פרוסות ספיר
מצעי ספיר באיכות גבוהה עם אוריינטציות במישורי C/R/A/M, משטחי Epi-Ready CMP ומוליכות תרמית גבוהה ליישומי LED ו‑RF.
סקירה כללית
פרוסות ספיר עשויות ממבנה חד-גבישי של α-Al₂O₃. עם קשיות 9 Mohs, נקודת התכה של 2,040°C וטווח הולכה רחב 150nm–5,500nm, הן מתאימות במיוחד ל<strong>אפיטקסיה</strong> ולשימושים אופטיים.
בחרו פרוסות ספיר בקוטר 2″–8″ עם מישורי C/R/A/M ו‑miscut ±0.2° סטנדרט / ±0.05° דיוק. EPD < 5 × 10³/cm² ואריזת Class 100 תומכות בעיבוד להניביות גבוהה.
<strong>Epi-Ready</strong> CMP RMS < 2Å עם <strong>EPD</strong> < 5 × 10³/cm² — מוכן לאפיטקסיית GaN LED.
שיטות לגידול גבישים
השוו בין מסלולי הגידול KY, EFG ו-HEM עבור גבישי יחיד של ספיר α-Al₂O₃. KY מספק את ה-EPD הנמוך ביותר עם הכיוון הטוב ביותר C(0001) ותומך בקטרים גדולים במיוחד של אינגוטים; לכן זהו בחירה מועדפת עבור פרוסות ספיר באיכות גבוהה המתאימות לאפיטקסיה. EFG מציע תפוקה גבוהה עם גידול יעיל בעלות לפי הזנה באמצעות סרט, ומתאים לכיוונים R(1-102)/A(11-20). HEM מאפשר גידול של אינגוטים כבדים מאוד עם צפיפות פגמים נמוכה במיוחד, ומתאים במיוחד לדרישות של דרגת אופטי או יישומי לייזר בעלי ביצועים גבוהים.
Kyropoulos (KY)
הכי מתאים לאפיטקסיית C-plane
שיטת KY מגדלת אינגוטים גדולים במיוחד באיכות גבוהה עם ה-EPD הנמוך ביותר, ולכן היא אידיאלית לאפיטקסיית C-plane עבור LED.
Edge-Defined Film-Fed (EFG)
R/A-plane חסכוני בעלות
גידול רצועתי ב-EFG מאזֵן בין עלות נמוכה לתפוקה גבוהה, ומתאים לדרישות חומר עבור מישורי R/A.
Heat Exchanger Method (HEM)
ה-EPD הנמוך ביותר, דרגת אופטי
HEM מאפשר לגדל אינגוטים כבדים במיוחד עם צפיפות פגמים נמוכה מאוד, המתאימים ליישומי אופטיקה ולייזר.
כיווני גביש
בחרו את המישור המתאים בספיר כדי לשלוט באיכות האפיטקסיה ובביצועי המכשיר. אוריינטציות גביש שונות מתאימות תכונות פני שטח ליישומים ייעודיים.
מישור C (0001)
מישור C הוא האוריינטציה הסטנדרטית לאפיטקסיית GaN/InGaN על ספיר. לרוב יש לו אנרגיית פני שטח נמוכה, מה שתומך ב-LEDים ובמכשירי הספק בעלי ביצועים גבוהים.
מישור R (1-102)
מישור R משמש רבות לאפיטקסיית SOS על סיליקון ולאינטגרציה של הטרואפיטקסיה. הוא מסייע להשגת התנהגות גדילה אמינה על פני הספיר.
מישור A (11-20)
מישור A הוא משטח לא-קוטבי, שמפחית את אפקט שטארק המוגבל קוונטית. מתאים ל-LEDים לא-קוטביים ולדיודות לייזר שדורשות יעילות אופטית משופרת.
מצעי ספיר מעוצבים (PSS)
PSS משפר את יעילות חילוץ האור של נוריות GaN באמצעות חריטה של תבניות מיקרו בצורת חרוט/פירמידה על פני ספיר במישור C.
