Кассеты для пластин из PFA/PTFE
Кассеты для пластин из фторполимера с практически универсальной химической стойкостью к HF, пиранье и химии RCA-очистки.
Обзор
Кассеты из PFA (перфторалкокси) и PTFE (политетрафторэтилен) обладают самой широкой химической стойкостью среди всех материалов для носителей пластин — они инертны к концентрированным HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂ и химии SC1/SC2, используемой на станциях RCA-очистки и травления в пиранье. Там, где PEEK превосходит по термостойкости, фторполимеры превосходят по химической инертности к беспрецедентному диапазону агрессивных технологических химикатов.
Помимо химической инертности, PFA и PTFE обеспечивают уровень экстрагируемых металлов менее 1 ppb — критично важно для чувствительных к загрязнению процессов переднего конца — и гладкую нелипкую поверхность, минимизирующую прилипание частиц и перекрёстное загрязнение между партиями. GINECHIP поставляет кассеты PFA/PTFE в тех же конфигурациях открытого типа, H-Bar и C-Bar, что и линейка PEEK, для пластин диаметром 100–300 мм.
Технические характеристики
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PFA (perfluoroalkoxy), PTFE (polytetrafluoroethylene) |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | -200°C to +260°C (PFA) |
| Chemical Resistance | Inert to concentrated HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, SC1/SC2 chemistries |
| Extractable Metals | < 1 ppb |
| Surface Characteristics | Smooth, non-stick — minimizes particle adhesion |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158 |
Применения
RCA-очистка, травление в пиранье, HF-погружение и BOE-травление — PFA и PTFE выдерживают весь спектр мокрой химии переднего конца без деградации или выщелачивания.
Обработка пластин после ХМП в среде с остатками суспензии, где нелипкая поверхность и химическая инертность PFA предотвращают перенос частиц суспензии между партиями.
Обработка на переднем конце и вблизи подзатворного оксида, где уровень экстрагируемых металлов ниже 1 ppb предотвращает загрязнение критических слоёв прибора следовыми металлами.
Диапазон PFA -200°C…+260°C поддерживает специализированные процессы — от криогенной обработки образцов до высокотемпературной диффузии в одном и том же производстве.
Качество и сертификация
Все кассеты PFA/PTFE изготавливаются и упаковываются в соответствии с сертифицированной системой менеджмента качества ISO 9001:2015, с подсчётом частиц по IEST-RP-CC005 и проверкой размеров по SEMI E1/E15/E57. Для критичных к загрязнению применений уровень экстрагируемых металлов проверяется методом ИСП-МС для каждой партии.
Нужны кассеты PFA или PTFE?
Сообщите нам о технологической химии и диаметре пластин — наша команда подтвердит совместимость и предоставит подробное коммерческое предложение в течение 24 часов.