Соединение пластин

6 TechnologiesМетоды соединения

<< 10⁻⁸ atm·cc/sГерметичность

RT–1100°CДиапазон температур

< 2μmТочность совмещения

Обзор

Соединение пластин — критический процесс для герметизации и 3D-интеграции. GINECHIP предлагает 6 технологий.

Анодное, сращивание, эвтектическое, адгезивное, диффузионное соединение. ISO класс 5.

Технологии соединения

Анодное соединение (Si-стекло)

Анодное Si-стекло. 400–1200 В, 300–450°C. Герметичное.

Materials: Si to borosilicate (Pyrex®)Temperature: 300–500°CVoltage: 400–1000V DCVacuum: < 10⁻⁴ mbarBond strength: 10–20 MPaWafer: 100mm–200mm

Сращивание (Si-Si, SOI)

Прямое Si-Si сращивание. 800–1100°C. Атомарная прочность.

Materials: Si–Si, Si–SiO₂, SiO₂–SiO₂Pre-bond: RT, ambient or vacuumAnneal: 800–1100°CSurface: Ra < 0.5nm requiredBond strength: bulk Si fractureWafer: 100mm–200mm

Эвтектическое соединение

Эвтектическое Au-Si (363°C), Au-Sn (280°C). Герметичное.

Systems: Au–Si (363°C), Au–Sn (280°C)Al–Ge (420°C)Application: pressure + temperatureHermetic seal: < 10⁻⁸ atm·cc/s HeBond frame: lithographically definedWafer: 100mm–200mm

Адгезивное соединение

Адгезивное < 200°C. BCB, SU-8, полиимид. Допуск шероховатости 2 мкм.

Systems: Cu–Cu, Au–Au, Al–AlTemperature: 200–400°CPressure: 20–100 MPaAtmosphere: N₂ or forming gas (Au)Bond interface: < 50nm void-freeWafer: 100mm–300mm

Диффузионное соединение металлов

Твердотельная диффузия Cu-Cu, Al-Al. 300–400°C. UHV.

Adhesives: BCB, SU-8, PI, epoxyTemperature: RT–250°CPressure: 0.1–1 MPaTolerates roughness, topographyBond line: 1–50μmWafer: 100mm–300mm

Соединение стеклоприпоем

Стеклоприпой 400–450°C. Толщина шва 5–20 мкм. Экономичное.

Adhesives: thermoplastic, UV-curableCarrier: Si or glass waferTemperature: 150–250°C (thermal)Laser: 308nm or 355nm releaseThickness tolerance: ±2μm TTVWafer: 100mm–300mm

Типичные применения

MEMS герметизация

Герметичная MEMS упаковка. Контроль давления до mTorr.

SOI и инженерные подложки

Fusion + Smart Cut для SOI. 50 нм–100 мкм, BOX 0,1–2 мкм.

3D IC и гетерогенная интеграция

Cu-Cu диффузия для 3D-стекирования. Совместимо с TSV.

Датчики давления

Анодное Si-стекло для датчиков давления. Контроль давления.

Оптические MEMS

Адгезивное для фотоники, эвтектическое для лазеров.

RF упаковка

Эвтектическое Au-Sn для RF. Диффузионное для теплоотвода.

Качество соединения

SAM, IR-визуализация, тесты на прочность, SEM сечения.

Нужны услуги соединения пластин?

Укажите материалы, тип соединения и требования. Ответ в течение 24 ч.

Запросить КП Связаться с инженерами

ISO 9001Контроль CSAMИК-выравниваниеИспытание на герметичность