PFA/PTFEウェーハカセット
HF、ピラニア、RCA洗浄などのウェットベンチ薬品に対しほぼ万能の耐薬品性を持つフッ素樹脂ウェーハカセット。
概要
PFA（パーフルオロアルコキシ）およびPTFE（ポリテトラフルオロエチレン）カセットは、入手可能なウェーハキャリア素材の中で最も広範な耐薬品性を提供します——濃HF、HCl、H₂SO₄、H₂O₂、そしてRCA洗浄・ピラニアエッチングステーションで使用されるSC1/SC2洗浄薬品に対して不活性です。PEEKが高温性能に優れる一方、フッ素樹脂は他に類を見ない範囲の過酷な工程薬品に対する化学的不活性性に優れています。
化学的不活性性に加え、PFAおよびPTFEは1ppb未満の抽出金属レベルを実現し——これは汚染に敏感な前工程プロセスにとって極めて重要です——粒子付着とロット間の交差汚染を最小限に抑える滑らかで非粘着性の表面を備えています。GINECHIPはPEEKシリーズと同じオープン型、H-Bar、C-Bar構成のPFA/PTFEカセットを100mm～300mmのウェーハ径にわたり提供しています。
技術仕様
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PFA (perfluoroalkoxy), PTFE (polytetrafluoroethylene) |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | -200°C to +260°C (PFA) |
| Chemical Resistance | Inert to concentrated HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, SC1/SC2 chemistries |
| Extractable Metals | < 1 ppb |
| Surface Characteristics | Smooth, non-stick — minimizes particle adhesion |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158 |
アプリケーション
RCA洗浄、ピラニアエッチング、HFディップ、BOEエッチング——PFAおよびPTFEは、劣化や溶出を起こすことなく前工程の湿式薬品全域に対応します。
スラリー残留環境でのCMP後ウェーハハンドリングにおいて、PFAの非粘着表面と化学的不活性性がロット間のスラリー粒子持ち込みを防止します。
ゲート酸化膜隣接ハンドリングを含む前工程において、1ppb未満の抽出金属レベルが重要なデバイス層への微量金属汚染を防止します。
PFAの-200°C～+260°Cの対応範囲により、同一ファブ内での極低温サンプルハンドリングから高温拡散まで、特殊プロセスに対応します。
品質と認証
すべてのPFA/PTFEカセットはISO 9001:2015認証の品質管理のもとで製造・梱包され、IEST-RP-CC005に基づくパーティクルカウント、SEMI E1/E15/E57に対する寸法検証を実施しています。汚染に厳しい用途向けには、ロットごとにICP-MSで抽出金属レベルを検証します。