배송 상자 및 캐리어
정전기 방지 보호 기능과 클린룸 등급 포장을 갖춘 단일 및 다중 웨이퍼 선적 컨테이너입니다.
개요
웨이퍼 배송은 반도체 공급망의 핵심 연결 고리입니다. 완벽하게 제조된 웨이퍼도 입자 오염, 기계적 손상 또는 ESD 열화 상태로 도착하면 가치가 완전히 소멸된 것입니다. 팹 간 프라임 웨이퍼를 배송하든, 파운드리 공정을 위해 발송하든, 완성된 웨이퍼를 OSAT 패키징 업체에 납품하든, 배송 컨테이너는 마지막이자 가장 중요한 방어선입니다.
GINECHIP은 국제 물류를 위해 설계된 웨이퍼 배송 상자 및 캐리어의 포괄적인 라인업을 제공합니다. 고가의 SOI 또는 패터닝 웨이퍼용 정밀 가공 폼 완충재를 갖춘 단일 웨이퍼 배송 상자, 25매 웨이퍼 카세트 전체를 운송할 수 있는 다중 웨이퍼 배송 상자, 산화에 민감한 소재를 위한 질소 백필(선택 사항)이 있는 진공 밀봉 용기, 그리고 2nm 미만 게이트 산화막을 가진 첨단 CMOS 소자용 ESD 안전 패러데이 케이지 설계입니다.
배송 상자 유형
단일 웨이퍼 배송 상자
SOI, 패턴 웨이퍼, 레티클 등급 블랭크 및 특수 기판 등 가장 가치 있는 웨이퍼를 위해 정밀하게 설계되었습니다.
- 개별 완충 — 웨이퍼 간 접촉 제로
- 기밀 밀봉을 위한 진공 포트 제공
- 산화에 민감한 웨이퍼를 위한 선택적 질소 백필
- 충격 표시기 및 기울기 표시기 라벨 제공
다중 웨이퍼 배송 상자
전도성 폼 분리기와 카세트 인 박스 설계를 통해 여러 개의 웨이퍼(2~25개)를 운송하기 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.
- 2, 6, 13 또는 25매 웨이퍼 용량
- 각 웨이퍼 사이의 전도성 PE 폼 세퍼레이터
- 팹 자동화와의 호환성을 위한 카세트 인 박스 설계
- 효율적인 팔레트 적재를 위한 적층 가능
진공 밀봉된 웨이퍼 운송업체
습기에 민감하고 산화되기 쉬운 재료를 위한 진공 포트가 있는 밀봉된 용기입니다.
- 누출률: < 1×10⁻⁶ atm·cc/sec(He)
- 습도 표시 카드 포함(표준)
- 뚜껑에 통합된 건조제 팩
- GaAs, InP 및 기타 III-V 기판에 적합
클램셸 웨이퍼 캐리어
빠른 열기/닫기 래치 기능을 갖춘 빈번한 액세스 시나리오를 위한 경량의 힌지형 클램셸 캐리어입니다.
- 장갑 착용 작업을 위한 원터치 래치
- 개봉 없이 육안으로 웨이퍼를 검사할 수 있는 투명 PC 뚜껑
- 경량: 알루미늄 대안보다 50% 가벼움
- 맞물림 베이스/뚜껑 설계로 적층 가능
기술 사양
| 매개변수 | 사용 가능한 범위 / 값 |
|---|---|
| 유형 | Single-wafer shipper, Multi-wafer shipper (25/13 wafer), Clamshell, Vacuum-sealed, Foam-lined |
| 웨이퍼 직경 | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| 용량 | 1 wafer, 2–6 wafers, 13 wafers, 25 wafers (standard cassette), custom |
| 본체 재료 | Conductive PP, Antistatic PC, ABS, PEEK, PTFE, Aluminum (anodized) |
| 완충 재료 | Conductive PE foam, Antistatic PU foam, PTFE inserts, PEEK wafer separators |
| ESD 보호 | Static-dissipative: 10⁴–10⁹ Ω/sq; Conductive: < 10⁴ Ω/sq; Faraday cage designs |
| 밀봉 유형 | Hermetic vacuum seal, O-ring gasket, Latch-lock, Tamper-evident tape, Nitrogen backfill port |
| 클린룸 클래스 | ISO Class 4–5 (Class 10–100) cleanroom assembled and packaged |
| 표준 | SEMI E154, ISTA 3A, ASTM D4169, UN 4G/4H packaging (dangerous goods option) |
| 온도 범위 | Standard: -20°C to +80°C; Premium PEEK: -40°C to +260°C |
| 맞춤화 | Custom foam inserts, company logo, barcode labels, RFID tag slots, color coding |
ESD 보호 및 포장 무결성
정전기 보호 수준
- 정전기 분산형 — 제어된 전하 방출을 위한 10⁶–10⁹ Ω/sq 표면 저항. 대부분의 소자 기술에 적합
- 전도성 — < 10⁴ Ω/sq로 빠른 전하 분산. 100V HBM 미만의 ESD 민감도를 가진 소자에 필요
- 패러데이 케이지 — 완전한 정전기 차폐를 제공하는 전금속 또는 금속화 인클로저. MIL-PRF-81705 Type III에 상응
- 매립형 차폐층 — 분산성 외부 쉘을 갖춘 금속화 내부 라이너. 패러데이 케이지 효과와 외부 ESD 안전성을 결합
기계적 보호
- 충격 흡수 — ISTA 3A에 따라 1m 낙하 높이에서 25–50G 감속을 제공하는 전도성 PE/PU 폼
- 진동 감쇠 — 5–500Hz 운송 진동 스펙트럼에 맞춰 조정된 폼 컴플라이언스
- 압축 저항 — 최대 100kg 적재 하중을 위한 보강 모서리와 리브 구조 본체
- 충격 표시기 — 물류 품질 보증을 위한 G-포스 충격 표시기(25G, 50G, 75G 임계값) 및 기울기 표시기
국제 배송 규정 준수
ISTA 3A
소포 배송 및 LTL 화물 환경을 시뮬레이션하는 포장 성능 시험입니다. 당사의 배송 상자는 최대 70kg 포장물에 대해 ISTA 3A에 정의된 낙하, 진동 및 대기 조절 시험을 통과합니다.
ASTM D4169
운송 컨테이너 및 시스템의 성능 시험에 관한 표준 관행입니다. 취급, 압축, 진동 및 저압(고도) 시험을 포함하며, 당사의 배송 상자 설계에 대해 모두 검증되었습니다.
UN 4G / 4H
규제 물질용 UN 인증 섬유판(4G) 및 플라스틱(4H) 포장. 위험물 분류가 필요한 웨이퍼(예: 특정 화학 처리된 일부 III-V 기판)에 사용 가능합니다.
응용
품질 및 인증
모든 배송 상자는 ISO Class 5(Class 100) 클린룸 환경에서 조립 및 포장됩니다. 품질 보증에는 IEST-RP-CC005에 따른 입자 계수 검증, ANSI/ESD STM11.11에 따른 ESD 성능 시험, ASTM E595에 따른 가스 방출 분석(지정된 경우), 그리고 각 설계 개정 시 ISTA 3A에 따른 낙하 시험이 포함됩니다. 원자재부터 최종 출하까지 완전한 로트 추적성을 갖춘 ISO 9001:2015 인증 품질 관리입니다.