配件 · 運輸 · 扣殼式
扣殼式晶圓載具
輕量化快速取用鉸鏈載具，適用於計量實驗室及研發環境中頻繁的晶圓交接。
50% Lighter相較鋁製重量
Single-Action Latch開啟機制
Clear PC Lid蓋板類型
100mm–300mm晶圓直徑
概述
扣殼式載具捨棄運輸盒的最大保護等級工程，換取速度與便利性，因應許多晶圓移動每天發生多次且距離短的實際情況——例如在製程設備與計量站之間、跨越走廊至相鄰晶圓廠建築，或進出研發表徵實驗室。單動作鎖扣可單手（戴手套）開啟與關閉，鉸接式透明聚碳酸酯蓋則讓操作人員無需開啟外殼即可目視確認晶圓方向與狀態。
儘管結構更輕——約為同等鋁製載具重量的一半——互鎖式底座與蓋板設計仍可安全堆疊以利儲存及推車運送，而較輕的重量在整個生產班次中可明顯降低操作人員疲勞及自動化物料搬運設備的磨損。提供單片及小批量多片配置，涵蓋所有標準直徑。
技術規格
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Body Material | Conductive PC, antistatic ABS |
| Lid Type | Hinged, clear polycarbonate for visual inspection without opening |
| Latch Mechanism | Single-action latch, gloved-hand operable, cycle-tested 10,000+ operations |
| Weight | 50% lighter than comparable aluminum carriers |
| ESD Protection | Static-dissipative 10⁴–10⁹ Ω/sq surface resistivity |
| Stacking | Interlocking base/lid design for cart and shelf storage |
| Cleanroom Class | ISO Class 5 (Class 100) molded and assembled |
| Standards | ANSI/ESD S20.20, SEMI E1 (slot-compatible variants) |
應用
計量實驗室交接
在製程設備與計量或缺陷檢視站之間，快速且可目視確認的晶圓交接。
短距離廠間移動
在同一場址內相鄰建築或製程區之間，進行快速且低成本的晶圓運送。
研發樣品交換
為頻繁處理小批量樣品週轉的表徵實驗室，提供快速開啟存取。
高頻取用儲存
為需要重複取用而無需完整重新密封的晶圓，提供無塵室層架儲存。
品質與認證
扣殼式載具在ISO Class 5無塵室中成型與組裝，每個鎖扣機構均經超過10,000次開合循環測試，密封性及對位不受影響。所有產品均符合ANSI/ESD S20.20靜電控制要求，並具備完整ISO 9001:2015批次可追溯性。