アクセサリー · 輸送 · 真空シール
真空シールウェーハシッパー
湿気や酸化に敏感なウェーハ材料向けの、気密シールと窒素バックフィルが可能なコンテナ。
< 1×10⁻⁶ atm·cc/secリーク率
< 10 ppm湿度レベル
N₂ · Arバックフィルガス
GaAs · InP · III-V最適用途
概要
真空シールシッパーは、大気中の湿気や酸素に接触すると劣化するウェーハ材料——特にシリコンよりはるかに反応性の高い表面を持つGaAsやInPなどのIII-V族化合物半導体基板——を保護します。各コンテナは、出荷ごとに検証される1×10⁻⁶ atm·cc/sec（ヘリウム）未満のリーク率で気密シールを実現し、真空引きした上で乾燥窒素またはアルゴンをバックフィルして不活性輸送雰囲気を作り出すことができます。
すべてのユニットには湿度インジケーターカードが標準装備されており、受領担当者は輸送中を通じて気密シールが保持されていたことを即座に視覚的に確認できます。内蔵の乾燥剤パックは、12ヶ月を超える長期保管期間においても内部湿度を10ppm未満に維持します。これにより、真空シールシッパーは長距離国際貨物輸送と長期ウェーハ保管の両方において最適な選択肢となります。
技術仕様
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Seal Type | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, nitrogen backfill port |
| Leak Rate | < 1×10⁻⁶ atm·cc/sec (helium mass spectrometry) |
| Moisture Level | < 10 ppm with integrated desiccant pack |
| Backfill Gas | Dry nitrogen or argon for inert atmosphere transport |
| Body Material | Conductive PP, PTFE, PEEK (premium high-temp variant) |
| Monitoring | Humidity indicator card (standard), shock indicator (optional) |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H (dangerous goods option) |
アプリケーション
III-V族基板の保護
酸化に敏感なGaAs、InPおよびその他の化合物半導体ウェーハ向けの不活性雰囲気輸送。
長期ウェーハ保管
12ヶ月を超えて保管されるウェーハ在庫向けの、乾燥剤監視付き気密保管。
酸化に敏感な材料の輸送
次の工程を待つ新規処理済み表面向けの密封雰囲気管理。
国際貨物輸送
大気曝露時間が長く予測不能な長距離航空・海上貨物輸送に対応。
品質と認証
すべての真空シールシッパーは、出荷前にヘリウム質量分析法により1×10⁻⁶ atm·cc/sec未満のリーク試験を受け、乾燥剤容量は指定保管期間に対して検証されます。組立はISO Class 4〜5クリーンルームでISO 9001:2015品質管理のもとに行われ、原材料から最終シールまでの完全なロットトレーサビリティを備えています。