נשאי פרוסות אטומים בוואקום
מכלים אטומים הרמטית וניתנים למילוי חנקן עבור חומרי פרוסה רגישים ללחות וחמצון.
סקירה כללית
נשאים אטומים בוואקום מגנים על חומרי פרוסה המתדרדרים במגע עם לחות אטמוספרית או חמצן — בעיקר מצעי מוליכים למחצה מתרכובות III-V כגון GaAs ו-InP, שמשטחיהם ריאקטיביים בהרבה מסיליקון. כל מכל משיג איטום הרמטי עם קצב דליפה מתחת ל-1×10⁻⁶ atm·cc/sec (הליום), המאומת לפני כל משלוח, וניתן לרוקן ולמלא בחנקן יבש או ארגון ליצירת אטמוספירה אינרטית להובלה.
כרטיס מחוון לחות כלול כסטנדרט בכל יחידה, ומעניק לצוות הקבלה אישור חזותי מיידי שהאיטום ההרמטי נשמר לאורך כל ההובלה, ואריזת מייבש משולבת שומרת על לחות פנימית מתחת ל-10 ppm לתקופות אחסון ממושכות של מעל שנים עשר חודשים. הדבר הופך נשאים אטומים בוואקום לבחירה המועדפת הן למשלוח בינלאומי למרחקים ארוכים והן לאחסון פרוסות ארוך טווח.
מפרטים טכניים
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Seal Type | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, nitrogen backfill port |
| Leak Rate | < 1×10⁻⁶ atm·cc/sec (helium mass spectrometry) |
| Moisture Level | < 10 ppm with integrated desiccant pack |
| Backfill Gas | Dry nitrogen or argon for inert atmosphere transport |
| Body Material | Conductive PP, PTFE, PEEK (premium high-temp variant) |
| Monitoring | Humidity indicator card (standard), shock indicator (optional) |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H (dangerous goods option) |
יישומים
הובלה באטמוספירה אינרטית לפרוסות GaAs, InP ומוליכים למחצה מורכבים אחרים הרגישים לחמצון.
אחסון הרמטי עם ניטור מייבש למלאי פרוסות המוחזק מעל שנים עשר חודשים.
בקרת אטמוספירה אטומה למשטחים שעברו עיבוד טרי הממתינים לשלב הבא במפעל.
משלוח אווירי וימי ארוך טווח בו זמן החשיפה לאטמוספירה ממושך ובלתי צפוי.
איכות והסמכה
כל נשא אטום בוואקום נבדק לדליפה מתחת ל-1×10⁻⁶ atm·cc/sec (ספקטרומטריית מסה של הליום) לפני המשלוח, כאשר קיבולת המייבש מאומתת למשך האחסון שצוין. ההרכבה מתבצעת בחדר נקי בדרגת ISO 4–5 תחת ניהול איכות ISO 9001:2015, עם מעקב אצווה מלא מחומר הגלם ועד לאיטום הסופי.
זקוקים לנשאים אטומים בוואקום?
ספרו לנו את חומר המצע, גז המילוי הנדרש ומשך האחסון — נאשר את ביצועי האטימות וזמן האספקה תוך 24 שעות.