Тара для транспортировки одной пластины
Прецизионные носители с пенным амортизатором для индивидуальной транспортировки дорогостоящих пластин SOI, структурированных и особых подложек.
Обзор
Одноместные пластинные контейнеры представляют собой наивысший уровень защиты в линейке упаковки GINECHIP, разработанный для пластин, повреждение которых недопустимо из-за стоимости замены или сроков поставки. Каждая пластина фиксируется в фрезерованном проводящем пенопластовом гнезде с контролируемым сжатием, что полностью исключает контакт между пластинами и изолирует подложку от ударов, вибрации и электростатического разряда во время транспортировки.
Опциональное герметичное вакуумное уплотнение и азотная подпитка расширяют защиту на чувствительные к окислению поверхности и критичные к влаге плёночные структуры, а индикаторы удара и наклона дают приёмщикам мгновенное визуальное подтверждение обращения с грузом в пути. GINECHIP собирает каждый одноместный пластинный контейнер в чистом помещении класса ISO 4–5, предотвращая загрязнение частицами ещё до герметизации коробки.
Технические характеристики
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Cushion Material | CNC-machined conductive PE/PU foam, custom-profiled per wafer type |
| Wafer Retention | Individually suspended, controlled compression, zero wafer-to-wafer contact |
| Sealing | Standard snap-lid, optional hermetic vacuum port |
| Backfill Gas | Dry nitrogen or argon (optional, with vacuum-sealed variant) |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq; conductive foam variant < 10⁴ Ω/sq |
| Indicators | Shock indicator label (25G/50G/75G), tilt indicator (optional) |
| Cleanroom Class | ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged |
| Standards | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169 |
Применения
Индивидуальная амортизирующая защита для дорогостоящих подложек SOI и структурированных пластин, где любой риск контакта с поверхностью недопустим.
Геометрия пенопласта адаптирована для заготовок ретикл-класса и специальных оптических подложек, требующих максимальной защиты поверхности.
Безопасная передача готовых пластин между фабриками и партнёрами по аутсорсинговой сборке и тестированию (OSAT) в рамках одной партии.
Компактная и надёжная доставка единичных образцов пластин, которыми обмениваются университетские, корпоративные и пилотные лаборатории.
Качество и сертификация
Каждый одноместный пластинный контейнер собирается и герметизируется в условиях чистого помещения класса ISO 4–5, каждая ревизия конструкции проходит испытание на падение по ISTA 3A, а каждая партия проверяется на содержание частиц и, при необходимости, на газовыделение по ASTM E595. Каждая поставка сопровождается полной документацией прослеживаемости по ISO 9001:2015.
Нужны одноместные пластинные контейнеры?
Сообщите нам диаметр пластины, требования к уплотнению и объём поставки — наши специалисты по упаковке подтвердят конструкцию пенопласта и сроки в течение 24 часов.