פרוסות קוורץ מסיליקה מותכת
שלוש דרגות עבור פוטומסכות ואופטיקת DUV, עם התפשטות תרמית כמעט אפסית (CTE 0.55 × 10⁻⁶/K) וביצועי אופטיקה בעלי רמת פגמים נמוכה.
סקירה כללית
סיליקה מותכת (fused silica) היא חומר SiO₂ אמורפי המיוצר מרכיבי הזנה בעלי טוהר גבוה. הוא מספק התפשטות תרמית נמוכה מאוד (CTE 0.55 × 10⁻⁶/K), העברה מצוינת ב-Deep-UV וטוהר כימי גבוה במיוחד.
אנו מספקים דרגות UV (JGS1), IR (JGS3) ו-synthetic של סיליקה מותכת. עבור כל הפרוסות קיימים סטנדרטים עם RMS < 0.5nm (סטנדרט) / < 0.3nm (דיוק), TTV ≤ 3µm ואריזה בתנאי Class 100.
דרגה <strong>סינתטית</strong>: העברה ב-193nm >99.7%/cm — אידיאלי עבור לוחות פוטומסכת DUV ואופטיקת לייזר אקסימר.
השוואת דרגות
תכולת ה-OH ורמות זיהומי מתכת קובעות את ההעברה בתחום UV/IR עמוק ואת עמידות הלייזר. בחרו את הדרגה המתאימה ביותר ליישום שלכם.
UV-Grade (JGS1)
הכי מתאים לאופטיקת UV ולמסכות פוטו
תכולת OH גבוהה והעברה ב-185nm של מעל 90% הופכות אותו למתאים במיוחד עבור אופטיקת UV ומסכות פוטו.
IR-Grade (JGS3)
הכי מתאים לאופטיקת IR
תכולת OH נמוכה (<10ppm) מאפשרת העברה של מעל 85% ב-2.7μm, ומתאימה לאופטיקת IR וליישומי תא תהליך.
Synthetic Fused Silica
הכי מתאים ל-DUV ולאקסימר
עם העברה ב-193nm של מעל 99.7%/cm וזיהומי מתכת מתחת ל-0.1ppm, הוא מתאים לליתוגרפיית DUV ולמערכות לייזר אקסיימר.
תכונות אופטיות
קוורץ מותך מספק את חלון השקיפות הרחב ביותר מכל סוגי הזכוכית—מ-UV עמוק (185nm) ועד לאינפרה-אדום קרוב (2,500nm+)—עם ספיגה נמוכה מאוד, ולכן הוא הבחירה הסטנדרטית עבור ריקים לתבניות פוטומסכה ואופטיקה ללייזרי אקסימר.
UV עמוק
קוורץ מותך בדרגת UV מספק העברה פנימית של מעל 99.7%/cm ב-193nm, עם סף נזק לייזר גבוה עבור ליתוגרפיית DUV.
UV-Vis
העברה שטוחה ספקטרלית על פני טווח הראייה, n₅₈₉ = 1.4585, אידיאלית לאופטיקה מדויקת וחלונות מטרולוגיה.
אינפרה-אדום קרוב
דרגות סינתטיות דלות OH שומרות על >92% שקיפות ב-1,550nm עם הפסדי החדרה מינימליים עבור אופטיקה של סיבים אופטיים וחיישני IR.
יכולות עיבוד
פרוסות קוורץ מותך מעובדות באותו רצף כמו פרוסות מוליכים למחצה: ליטוש דו־צדדי, CMP, חיתוך והדקקה, כדי להשיג שטיחות וניקיון ברמת המצע.
ליטוש דו־צדדי ו-CMP משיגים TTV ≤ 3μm (אופציונלי ≤ 1μm), bow ≤ 20μm ו-warp ≤ 25μm עם חספוס פני שטח RMS < 0.5nm (ב-CMP < 0.3nm).
