הדבקת פרוסות

6 Technologiesשיטות הדבקה

<< 10⁻⁸ atm·cc/sאיטום הרמטי

RT–1100°Cטווח טמפרטורה

< 2μmדיוק יישור

סקירה כללית

הדבקת פרוסות היא תהליך קריטי לאטימה ואינטגרציה תלת-ממדית. GINECHIP מציעה 6 טכנולוגיות.

הדבקה אנודית, היתוך, אוטקטית, דבק, דיפוזיה. ISO Class 5.

טכנולוגיות הדבקה

הדבקה אנודית (Si-זכוכית)

אנודית Si-זכוכית. 400–1200V, 300–450°C.

Materials: Si to borosilicate (Pyrex®)Temperature: 300–500°CVoltage: 400–1000V DCVacuum: < 10⁻⁴ mbarBond strength: 10–20 MPaWafer: 100mm–200mm

הדבקת היתוך (Si-Si, SOI)

הדבקת Si-Si ישירה. 800–1100°C.

Materials: Si–Si, Si–SiO₂, SiO₂–SiO₂Pre-bond: RT, ambient or vacuumAnneal: 800–1100°CSurface: Ra < 0.5nm requiredBond strength: bulk Si fractureWafer: 100mm–200mm

הדבקה אוטקטית

אוטקטית Au-Si (363°C), Au-Sn (280°C).

Systems: Au–Si (363°C), Au–Sn (280°C)Al–Ge (420°C)Application: pressure + temperatureHermetic seal: < 10⁻⁸ atm·cc/s HeBond frame: lithographically definedWafer: 100mm–200mm

הדבקה דביקה

דבק < 200°C. BCB, SU-8, פוליאימיד. סובלנות חספוס 2μm.

Systems: Cu–Cu, Au–Au, Al–AlTemperature: 200–400°CPressure: 20–100 MPaAtmosphere: N₂ or forming gas (Au)Bond interface: < 50nm void-freeWafer: 100mm–300mm

הדבקת דיפוזיה מתכתית

דיפוזיה במצב מוצק Cu-Cu, Al-Al. 300–400°C.

Adhesives: BCB, SU-8, PI, epoxyTemperature: RT–250°CPressure: 0.1–1 MPaTolerates roughness, topographyBond line: 1–50μmWafer: 100mm–300mm

הדבקת פריט זכוכית

זכוכית 400–450°C. עובי קו 5–20μm.

Adhesives: thermoplastic, UV-curableCarrier: Si or glass waferTemperature: 150–250°C (thermal)Laser: 308nm or 355nm releaseThickness tolerance: ±2μm TTVWafer: 100mm–300mm

יישומים אופייניים

קפסול MEMS ואריזת ואקום

אריזת MEMS הרמטית. בקרת לחץ עד mTorr.

ייצור SOI ומצעים

היתוך + Smart Cut ל-SOI. 50nm–100μm, BOX 0.1–2μm.

אינטגרציה תלת-ממדית

דיפוזיית Cu-Cu לערימה תלת-ממדית.

חיישני לחץ

Si-זכוכית אנודית לחיישני לחץ.

MEMS אופטי

דביק לפוטוניקה, אוטקטית ללייזרים.

אריזת RF

אוטקטית Au-Sn ל-RF. דיפוזיה לפיזור חום.

איכות הדבקה ומטרולוגיה

SAM, הדמיית IR, בדיקות חוזק, SEM חתך.

צריך שירותי הדבקת פרוסות?

ציין חומרים, סוג הדבקה ודרישות. הצעת מחיר תוך 24 שעות.

בקשת הצעת מחיר צור קשר עם מהנדסים

ISO 9001בדיקת CSAMיישור אינפרה-אדוםבדיקת אטימות