מצעי מוליכים למחצה
סיליקון, SOI, תרכובות ופרוסות מותאמות אישית — פורטפוליו מלא 100-300 מ"מ עם תמיכה הנדסית.
סקירה כללית
כל התקן מוליך למחצה — מחיישן MEMS הפשוט ביותר ועד למעבד הלוגי המתקדם ביותר ב-3nm — מתחיל במצע. הפרוסה אינה רק נשא מכני; שלמות הגביש, פרופיל האילוח, איכות פני השטח וסבילויות הממדים שלה קובעים ישירות את תפוקת ההתקן, את ביצועיו ואת אמינותו. פורטפוליו המצעים של GINECHIP מכסה את כל הספקטרום של חומרי מוליכים למחצה: סיליקון (CZ, FZ, MCZ), סיליקון על מבודד (SOI), מוליכים למחצה מורכבים (SiC, GaN, GaAs, InP), זכוכית וקוורץ, מצעים מצופים עם סרטים מושקעים מראש, וחומרים מיוחדים כולל ספיר וקרמיקה.
אנו משרתים יצרני מוליכים למחצה, מפעלי MEMS, מעבדות מו״פ, אוניברסיטאות ובתי אריזה ביותר מ-50 מדינות. כל אצוות מצעים נשלחת עם תעודת תאימות ISO 9001:2015, עקיבות אצווה מלאה עד למטיל או לבול, ונתוני מטרולוגיה מקיפים — מפות התנגדות, פרופילי עובי, אימות קריסטלוגרפי וספירת חלקיקים. בין אם אתה זקוק לקופסת פרוסות בדיקה בודדת להסמכת תהליך או להסכם אספקה רב-שנתי לנפחי ייצור, צוות המצעים שלנו מספק איכות עקבית, תמחור תחרותי ותמיכה טכנית מהירה.
מעבר למוצרי הקטלוג, GINECHIP מציעה התאמה אישית מלאה של מצעים: התנגדויות לא סטנדרטיות עם טווחי סובלנות של ±1%, אוריינטציות גביש אקזוטיות עם דיוק חיתוך תת-מעלתי, ערימות סרטים מהונדסות בצד האחורי לגטרינג או עצירת תחריט, תצורות שפה/חריץ מותאמות, מזהי פרוסה מסומנים בלייזר, ומפרטים רב-פרמטריים לארכיטקטורות התקן תובעניות. מהנדסי המצעים שלנו עובדים ישירות עם צוות אינטגרציית התהליכים שלכם כדי לתרגם דרישות ברמת ההתקן למפרטי חומר מדויקים.
קטגוריות מצעים
מצעי פרוסות סיליקון
מצעי סיליקון בסיסיים: CZ, FZ, MCZ. 100-300 מ"מ, P/N/אינטרינזי. SSP, DSP, CMP, epi-ready. ⟨100⟩, ⟨111⟩, ⟨110⟩.
פרוסות SOI
SOI Smart Cut™ / BESOI. שכבת מכשיר 50nm-100μm, BOX 100nm-2μm. 200/300 מ"מ. HR-SOI, FD-SOI, PD-SOI.
מוליכים למחצה מורכבים
SiC 4H/6H, GaN-on-Si/SiC, SI-GaAs, InP. אפיטקסיית HEMT, SiC MOSFET 650-1700V.
מצעי זכוכית
סיליקה מותכת, Borofloat®, AF32®, D263®, קוורץ AT/SC. העברה >90%. CTE 0.55-7.2 ppm/K. תואם TGV.
מצעים מצופים
SiO₂ עד 2μm, Si₃N₄ LPCVD, פולי-Si, מתכות (Al, Ti, Au, Pt, Cr), שכבות ONO.
חומרים אחרים
ספיר, AlN (170-230 W/m·K), אלומינה 96%/99.6%, LTCC/HTCC, SOI-על-ספיר.
