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標準PPウェーハカセット
一般的な保管、輸送、非重要ハンドリング用途向けの経済的なポリプロピレンウェーハカセット。
0°C to +100°C温度範囲
100mm–300mmウェーハ対応サイズ
Most Economicalコスト水準
SEMI E1·E15·E57規格
概要
すべてのウェーハハンドリング工程がPEEKやPFAのような極度の耐薬品性・耐熱性を必要とするわけではありません。標準ポリプロピレンカセットは、常温付近の条件（0°C～+100°C）でのウェーハ保管、輸送、一般ハンドリングに信頼性の高い経済的なソリューションを提供し、常温での一般的な酸・アルカリに対して良好な耐性を備えています。
天然色、白色、またはロット・工程識別用のカスタムカラーで提供される標準PPカセットは、大量のファブ全体展開に最も経済的な選択肢であり、大量注文には梱包割引も可能です。また、混在仕様・低コストのカセット供給が望まれる研究開発やパイロットラインの環境でも人気があります。
技術仕様
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | Polypropylene (PP), natural/white/custom colors |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | 0°C to +100°C |
| Chemical Resistance | Good resistance to acids and bases at room temperature |
| Color Options | Natural, white, or custom colors for lot identification |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar |
| Pricing | Bulk packaging discounts for fab-wide deployment |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57 |
アプリケーション
一般ウェーハ保管
極端な耐薬品性・耐熱性を必要としない倉庫保管や短中期保管に対応。
輸送・物流
国内輸送や低価値基板ロット向けのコスト効率の良いカセット入りウェーハ輸送。
研究開発・パイロットライン
大学・企業の研究開発ファブ向けの少量・混在仕様カセット供給で、コスト重視が極端な性能要求を上回る場合に対応。
大規模ファブ全体展開
数十台の装置やプロセスベイにわたり単一の経済的カセットを標準化するファブ向けの大量購入プログラム。
品質と認証
標準PPカセットはISO 9001:2015認証の品質管理のもとで製造され、SEMI E1/E15/E57に対する寸法検証を実施しています。過酷な化学的・高温用途を意図したものではありませんが、すべてのロットでパーティクルカウントを実施し、クリーンルーム適合性を確保しています。