מצעים
תהליכי MEMS
עיבוד מחדש
אביזרים
משאבים
חברה
חנות
קוטר 2″ – 4″ טווח קטרים
SI > 10⁷ Ω·cm חצי-מבודד
מוכן לאפיטקסיה < 2Å RMS גימור פני שטח
גידול VGF / LEC שיטות גידול
במלאי: פרוסות InP — עיינו כעת בקטרים 2″–4″ ובאפשרויות הדופינג.
קנייה של פרוסות InP

סקירה כללית

פוספיד אינדיום (InP) הוא מוליך למחצה מרוכב בעל פער פס ישיר של 1.344 eV וניידות אלקטרונים גבוהה של 5,400 cm²/V·s.

בחרו אפשרויות מצע הכוללות SI עם Fe-דופינג (>10⁷ Ω·cm), S או Sn מסוג N ו-Zn מסוג P; האוריינטציות הזמינות הן (100), (111)A ו-(111)B עם off-cut של 2° או 3° לכיוון (110) וקטרים של 2″–4″.

משטחי Epi-Ready מכוונים ל-RMS <2Å לצורך מוכנות גבוהה לאפיטקסיה, ותואמים ל-SEMI M1–M13 בתוספת RoHS ו-REACH.

מצעי InP מוכנים לאפיטקסיה (Epi-Ready) עם EPD עד <5×10³/ס״מ² (דרגה מתקדמת).

שיטות גידול גביש

אנו מגדלים InP באמצעות טכניקות VGF ו-LEC כדי לתמוך בדרישות שונות לאיכות ולמוכנות לאפיטקסיה.

פריים

VGF פריים

התפוקה והאיכות הטובות ביותר

קוטר 2″ – 4″
EPD < 5×10³ – 5×10⁴/cm²
התנגדות סגולית SI & doped
יישום Photonics / Laser

InP‏ VGF (Vertical Gradient Freeze) תוכנן לצפיפות דיסלוקציות נמוכה ולקבילות התנגדות גבוהה. הוא מספק את התשואה והאיכות הטובות ביותר עבור יישומי מצעי פוטוניקה ולייזר, כאשר EPD נשלט בטווח של <5×10³–5×10⁴/cm².

ווליום

LEC ווליום

ייצור נפח בשל

קוטר 2″ – 6″
EPD 5×10⁴–1×10⁵/cm²
התנגדות סגולית SI & doped
יישום Electronics / HBT

InP‏ LEC (Liquid-Encapsulated Czochralski) מותאם לייצור בנפח בקנה מידה בוגר ושליטה יציבה בתהליך. זה מתאים במיוחד לפרוסות בקטרים גדולים, כאשר EPD בדרך כלל בטווח של 5×10⁴–1×10⁵/cm² לביצועי נפח כוללים טובים.

השוואת שיטות גידול

השוו בין VGF, LEC ו-VCZ המתפתח כדי להתאים לעדיפות שלכם — בין אם מדובר בביצועי EPD, בכיוון יעד של ההתנגדות (resistivity), או בתפוקה הכוללת ליישומי אפי.

ייצור בנפח גבוה ב-LEC

LEC מספק ייצור נפח בשל ומבוסס עבור קטרים גדולים יותר של וופרי InP, ותומך בייצור בר-סקייל.

LEC EPD 5×10⁴–1×10⁵/ס״מ² גודל נפח: 2″ – 6″

מתפתח: תהליך VCZ

Czochralski הנשלט בלחץ אדים (VCZ) מתפתח עבור פרוסות InP עם צפיפות In-ואקום נמוכה יותר, ותומך בדרישות לדור הבא של התקני פוטוניקה ואלקטרוניקה.

צפיפות In-ואקום נמוכה יותר מחקר ופיתוח וייצור פיילוט

יישומי פוטוניקה ו לייזר

פוספיד אינדיום (InP) הוא בעל bandgap ישיר של 1.344 eV, המאפשר פליטת אור יעילה עבור דיודות לייזר ומעגלים משולבים פוטוניים באורכי גל תקשורת של 1310 nm ו-1550 nm.

פרוסות InP תומכות בלייזרי DFB, בלייזרים מתכווננים ו-EMLs (electro-absorption modulated lasers) המשמשים במרכזי נתונים, בהעברת אופטית של 5G וברשתות אופטיות קוהרנטיות.

אינטגרציית פוטוניקה על גבי שבב משלבת לייזרים, מודולטורים, מוליכי-גל ופוטו-גלאים על צ’יפ InP אחד עבור מודולים אופטיים קומפקטיים ובעלי מהירות גבוהה.

ניידות אלקטרונים גבוהה של 5,400 cm²/V·s והפסד אופטי נמוך הופכים את InP לבחירה מועדפת כמצע עבור משדרי-מקלט אופטיים 800G ו-1.6T.

מילימטר-גל ואלקטרוניקה מהירה

HEMTs ו-HBTs של InP מספקים את הרווח (Gain) והיעילות הגבוהים ביותר בתדרי mmWave עבור 5G/6G, מכ"ם ותקשורת לוויינית.