דייסינג בלייזר ובסכין מייצר קצוות חלקים עם סיתות נמוך ותפוקה גבוהה להפרדה ברמת דאי.
הדקקה ל-100μm–1,000μm עם עיבוד לשחרור מתחים מבטיחה טיפול אמין לאורך תהליכי ההדבקה וההרכבה במורד הזרם.
מצעי פוטומסכה
קוורץ מותך הוא חומר הסטנדרט בתעשייה לבלנקים של פוטומסכות: התפשטות תרמית נמוכה (CTE 0.55 × 10⁻⁶/K) והעברת 193nm גבוהה הופכים אותו לאסמכתא לליתוגרפיית DUV.
איכות פני השטח עומדת בדרישות S/D 40/20 scratch-dig ובגליות נמוכה על בלנקים מוגמרים, עם זיהום מתכתי < 1ppm לבקרת פגמים במאסקות מתקדמות.
מפרט טכני
| פרמטר | טווח זמין / ערכים |
|---|---|
| דרגת חומר | UV-grade (JGS1), IR-grade (JGS3), Synthetic Fused Silica |
| קוטר | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| עובי | 200μm–1100μm, custom ±10μm tolerance |
| חספוס פני השטח | RMS < 0.5nm standard, < 0.3nm premium |
| TTV (שונות עובי כוללת) | ≤ 3μm standard, ≤ 1μm premium |
| קשת / עיוות | Bow ≤ 20μm, Warp ≤ 25μm |
| העברה @ 185nm | > 90% UV-grade, > 85% standard |
| מקדם שבירה | n₅₈₉ = 1.4585 |
| CTE (מקדם התפשטות תרמית) | 0.55 × 10⁻⁶/K (20–300°C), nearly zero thermal expansion |
| מקדם דיאלקטרי | 3.8 at 1 MHz |
| נקודת ריכוך | ~1,600°C (synthetic fused silica) |
| צפיפות | 2.20 g/cm³ |
| איכות פני השטח | S/D 40/20 per MIL-PRF-13830B or better |
| אריזה | Class 100 cleanroom, interleaved, vacuum-sealed cassette or single-wafer shippers |
יישומים אופייניים
ריקי פוטומסכה
מקדם התפשטות נמוך 0.55×10⁻⁶/K וחדירות >99.7%/ס״מ ב-193nm עבור ריקי פוטומסכה ל-DUV.
אופטיקה ללייזר אקסימר
סף נזק גבוה ללייזר עבור אופטיקת אקסימר ב-193nm וב-248nm בתחום ה-UV העמוק.
ביו-MEMS ומיקרופלואידיקה
פלואורסצנציה עצמונית נמוכה וטוהר כימי גבוה לבדיקות ביולוגיות מבוססות פלואורסצנציה.
רכיבי סיבים אופטיים
דרגות עם OH נמוך ובתכולת זיהומי מתכת <1ppm לצימוד סיבים אופטיים עם הפסד נמוך ולמצעי פרל מדויקים.
MEMS קיבולי
קבוע דיאלקטרי 3.8 ב-1MHz עם הפסד דיאלקטרי נמוך עבור RF ו-MEMS חיישנים.
אופטיקה מדויקת
מצע תרמוסטאבילי עם Scratch-Dig 40/20 למראות, חלונות ורכיבי אינטרפרומטר.
מטרולוגיה ובקרת איכות
כל פרוסת סיליקה מותכת נבדקת באופן פרטני, ודוח מדידות מלא מצורף לכל משלוח.
בקשת הצעת מחיר לפרוסות קוורץ מותך
שלחו את המפרט המותאם—דרגה (UV/IR/סינתטי), קוטר, עובי וגימור משטח—וצוות ההנדסה שלנו יחזור אליכם במהירות עם הצעת מחיר מותאמת ליישומי פוטומסכה, אופטיקה לאקסימר ואופטיקה מדויקת.