פרוסות זכוכית Borofloat 33

100mm – 300mm קוטר

3.25 ppm/K מקדם התפשטות תרמית

525°C נקודת עיבור

מוכן להדבקה אנודית הצמדה

סקירה כללית

Borofloat 33 היא זכוכית צפה בורוסיליקטית שפותחה על ידי SCHOTT, עם מקדם התפשטות תרמית נמוך (3.25 × 10⁻⁶/K מ-20°C עד 300°C) התואם היטב לסיליקון. התאמת CTE זו, יחד עם עמידות כימית גבוהה ושקיפות אופטית, הופכת אותה לחומר המועדף להצמדה אנודית, התקני מיקרופלואידיקה ומתווכי Through-Glass Via (TGV).

אנו מספקים פרוסות Borofloat 33 בקוטר 100mm עד 300mm ובעובי 200μm עד 1,100μm, עם גימורי משטח Fire-Polished, SSP, DSP או CMP. כל פרוסה נמדדת בנפרד ונארזת בסביבת חדר נקי Class 100.

Borofloat 33 מוכנה להצמדה אנודית — מקדם ה-CTE שלה (3.25 × 10⁻⁶/K) תואם דיו לסיליקון לחיבורים אמינים וללא חללים עם פרוסות Si בטמפרטורות 300–450°C.

Borofloat 33 לעומת סיליקון

עבור MEMS ומיקרופלואידיקה, Borofloat 33 מציעה שילוב ייחודי שסיליקון בתפזורת אינו יכול לספק: שקיפות אופטית, בידוד חשמלי והתאמת CTE לסיליקון להצמדת פרוסות במאמץ נמוך.

זכוכית

Borofloat 33 Glass

התאמת CTE לסיליקון

CTE (20–300°C) 3.25 ppm/K

נקודת עיבור 525°C

גדלי פרוסות 100mm – 300mm

עלות $ – $$

CTE 3.25 ppm/K, שקוף אופטית, מבודד חשמלית, דרגת הידרוליזה 1. אידיאלי להצמדה אנודית, מיקרופלואידיקה ו-MEMS אופטי במקומות שסיליקון אטום או מוליך.

סיליקון

Silicon (Si)

התקן לרכיבים פעילים

CTE (20–300°C) 2.6 ppm/K

אופטי Opaque (visible)

גדלי פרוסות 100mm – 300mm

עלות $$ – $$$

CTE 2.6 ppm/K, אטום בתחום הנראה, מוליך חשמלית, בעלות גבוהה יותר. מועדף עבור רכיבים אלקטרוניים פעילים ועיבוד בטמפרטורות גבוהות מ-500°C.

MEMS ומיקרופלואידיקה

Borofloat 33 תומכת בשלושת שלבי הייצור המרכזיים של MEMS מבוסס זכוכית: תחריט איזוטרופי HF לערוצי מיקרו, הצמדה אנודית לפרוסות מכסה מסיליקון ויצירת Through-Glass Via לחיבורי 3D.

ערוצי מיקרופלואידיקה

תחריט איזוטרופי HF מייצר ערוצי מיקרו חלקים ומעוגלים בעומק נשלט היטב. השקיפות האופטית של Borofloat מאפשרת בדיקה אופטית ישירה וזיהוי פלואורסצנטי דרך המצע.

קצב תחריט HF ~7 μm/min

הצמדה אנודית

Borofloat 33, המותאמת ב-CTE לסיליקון, מוצמדת אנודית לפרוסות Si ב-300–450°C בחוזק חיבור העולה על 10MPa, ויוצרת אטימה הרמטית וללא חללים ללא שכבות הדבקה.

חוזק חיבור > 10 MPa

Through-Glass Via

חורי ויה שנוצרו בסיוע לייזר ותקריב פלזמה עוברים מתכתוב ויוצרים חיבורים אנכיים בצפיפות גבוהה ביחסי גובה-רוחב עד 10:1, המאפשרים מתווכי זכוכית 2.5D/3D ליישומי RF ורוחב פס גבוה.

יחס גובה-רוחב של ויה Up to 10:1

תהליך ההצמדה האנודית

הצמדה אנודית (נקראת גם הצמדה בסיוע שדה או אלקטרוסטטית) מחברת זכוכית Borofloat 33 לסיליקון ללא דבקים. בטמפרטורה 300–450°C ובמתח 400–1,000V המופעל על הערימה, יוני חמצן נודדים לעבר ממשק הסיליקון ויוצרים קשר קוולנטי קבוע Si–O.

התוצאה היא חיבור חזק (> 10MPa), הרמטי ואינרטי כימית. ממשק הזכוכית-סיליקון שקוף לחלוטין לבדיקה אופטית, והחיבור עמיד בשלבי חיתוך, השחזה ועיבוד רטוב הבאים.

שירות ההצמדה האנודית של GINECHIP מכסה ניקוי מצעים, יישור והצמדה על ציוד ייצור עם חלוקת שדה אחידה, תומך בגדלי פרוסות מ-100mm עד 200mm עם תפוקה אופטימלית לייצור המוני.

Bio-MEMS ומדעי החיים

Borofloat 33 היא מצע מועדף לאבחון מעבדה-על-שבב, מערכי DNA והתקני תרבית תאים. עמידותה הכימית דרגת הידרוליזה 1 לפי ISO 719 מונעת שטיפת יונים שעלולה לשנות בדיקות רגישות ל-pH, בעוד שקיפותה מאפשרת קריאה אופטית ופלואורסצנטית בזמן אמת.