צפיפות התבנית, העומק וזווית דפנות הצד נשלטות בדיוק, ותומכות במידות 2"–8" תוך מימוש משטח Epi-Ready לצמיחת אפיטקסיה בייצור המוני.
GINECHIP מציעה עיצובים סטנדרטיים ומותאמים אישית לתבניות PSS בשילוב עם <strong>Epi-Ready</strong> משטח RMS < 2Å.
סיליקון על ספיר (SOS)
SOS יוצר שכבות דקות של סיליקון הטרו-אפיטקסיאלי על ספיר במישור R, כאשר המצע המבודד מאפשר קיבול טפילי נמוך.
מתאים למעגלים משולבים RF, למכשירים עמידים לקרינה ול-MEMS בטמפרטורה גבוהה; הפער הפס הרחב של 9.9 eV מספק בידוד חשמלי מעולה.
מפרט טכני
| פרמטר | טווח / ערכים זמינים |
|---|---|
| חומר | Single-crystal α-Al₂O₃ (Sapphire), various grades |
| כיווניות גביש | C-plane (0001), R-plane (1-102), A-plane (11-20), M-plane (10-10) |
| קוטר | 2″ (50.8mm), 3″ (76.2mm), 4″ (100mm), 6″ (150mm), 8″ (200mm) |
| עובי | 330μm, 430μm, 650μm, 1,000μm standard |
| ליטוש פני שטח | SSP, DSP, Epi-Ready CMP, RMS < 2Å |
| TTV | ≤ 5μm |
| קשת / עיוות | Bow ≤ 10μm, Warp ≤ 15μm for 4″ diameter |
| EPD (צפיפות בורות איכול) | < 5 × 10³/cm² |
| קשיחות | 9 Mohs, 2,000 kg/mm² Knoop |
| מוליכות תרמית | 40 W/m·K @ 300K |
| CTE | 5.0–6.6 × 10⁻⁶/K (anisotropic, orientation-dependent) |
| נקודת התכה | 2,040°C |
| פער אנרגיה | 9.9 eV (wide-bandgap optical insulator) |
| מקדם שבירה | nₒ = 1.768, nₑ = 1.760 @ 633nm |
| טווח העברה | 150nm–5,500nm (UV-grade: 85% @ 250nm) |
| סבילות מיסקאט | ±0.2° standard, ±0.05° precision |
| אריזה | Class 100 cleanroom, vacuum-sealed single-wafer cassette |
יישומים אופייניים
אפיטקסיית LED
משטח Epi-Ready במישור C עם RMS <2Å לגידול אפיטקסיאלי של GaN/InGaN ל-LED.
דיודות לייזר
מצעים במישורי A/C עם רמת פגמים נמוכה לאפיטקסיית דיודות לייזר כחול/סגול.
סיליקון על ספיר
מצעים לאפיטקסיה הטרוגנית במישור R עבור מעגלים משולבים בתחום ה-RF ועמידי קרינה.
מצעי ספיר פטורניים
מיקרו-תבניות במישור C לשיפור יעילות חילוץ האור ב-GaN LED.
RF ומיקרוגל
הפסדים דיאלקטריים נמוכים ופס-אנרגיה רחב 9.9 eV עבור התקנים בתדר גבוה.
חלונות אופטיים
העברה רחבת סרט 150nm–5,500nm לחלונות אופטיים ולרכיבי לייזר.
מטרולוגיה ובקרת איכות
כל פרוסת ספיר נבדקת בנפרד. לכל משלוח מצורף דוח מטרולוגיה מלא לאימות שניתן לעקוב אחריו ומוכן לשימוש.
בקש הצעת מחיר לפרוסות ספיר
שלחו לצוות ההנדסה את הדרישות האישיות שלכם, כולל כיוון הגביש, קוטר, עובי, זווית ה-miscut וגימור ליטוש פני השטח, לקבלת הצעת מחיר מהירה.