Вакуумно-герметичные контейнеры для пластин
Герметично закрытые контейнеры с возможностью подпитки азотом для чувствительных к влаге и окислению пластинчатых материалов.
Обзор
Вакуумно-герметичные контейнеры защищают пластинчатые материалы, деградирующие при контакте с атмосферной влагой или кислородом, — прежде всего подложки соединений III-V, такие как GaAs и InP, поверхность которых значительно более реактивна, чем у кремния. Каждый контейнер обеспечивает герметичное уплотнение со скоростью утечки менее 1×10⁻⁶ атм·см³/с (гелий), проверяемое перед каждой отправкой, и может быть откачан и заполнен сухим азотом или аргоном для создания инертной атмосферы при транспортировке.
Индикаторная карта влажности входит в стандартную комплектацию каждого блока, обеспечивая приёмному персоналу мгновенное визуальное подтверждение сохранности герметичного уплотнения на протяжении всей перевозки, а встроенный пакет осушителя поддерживает внутреннюю влажность ниже 10 ppm при длительном хранении свыше двенадцати месяцев. Это делает вакуумно-герметичные контейнеры предпочтительным выбором как для дальних международных перевозок, так и для долгосрочного хранения пластин.
Технические характеристики
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Seal Type | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, nitrogen backfill port |
| Leak Rate | < 1×10⁻⁶ atm·cc/sec (helium mass spectrometry) |
| Moisture Level | < 10 ppm with integrated desiccant pack |
| Backfill Gas | Dry nitrogen or argon for inert atmosphere transport |
| Body Material | Conductive PP, PTFE, PEEK (premium high-temp variant) |
| Monitoring | Humidity indicator card (standard), shock indicator (optional) |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H (dangerous goods option) |
Применения
Транспортировка в инертной атмосфере для пластин GaAs, InP и других соединений полупроводников, чувствительных к окислению.
Герметичное хранение с контролем осушителя для складских запасов пластин на срок более двенадцати месяцев.
Контроль герметичной атмосферы для свежеобработанных поверхностей, ожидающих следующего этапа фабрики.
Длительные авиа- и морские грузоперевозки, где время воздействия атмосферы продолжительное и непредсказуемое.
Качество и сертификация
Каждый вакуумно-герметичный контейнер проходит испытание на утечку методом гелиевой масс-спектрометрии до уровня менее 1×10⁻⁶ атм·см³/с перед отправкой, а ёмкость осушителя проверяется на заданный срок хранения. Сборка производится в чистом помещении класса ISO 4–5 в рамках системы менеджмента качества ISO 9001:2015 с полной прослеживаемостью партии от сырья до окончательной герметизации.
Нужны вакуумно-герметичные контейнеры?
Сообщите нам материал подложки, требуемый газ подпитки и срок хранения — мы подтвердим герметичные характеристики и сроки в течение 24 часов.