Стекло с покрытием ITO для прозрачной электроники
<strong>ITO (In₂O₃:SnO₂ 90:10)</strong> нанесено на стекло методом DC/RF магнетронного распыления. Марки по поверхностному сопротивлению 5–500 Ω/sq, пропускание >85% и низкая мутность. Работа выхода 4.4–4.8 eV.
Обзор продукта
ITO — это промышленный стандарт прозрачного проводящего оксида; 90:10 In₂O₃:SnO₂; нанесение методом DC/RF магнетронного распыления на стекло; диапазон удельного сопротивления 5-500 Ω/кв; светопропускание >85-90%; RMS <1 нм.
Сбалансированный компромисс между проводимостью и прозрачностью, адаптированный для дисплеев, сенсорных панелей и солнечных элементов — чтобы вы получили нужные электрические характеристики при требуемой оптической четкости.
Ключевое преимущество: настраиваемое удельное сопротивление (sheet resistance) + высокая светопропускная способность + низкая мутность (haze), равномерность Rs ±5% / T ±2%.
Ключевые свойства
Светопропускание >85-95% в зависимости от марки, работа выхода 4.4-4.8 eV, <strong>RMS <1 нм</strong>, мутность (haze) <1%.
Экологическая стабильность до 300°C в воздухе; адгезия проходит тест липкой лентой / MIL-STD-883.
Светопропускание vs. удельное сопротивление (sheet resistance)
Выбирайте подходящую марку в зависимости от требуемого баланса между оптической прозрачностью и электрическим сопротивлением на квадрат. Ниже приведены типичные значения по маркам:
| Удельное сопротивление (Sheet Resistance) | Светопропускание | Толщина | Типичные применения |
|---|---|---|---|
| 5 Ω/sq | > 80% | ~280nm | EMI shielding, high-current electrodes |
| 15 Ω/sq | > 83% | ~150nm | OLED anodes, touch panels |
| 20 Ω/sq | > 85% | ~120nm | Display electrodes, solar cells |
| 100 Ω/sq | > 90% | ~25nm | Biosensors, anti-static coatings |
| 500 Ω/sq | > 95% | ~5nm | Research, low-current electrodes |
Паттернирование и кастомизация
Выберите непаттернированный или паттернированный ITO с помощью мокрого травления или лазера. Достигается <strong>точная геометрия</strong> для сенсорных панелей и дисплеев.
Производим прямоугольные подложки на заказ до 400×500 мм, с индивидуальными марками sheet resistance и толщиной.
Варианты подложек
Выбирайте из <strong>Soda-Lime Glass</strong>, <strong>Borofloat 33</strong>, <strong>Fused Silica</strong>, <strong>Sapphire</strong> или <strong>Silicon (with SiO₂ barrier)</strong>. Подберите подложку с учетом теплового бюджета, светопропускания и стоимости.
Процесс нанесения
Нанесение методом <strong>DC/RF magnetron sputtering</strong> (испарение E-beam — опционально). Толщина ITO: <strong>50nm-300nm</strong>. Равномерность по пластине: <strong>Rs ±5% / T ±2%</strong>.
Качество и надежность
Проходит <strong>испытание адгезионной лентой</strong> / <strong>MIL-STD-883</strong>. Тепловая стабильность до <strong>300°C</strong> в воздухе. Старение: <strong>85°C/85% RH</strong> в течение <strong>500-1000h</strong>. Упаковка: вакуумно запечатанная <strong>Class 100</strong> с прослойками.
