기타 재료
세라믹, 압전 결정체, IR 재료, 다이아몬드, 유연한 폴리머 등 특이한 특성을 요구하는 응용 분야를 위한 특수 기판입니다.
개요
표준 실리콘 및 일반적인 화합물 반도체 외에도 많은 장치 기술에는 전기, 열, 광학 또는 압전 특성이 고유하게 조합된 특수 기판 재료가 필요합니다. 당신이 \
재료 카탈로그
알루미나(Al₂O₃)
전기 절연성이 뛰어난 고강도 세라믹 기판입니다. 96% 및 99.6% 순도 등급으로 제공됩니다. 후막 회로, 하이브리드 마이크로전자공학, 고온 전자공학에 이상적입니다.
- Hardness: 14–16 GPa
- Thermal conductivity: 20–30 W/m·K
- CTE: 3.2 ppm/K
- Dielectric constant: 7.5–8.0 at 1 MHz
질화알루미늄(AlN)
CTE가 실리콘과 밀접하게 일치하는 고열 전도성 세라믹(170W/m·K). 열 관리 애플리케이션을 위한 BeO의 무독성 대안입니다.
- Purity: 96%, 99.6%
- Thermal conductivity: 24–30 W/m·K
- Dielectric strength: > 15 kV/mm
- Surface roughness: as-fired or polished (< 0.1μm Ra)
붕규산 유리
실리콘과 CTE 일치(3.2ppm/K). 실리콘 웨이퍼와의 양극 결합에 이상적입니다. MEMS 및 미세유체공학에 대한 탁월한 내화학성과 광학적 투명성.
- CTE: 3.2 ppm/K (silicon-matched)
- Strain point: 510°C
- High chemical durability
- Available with patterned cavities
게르마늄(Ge)
높은 전자 이동도(3900cm²/V·s). 다중 접합 태양 전지, IR 광학 장치 및 격자 일치가 중요한 III-V 에피택셜 성장용 기판으로 사용됩니다.
- Bandgap: 0.66 eV (indirect)
- Electron mobility: 3900 cm²/V·s
- Diameter: 50mm, 100mm, 150mm
- N-type, P-type, and intrinsic available
ZnSe 및 ZnS
광학창 및 렌즈용 광대역 IR 투명 소재. ZnSe는 0.6-16μm에서 전송됩니다. 0.4-12μm의 ZnS. 광택 광학 창 및 웨이퍼 기판으로 제공됩니다.
- ZnSe transmission: 0.6–16μm
- ZnS transmission: 0.4–12μm
- High laser damage threshold
- Available as polished optical windows and wafers
LiNbO₃ 및 LiTaO₃
강력한 압전 및 전기광학 특성을 지닌 강유전성 단결정 기판입니다. 광학 등급 및 SAW 등급 광택 처리된 3인치, 4인치, 6인치 웨이퍼로 제공됩니다.
- Electro-optic coefficient r₃₃: LiNbO₃ 30.8 pm/V
- Curie temp: 1142°C (LiNbO₃), 610°C (LiTaO₃)
- Available as 3″, 4″, 6″ wafers
- Optical-grade and SAW-grade polish
다이아몬드
CVD 단결정 또는 다결정 다이아몬드 기판은 알려진 재료 중 열전도율이 가장 높습니다(> 1800W/m·K). 가장 까다로운 응용 분야에 적합한 극한의 유전 강도 및 방사선 경도.
- Thermal conductivity: > 1800 W/m·K
- Dielectric breakdown: > 10 MV/cm
- Available up to 2″ wafer sizes
- Optical-grade and thermal-grade available
유연한 폴리머
유연한 전자 장치용 폴리이미드 및 LCP(액정 폴리머) 필름. 400°C(PI) 정격, 낮은 흡습성, 고주파 애플리케이션을 위한 탁월한 유전 특성.
- Polyimide: rated to 400°C
- LCP: low moisture absorption, low RF loss
- Thickness: 12.5μm–125μm
- Available with or without adhesive layers
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