複数枚ウェーハ輸送ボックス

2–25 Wafers収容枚数

100mm–300mmウェーハ直径

Conductive PE Foamセパレーター材質

Cassette-in-Box自動化インターフェース

概要

複数枚ウェーハシッパーは、ファブや流通センターに対し、個別包装の単位コストをかけずにテスト用、モニター用、量産用ウェーハをバッチで移動する経済的な手段を提供します。ウェーハは帯電防止インターリーフフォームシートで分離されるか、導電性カセットインサート内の専用スロットに収められ、積み重ねやパレット荷重の下でも各基板の機械的隔離が保たれます。

カセット・イン・ボックス形式は、ファブの自動搬送システム（AMHS）と直接インターフェースするよう設計されており、ウェーハは受入ドックからストッカーまで中間移送ステップなしで移動できます。ボックスはパレット積載を効率化するために安全に積み重ね可能で、標準ロットサイズに合わせて2、6、13、25枚の容量が用意されています。

技術仕様

Parameter	Available Range / Values
Wafer Diameter	100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″)
Capacity	2, 6, 13, or 25 wafers per box; custom counts available
Separator Material	Conductive PE foam interleaf sheets, or conductive cassette insert
Body Material	Conductive PP, antistatic PC, ABS
ESD Protection	Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity
Automation Interface	Cassette-in-box design compatible with fab AMHS
Stacking	Interlocking base/lid for secure pallet loading
Cleanroom Class	ISO Class 4–5 (Class 10–100) assembled and packaged
Standards	SEMI E154, SEMI E1, ISTA 3A, ASTM D4169

アプリケーション

テスト・モニターウェーハの配送

装置認定サイトとファブ間で、テストウェーハやモニターウェーハを経済的に一括輸送します。

ファブ間バルク輸送

単一の導電性カセットインサートで、複数拠点のファブネットワーク間で生産ウェーハをロット単位で移動します。

ファウンドリ顧客向け出荷

ファウンドリ顧客向けの標準ロット出荷。ブランドボックスラベリングのオプションあり。

パレット単位の物流

大量貨物の集約と倉庫保管密度に最適化されたスタッキング可能なボックス設計。

品質と認証

複数枚ウェーハボックスはISO Class 4〜5クリーンルーム環境で組み立てられ、各インターリーフフォームシートとカセットインサートは梱包前に微粒子寄与について検証されます。設計改訂はISTA 3Aの落下・振動試験に合格し、すべての出荷にはISO 9001:2015のロットトレーサビリティが完備されています。