PFA/PTFE-Wafer-Kassetten
Fluorpolymer-Wafer-Kassetten mit nahezu universeller Chemikalienbeständigkeit für HF, Piranha und RCA-Reinigungschemie am Nassbank.
Übersicht
PFA- (Perfluoralkoxy) und PTFE-Kassetten (Polytetrafluorethylen) bieten die breiteste Chemikalienbeständigkeit aller verfügbaren Wafer-Trägermaterialien — inert gegenüber konzentrierter HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂ sowie der bei RCA-Reinigung und Piranha-Ätzstationen verwendeten SC1/SC2-Reinigungschemie. Während PEEK bei hohen Temperaturen glänzt, zeichnen sich Fluorpolymere durch chemische Inertheit gegenüber einem beispiellosen Spektrum aggressiver Prozesschemikalien aus.
Neben der chemischen Inertheit bieten PFA und PTFE extrahierbare Metallwerte unter 1 ppb — entscheidend für kontaminationsempfindliche Front-End-Prozesse — sowie eine glatte, nicht klebende Oberfläche, die Partikelanhaftung und Kreuzkontamination zwischen Losen minimiert. GINECHIP liefert PFA/PTFE-Kassetten in denselben offenen, H-Bar- und C-Bar-Konfigurationen wie unsere PEEK-Linie, für Waferdurchmesser von 100 mm bis 300 mm.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PFA (perfluoroalkoxy), PTFE (polytetrafluoroethylene) |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | -200°C to +260°C (PFA) |
| Chemical Resistance | Inert to concentrated HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, SC1/SC2 chemistries |
| Extractable Metals | < 1 ppb |
| Surface Characteristics | Smooth, non-stick — minimizes particle adhesion |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158 |
Anwendungen
RCA-Reinigung, Piranha-Ätzung, HF-Tauchen und BOE-Ätzung — PFA und PTFE bewältigen das gesamte Spektrum der Front-End-Nasschemie ohne Abbau oder Auslaugung.
Wafer-Handhabung nach dem CMP in Slurry-Rückstandsumgebungen, wo die nicht klebende Oberfläche und chemische Inertheit von PFA den Übertrag von Slurry-Partikeln zwischen Losen verhindert.
Front-End- und gate-oxid-nahe Handhabung, bei der extrahierbare Metallwerte unter 1 ppb eine Spurenmetall-Kontamination kritischer Bauelementschichten verhindern.
Der Bereich von -200°C bis +260°C bei PFA unterstützt spezielle Prozesse von kryogener Probenhandhabung bis hin zu Hochtemperaturdiffusion in derselben Fab.
Qualität & Zertifizierung
Alle PFA/PTFE-Kassetten werden unter ISO 9001:2015-zertifiziertem Qualitätsmanagement hergestellt und verpackt, mit Partikelzählung nach IEST-RP-CC005 und Maßprüfung gegen SEMI E1/E15/E57. Für kontaminationskritische Anwendungen werden die extrahierbaren Metallwerte chargenweise per ICP-MS verifiziert.
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