לבדיקות מבוססות תאים, חספוס המשטח הנמוך של Borofloat (RMS < 1.0nm) ואריזה מבוקרת חלקיקים ממזערים קשירה לא ספציפית ורעש רקע, ומספקים תוצאות ניתנות לשחזור בין אצוות ייצור.

מפרט טכני

פרמטר	טווח / ערכים זמינים
חומר	Borofloat 33 (SCHOTT), equivalent borosilicate float glass
קוטר	100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″)
עובי	200μm–1,100μm, standard SEMI thicknesses
CTE (20–300°C)	3.25 × 10⁻⁶/K
נקודת עיבור	525°C
נקודת ריכוך	825°C
צפיפות	2.20 g/cm³
מקדם שבירה	n₅₈₉ = 1.4714
מקדם דיאלקטרי	4.6 at 1 MHz
חספוס פני השטח (AFM RMS)	< 1.0nm standard
TTV	≤ 5μm
קשת / עיוות	Bow ≤ 25μm
טווח העברה	> 90% from 310nm to 2,700nm
עמידות כימית	Hydrolytic Class 1, Acid Class 1, Alkali Class 2 (per ISO 719 / DIN 12116)
גימור פני השטח	SSP (Single-Side Polish) or DSP (Double-Side Polish), fire-polished or CMP
אריזה	Interleaved cleanroom paper, single-wafer cassette, vacuum-sealed

יישומים אופייניים

🧬

מיקרופלואידיקה

צריבת HF איזוטרופית יוצרת תעלות מיקרו חלקות; בהירות אופטית מאפשרת זיהוי פלואורסצנציה דרך המצע.

🔗

הדבקה אנודית

מותאם ל-CTE של סיליקון, מתחבר הרמטית לפרוסות Si בטמפרטורות 300–450°C בחוזק העולה על 10 MPa.

⚙️

ויאס דרך זכוכית (TGV)

חורי ויאס שעברו מטאליזציה יוצרים חיבורי גומלין אנכיים בצפיפות גבוהה עם יחס היבט עד 10:1 עבור אינטרפוזרים מזכוכית 2.5D/3D.

🧪

מכשירים אלקטרוכימיים

קבוע דיאלקטרי 4.6 ב-1 MHz וטוהר גבוה תומכים בחיישנים אלקטרוכימיים ובמערכי מיקרו-אלקטרודות.

💉

ביוצ’יפים ו-Lab-on-Chip

עמידות בדרגת הידרוליזה 1 מונעת דליפת יונים; שקיפות מאפשרת קריאה אופטית בזמן אמת לאבחון.

⚡

MEMS קיבוליים

אובדן דיאלקטרי נמוך ויציבות ממדית גבוהה משפרים חיישני לחץ קיבוליים ומדי תאוצה.

מטרולוגיה ובקרת איכות

כל פרוסת Borofloat 33 נבדקת בנפרד. לכל משלוח מצורף דוח מטרולוגיה מלא — כולל אימות CTE, חספוס משטח, העברת אור, שטיחות ונתוני עמידות כימית.

אימות CTE דילטומטריה מאשרת מקדם התפשטות תרמית של 3.25 × 10⁻⁶/K (20–300°C) עם עקביות בין אצוות להצמדה אנודית אמינה.

חספוס משטח ב-AFM מיקרוסקופ כוח אטומי מאמת חספוס RMS מתחת ל-1.0nm על משטחים מלוטשים, עם אפשרויות CMP לגימור תת-ננומטרי.

העברת UV-Vis ספקטרופוטומטריה מאמתת העברת אור פנימית מעל 90% מ-310nm עד 2,700nm — כולל התחום הנראה הקריטי ליישומים אופטיים ופלואורסצנטיים.

שטיחות ו-TTV אינטרפרומטריית Fizeau מאמתת TTV ≤ 5μm ו-Bow ≤ 25μm בכל וייפר.

ניתוח טוהר XRF פלואורסציית רנטגן מאשרת את ההרכב (SiO₂ ~81%, B₂O₃ ~13%, Na₂O ~4%, Al₂O₃ ~2%) ואת היעדר זיהומים ברמת עקבות.

בדיקות עמידות כימית אימות לפי ISO 719 הידרוליטי Class 1, DIN 12116 חומצי Class 1 וסביבה אלקלית Class 2 להתאמה למדיות מיקרופלואידיקה וביו-רפואיות.

ספירת חלקיקים סריקת משטח בלייזר סופרת חלקיקים ≥ 0.3μm, כאשר מגבלות מותאמות לאריזות לחדר נקי Class 100.

זווית מגע / יכולת הרטבה מדידת זווית מגע מאמתת הרטבה נקייה ועקבית של פני השטח למילוי מיקרו-ערוצים ולחיבור וייפרים (wafer bonding).

בקשו הצעת מחיר ל‑Borofloat 33

שלחו את המפרטים האישיים שלכם לצוות ההנדסה שלנו כדי לקבל הצעת מחיר מהירה. נבחן את הדרישות ונחזור אליכם בהקדם.

בקשו הצעת מחיר קנה עכשיו דברו עם מהנדסים

ISO 9001:2015 SCHOTT Borofloat 33 ISO 719 (הידרוליטי) SEMI MF1530