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0°C to +100°C溫度範圍
100mm–300mm晶圓相容性
Most Economical成本等級
SEMI E1·E15·E57標準規範

概述

並非每個晶圓搬運步驟都需要PEEK或PFA那樣極致的化學或耐熱性。標準聚丙烯卡匣為晶圓儲存、運輸及一般搬運提供可靠、經濟的解決方案,適用於接近室溫的環境(0°C至+100°C),並對常見酸鹼在常溫下具良好抗性。

提供自然色、白色或客製化顏色以供批次或製程識別,標準PP卡匣是大量廠區部署最經濟的選擇,大量訂購可享包裝折扣。同時,這也是研發及試產線環境的熱門選擇,因為這些環境偏好混合規格、成本較低的卡匣供應。

技術規格

ParameterAvailable Range / Values
Material Polypropylene (PP), natural/white/custom colors
Wafer Diameter 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″)
Slot Capacity 25 slots (standard), 13 slots, custom slot counts
Temperature Range 0°C to +100°C
Chemical Resistance Good resistance to acids and bases at room temperature
Color Options Natural, white, or custom colors for lot identification
Configuration Open cassette, H-Bar, C-Bar
Pricing Bulk packaging discounts for fab-wide deployment
Standards SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57

應用

一般晶圓儲存

倉儲及短中期儲存,不需要極致化學或耐熱性的場合。

運輸與物流

適用於國內運輸及較低價值基板批次的經濟型晶圓卡匣運輸方案。

研發與試產線

適用於大學及企業研發晶圓廠的小批量、混合規格卡匣供應,這些場合成本考量優先於極致性能需求。

大規模廠區部署

大量採購方案,適用於晶圓廠在數十台設備及製程廠房中統一標準化採用單一經濟型卡匣。

品質與認證

標準PP卡匣在ISO 9001:2015認證品質管理下生產,並依SEMI E1/E15/E57進行尺寸驗證。雖非設計用於嚴苛化學或高溫用途,每批貨物均經過微粒計數以確保無塵室相容性。

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ISO 9001:2015 大量包裝折扣 提供客製化顏色 SEMI E1 · E15 · E57