Vakuumversiegelte Wafer-Shipper
Hermetisch versiegelte, mit Stickstoff rückfüllbare Behälter für feuchtigkeits- und oxidationsempfindliche Wafer-Materialien.
Übersicht
Vakuumversiegelte Shipper schützen Wafer-Materialien, die bei Kontakt mit atmosphärischer Feuchtigkeit oder Sauerstoff degradieren — insbesondere III-V-Verbindungshalbleitersubstrate wie GaAs und InP, deren Oberflächen weitaus reaktiver sind als Silizium. Jeder Behälter erreicht eine hermetische Versiegelung mit einer Leckrate unter 1×10⁻⁶ atm·cc/sec (Helium), die vor jeder Sendung geprüft wird, und kann evakuiert und mit trockenem Stickstoff oder Argon rückgefüllt werden, um eine inerte Transportatmosphäre zu schaffen.
Eine Feuchtigkeitsindikatorkarte ist bei jeder Einheit standardmäßig enthalten und gibt dem Empfangspersonal eine sofortige visuelle Bestätigung, dass die hermetische Versiegelung während des gesamten Transports gehalten hat. Ein integriertes Trockenmittelpaket hält die Innenfeuchtigkeit auch bei Lagerzeiten von über zwölf Monaten unter 10 ppm. Dies macht vakuumversiegelte Shipper zur bevorzugten Wahl sowohl für internationale Langstreckenfracht als auch für die langfristige Wafer-Lagerung.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Seal Type | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, nitrogen backfill port |
| Leak Rate | < 1×10⁻⁶ atm·cc/sec (helium mass spectrometry) |
| Moisture Level | < 10 ppm with integrated desiccant pack |
| Backfill Gas | Dry nitrogen or argon for inert atmosphere transport |
| Body Material | Conductive PP, PTFE, PEEK (premium high-temp variant) |
| Monitoring | Humidity indicator card (standard), shock indicator (optional) |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H (dangerous goods option) |
Anwendungen
Transport in inerter Atmosphäre für GaAs, InP und andere oxidationsempfindliche Verbindungshalbleiterwafer.
Trockenmittelüberwachte hermetische Lagerung für Wafer-Bestände über zwölf Monate.
Versiegelte Atmosphärenkontrolle für frisch bearbeitete Oberflächen, die auf den nächsten Fab-Schritt warten.
Langstrecken-Luft- und Seefracht mit verlängerter und unvorhersehbarer Atmosphärenexposition.
Qualität & Zertifizierung
Jeder vakuumversiegelte Shipper wird vor dem Versand mittels Helium-Massenspektrometrie auf eine Leckrate unter 1×10⁻⁶ atm·cc/sec geprüft, wobei die Trockenmittelkapazität für die angegebene Lagerdauer verifiziert wird. Die Montage erfolgt in einem ISO-Klasse-4–5-Reinraum unter ISO-9001:2015-Qualitätsmanagement mit vollständiger Losrückverfolgbarkeit vom Rohmaterial bis zur endgültigen Versiegelung.
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