פרוסות InP מאפשרות התקנים תומכי THz ומעגלי אות מעורב במהירות גבוהה במיוחד, עם fT/fmax מעבר ל-300 GHz.

InP עבור 5G/6G, מכ"ם ולוויינים — fT/fmax מעל 300 GHz

מפרטים טכניים

פרמטרטווח זמין
קוטר 2″ (50.8mm), 3″ (76.2mm), 4″ (100mm)
סוג מסמם N-type S-doped, N-type Sn-doped, SI Fe-doped, P-type Zn-doped
התנגדות סגולית N-type: 10⁻³–10⁻¹ Ω·cm; SI Fe-doped: > 10⁷ Ω·cm
כיווניות גביש (100), (111)A, (111)B, off-cut 2° or 3° toward (110)
עובי 350μm, 500μm, 625μm standard (custom on request)
ליטוש פני שטח SSP, DSP, Epi-Ready — RMS < 2Å (AFM 5×5μm)
EPD (צפיפות בורות איכול) < 5×10⁴/cm² (prime); < 5×10³/cm² (advanced grade)
TTV / בואו / ווארפ TTV < 5μm, Bow < 10μm, Warp < 15μm
ניידות אלקטרונים (μₑ) 5,400 cm²/V·s (N-type InP at 300K)
פער אנרגיה 1.344 eV (direct, zincblende structure)
מוליכות תרמית 68 W/m·K at 300K
שיטות גידול VGF (Vertical Gradient Freeze), LEC (Liquid-Encapsulated Czochralski)
טיפול בצד אחורי Etched, polished, or laser-marked per customer specification
סימון בלייזר SEMI M12/M13 compliant: soft-mark on front or back side
תצורת שפה Per SEMI M1: EJ or US standard flat per diameter
ספירת חלקיקים @ 0.3μm ≤ 10 particles (laser surface scan)
אריזה Vacuum-sealed, single-wafer shippers, Class 100 cleanroom
תאימות לתקנים SEMI M1–M13, RoHS, REACH

יישומים

📡

תקשורת אופטית

לייזרי InP וגלאי פוטו מפעילים רשתות אופטיות מהירות, החל ממרכזי נתונים ועד כבלי תת-ימיים.

📷

גלאי פוטו וחישה תמונתית

גלאי הפוטו של InP מספקים רגישות גבוהה וזרם כהה נמוך עבור יישומי תקשורת, חישה וראייה (imaging).

⚡

אלקטרוניקה בתדר גבוה

ניידות אלקטרונים גבוהה של 5,400 cm²/V·s תומכת בהתקני HBT ו-HEMT עבור מעגלים דיגיטליים ואנלוגיים במהירות גבוהה.

〰️

מעגלים פוטוניים משולבים

שילוב על-שבב של לייזרים, מאפננים ומוליכי גלים מאפשר PICs קומפקטיים עבור מודולים אופטיים מהדור הבא.

🧪

מו״פ ופוטוניקה קוונטית

מצעי InP ברמת מחקר תומכים בפוטוניקה קוונטית, במקורות פוטונים שזורים ובפיתוח אפיטקסיה מתקדם.

🛰️

לוויינים וחלל

אופטואלקטרוניקת InP עמידה לקרינה תומכת בתקשורת לייזר לוויינית ובמערכות חלל ותעופה.

איכות והסמכה

פרוסות InP של GINECHIP מיוצרות תחת ISO 9001:2015 עם בדיקה של 100%, וזמינות להתאמה לסטנדרטים SEMI M1–M13 וכן לדרישות RoHS/REACH.

בדיקת כיווניות גבישית אימות באמצעות עקיפה בקרני רנטגן עבור (100)/(111)A/(111)B עם off-cut של 2° או 3° לכיוון (110).
מדידת צפיפות גומות צריבה מגבלות צפיפות בורות חריטה: prime <5×10⁴/cm² ו-advanced grade <5×10³/cm².
בקרת גאומטריית וופֶר דרישות גאומטריה: TTV<5μm, Bow<10μm, Warp<15μm.
מחוספסות פני שטח ב-AFM מגבלת אי-סדירות ב-AFM: RMS <2Å בסריקה של 5×5μm.
מיפוי התנגדות והול N-type: ‏10⁻³–10⁻¹ Ω·cm; SI בתוספת Fe: ‏>10⁷ Ω·cm.
ספירת חלקיקים (סריקת לייזר) מגבלת חלקיקים לפי סריקת פני שטח בלייזר: עד 10 חלקיקים @ 0.3μm.
אימות סימון לייזר במהלך אימות סימון הלייזר מיושם Soft-mark העומד בתקן SEMI M12/M13 בצד הקדמי או האחורי.
בדיקת מראה ואריזה בדיקת הראייה והאריזה הסופית מתבצעת באמצעות משלחי וואפר בודדים אטומים בוואקום בחדר נקי Class 100.

בקש/י הצעת מחיר ל-InP

שתפו את המפרט המותאם שלכם ונכין הצעת מחיר. שלחו את הדרישות לצוות שלנו למענה מהיר.

ISO 9001:2015 SEMI M1–M13 SI מסומם ב-Fe / מסומם RoHS / REACH