Технические характеристики
| Параметр | Значение / Спецификация |
|---|---|
| Базовая подложка | Soda-Lime Glass, Borofloat 33, Fused Silica, Sapphire, Silicon (with SiO₂ barrier) |
| Материал покрытия | ITO (In₂O₃:SnO₂, 90:10 wt%) |
| Метод осаждения | DC/RF Magnetron Sputtering, E-beam evaporation optional |
| Поверхностное сопротивление | 5, 10, 15, 20, 50, 100, 200, 500 Ω/sq, ±10% tolerance |
| Толщина | ITO: 50nm–300nm; Custom thickness available |
| Пропускание @ 550nm | > 85% for 20 Ω/sq, > 90% for 100 Ω/sq |
| Диаметр подложки | 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; custom rectangular up to 400×500mm |
| Однородность по пластине | Rs ±5%, T ±2% |
| Адгезия | Passes Scotch tape test, MIL-STD-883 |
| Шероховатость поверхности | RMS < 1nm |
| Дымка | < 1% for display-grade |
| Работа выхода | 4.4–4.8 eV |
| Варианты формирования рисунка | Unpatterned, patterned (wet etch or laser) |
| Стабильность к внешним воздействиям | Thermal stability up to 300°C in air |
| Упаковка | Interleaved, vacuum-sealed, Class 100 |
Применения
Сенсорные панели и дисплеи
Стекло с покрытием ITO — доминирующая технология прозрачных электродов в ёмкостных сенсорных панелях для смартфонов, планшетов и автомобильных информационно-развлекательных систем. Структурированные строки и столбцы ITO образуют матрицу проекционной ёмкости, которая регистрирует мультитач-ввод с субмиллисекундным откликом. В LCD- и OLED-дисплеях ITO служит прозрачным пиксельным электродом, требуя поверхностного сопротивления ниже 20 Ω/sq для минимизации задержки RC на крупноформатных панелях.
OLED-освещение и дисплеи
Аноды ITO с высокой работой выхода (4.4–4.8 eV) обеспечивают эффективную инжекцию дырок в органические полупроводниковые слои как в OLED-дисплеях, так и в панелях твердотельного освещения. Для архитектур OLED с верхним излучением ITO на стекле с просветляющими покрытиями достигает > 90% пропускания, поддерживая < 15 Ω/sq — критично для ярких смартфонных дисплеев при 500+ нит.
Тонкоплёночные солнечные элементы
Фронтальные контакты ITO являются стандартом в тонкоплёночных фотоэлектрических технологиях, включая аморфный кремний (a-Si), теллурид кадмия (CdTe) и перовскитные солнечные элементы. Компромисс между поверхностным сопротивлением (потери на последовательное сопротивление) и оптическим пропусканием (генерация фототока) тщательно оптимизируется для каждой архитектуры элемента. Для тандемных перовскит-кремниевых элементов рекомбинационные слои ITO с точно настроенной работой выхода обеспечивают эффективный перенос носителей между подэлементами.
Экранирование EMI/RFI
Подложки с покрытием ITO обеспечивают оптически прозрачное экранирование электромагнитных помех (EMI) для дисплеев и окон в военном, аэрокосмическом и медицинском оборудовании. При 5 Ω/sq плёнки ITO достигают эффективности экранирования > 30 dB в диапазоне от 100 MHz до 10 GHz, сохраняя > 80% пропускания в видимом диапазоне — это необходимо для дисплеев кабины, окон МРТ-кабинетов и смотровых портов защищённых объектов.
Биосенсоры и «лаборатория на чипе»
Электроды ITO широко применяются в электрохимических биосенсорах, импедансном мониторинге клеток и микрофлюидных платформах «лаборатория на чипе» благодаря сочетанию электропроводности, оптической прозрачности (позволяющей одновременно проводить оптическую микроскопию) и биосовместимости. Рабочие электроды ITO, функционализированные ферментами, антителами или аптамерами, обеспечивают амперометрическое детектирование глюкозы, нейромедиаторов и ДНК патогенов.
Электрохромные и «умные» окна
Стекло с покрытием ITO служит прозрачным проводником с обеих сторон электрохромных устройств, модулирующих пропускание видимого и ближнего ИК-излучения при приложенном напряжении. «Умные» окна для энергоэффективных зданий используют стеки ITO/электрохромный слой/ITO на стеклянных панелях метрового масштаба, требуя поверхностного сопротивления ниже 10 Ω/sq для равномерного переключения окраски по большим площадям.
Метрология и контроль качества
Каждая подложка проходит проверку; CoA на каждую отгрузку; <strong>100% параметрические данные</strong>.
Закажите ITO-слоистое стекло
Индивидуальные размеры, градации поверхностного сопротивления, паттернирование. Поговорите с нашими инженерами, чтобы соответствовать вашим требованиям — <strong>мы поможем</strong>.