
| Backfill Gas | Dry nitrogen or argon (optional, with vacuum-sealed variant) |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq; conductive foam variant < 10⁴ Ω/sq |
| Indicators | Shock indicator label (25G/50G/75G), tilt indicator (optional) |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169 |
Anwendungen
Individuell gepolsterter Schutz für hochwertige SOI-Substrate und strukturierte Wafer, bei denen jegliches Oberflächenkontaktrisiko inakzeptabel ist.
Schaumstoffgeometrien, angepasst für Retikel-Rohlinge und spezielle optische Substrate, die maximalen Oberflächenschutz erfordern.
Sichere Übergabe fertiger Wafer in einer einzelnen Charge zwischen Wafer-Fabs und OSAT-Partnern (Outsourced Assembly and Test).
Kompakter, sicherer Versand für einmalige Wafer-Proben, die zwischen Universitäts-, Unternehmens- und Pilotlinienlaboren ausgetauscht werden.
Qualität & Zertifizierung
Jede Einzelwafer-Versandbox wird unter ISO-Klasse-4–5-Reinraumbedingungen montiert und versiegelt. Jede Designrevision wird nach ISTA 3A einem Falltest unterzogen, und jede Charge wird auf Partikelzahl sowie, falls spezifiziert, auf Ausgasungsverhalten nach ASTM E595 geprüft. Jeder Sendung liegt eine vollständige ISO-9001:2015-Rückverfolgbarkeitsdokumentation bei.
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