מטילים ומכירה בתפזורת
מטילי Si CZ/FZ, בולי SiC. 100-300 מ"מ. תמחור נפח. נתוני אפיון.
שירותי התאמה אישית
מצעים סטנדרטיים לצרכים סטנדרטיים. למכשירים מתקדמים: מותאם אישית — התנגדות, אילוח, אוריינטציה, עובי, גימור, צד אחורי.
התאמת חומרים
אילוח, התנגדות, אוריינטציה. סובלנות ±1%.
התאמת תבניות
ליתוגרפיה של סימני יישור ומבני בדיקה לפני משלוח.
התאמת ציפויים ושכבות
השקעה מוקדמת של תחמוצות, ניטרידים, מתכות. חד-, דו-, רב-שכבתי.
פרוסות שרשרת דייזי
פרוסות עם מבני בדיקה להערכת אמינות אריזה.
ייצור שבבי דמה
שבבים מכניים לפי טביעת הרגל שלך. לפיתוח אריזות ומחזורי חום.
פרוסות RDL ו-Bump
RDL עד 2μm L/S. עמודי Cu או בליטות הלחמה.
איכות ומפרטים
איכות המצע היא הבסיס לתפוקה. TTV מוגזם → אובדן מיקוד. שינויי התנגדות → חוסר התאמה. חלקיקים → פגמי אפיטקסיה. התוכנית שלנו: בקרת כניסה, מטרולוגיה, אריזת חדר נקי.
| פרמטר איכות | מפרט |
|---|---|
| שינוי עובי כולל (TTV) | < 1.0μm סטנדרטי; < 0.3μm פרימיום. SEMI M1-0308. |
| חספוס פני שטח (Ra / RMS) | Ra < 0.5nm (AFM). Epi-ready: לייזר ללא haze. |
| אחידות התנגדות | 4-מחטים / זרם ערבול. < ±3% סטנדרטי; < ±1% מותאם. SEMI MF84. |
| דיוק אוריינטציה גבישית | XRD. סובלנות חיתוך ±0.5° סטנדרטי; ±0.1° מדויק. SEMI M13. |
| ספירת חלקיקי שטח | Surfscan ≥ 0.2μm. < 10 מוסיפים @ 0.3μm (פריים). מפות פגמים. |
| קשת, עיוות ושטיחות | אינטרפרומטריה. קשת < 30μm, עיוות < 40μm (200 מ"מ). SEMI M1/M53/M59. |
הסמכה נוספת: SEMI, RoHS, מינרלי סכסוך, ITAR. חבילת נתונים CSV/PDF בכל הזמנה.
מדריך לבחירת מצע
בחירת חומר המצע היא ההחלטה הראשונה והחשובה ביותר. פרמטרים מרכזיים:
CZ-Si: MEMS, CMOS. חמצן → gettering. כל הדרגות. 100-300 מ"מ.
FZ-Si: O₂ < 1×10¹⁶ ס"מ⁻³. > 1000 Ω·ס"מ. RF, פוטודטקטורים, התקני הספק.
SOI: עמיד לקרינה, טמפרטורה גבוהה. דליפה מבוטלת, קיבול פרזיטי –50-80%.
SiC: פער אנרגיה ×3, מתח פריצה ×10 לעומת Si. 650-1700V MOSFET. 4H/6H, 100/150 מ"מ.
אפיטקסיית GaN על Si / SiC. RF (5G, מכ"ם), אלקטרוניקת הספק, LED.
GaAs / InP: פער ישיר. אופטואלקטרוניקה, mmWave, MMIC. SI-GaAs.
זכוכית/קוורץ: ביו-MEMS, מיקרופלואידיקה, אינטרפוזרים. TGV. סיליקה מותכת ל-DUV.
ספיר (קשיות, שקיפות), AlN (170-230 W/m·K), אלומינה (בידוד).
מוכן להגדיר את המצע שלך?
ציין חומר, קוטר, התנגדות, אוריינטציה וגימור — הצוות שלנו יגיב תוך 24 שעות.