PFA / PTFE 웨이퍼 카세트
HF, 피라냐 및 RCA 청정 습식 벤치 화학에 대해 거의 보편적인 내화학성을 갖춘 불소중합체 웨이퍼 카세트입니다.
개요
PFA(퍼플루오로알콕시) 및 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌) 카세트는 사용 가능한 모든 웨이퍼 캐리어 재료 중 가장 광범위한 내화학성을 제공합니다. 즉, 농축된 HF, HCl, H2SO₄, H2O2 및 RCA 세척 스테이션과 피라냐 에칭 스테이션에 사용되는 SC1/SC2 세척 화학물질에 대해 불활성입니다. PEEK가 고온에 탁월한 반면, 불소중합체는 공격적인 공정 화학물질 전반에 걸쳐 화학적 불활성이 뛰어납니다.
화학적 불활성 외에도 PFA와 PTFE는 오염에 민감한 프런트엔드 공정에 중요한 1ppb 미만의 추출 가능한 금속 수준과 로트 간 입자 접착 및 교차 오염을 최소화하는 부드럽고 달라붙지 않는 표면을 제공합니다. GINECHIP은 PEEK 라인과 동일한 개방형, H-Bar 및 C-Bar 구성으로 100mm~300mm 웨이퍼 직경에 걸쳐 PFA/PTFE 카세트를 공급합니다.
기술 사양
| Parameter | Available Range / Values |
|---|---|
| Material | PFA (perfluoroalkoxy), PTFE (polytetrafluoroethylene) |
| Wafer Diameter | 100mm (4″), 150mm (6″), 200mm (8″), 300mm (12″) |
| Slot Capacity | 25 slots (standard), 13 slots, 50 slots, custom slot counts |
| Temperature Range | -200°C to +260°C (PFA) |
| Chemical Resistance | Inert to concentrated HF, HCl, H₂SO₄, H₂O₂, SC1/SC2 chemistries |
| Extractable Metals | < 1 ppb |
| Surface Characteristics | Smooth, non-stick — minimizes particle adhesion |
| Configuration | Open cassette, H-Bar, C-Bar, SMIF Pod, FOUP-compatible |
| Standards | SEMI E1, SEMI E15, SEMI E57, SEMI E158 |
응용
RCA 클린, 피라냐 식각, HF 딥 및 BOE 식각 — PFA 및 PTFE는 품질 저하나 침출 없이 모든 범위의 프런트엔드 습식 화학 물질을 처리합니다.
CMP 후 슬러리 잔류물 환경에서의 웨이퍼 핸들링은 PFA의 비점착 표면과 화학적 불활성으로 로트 간 슬러리 입자 이월을 방지합니다.
추출 가능한 금속 수준이 1ppb 미만인 프런트 엔드 및 게이트 산화물 인접 처리를 통해 중요한 장치 레이어의 미량 금속 오염을 방지합니다.
PFA의 -200°C ~ +260°C 등급은 동일한 팹 내에서 극저온 샘플 처리부터 고온 확산 공정에 이르는 특수 공정을 지원합니다.
품질 및 인증
모든 PFA/PTFE 카세트는 IEST-RP-CC005에 따른 입자 계수 및 SEMI E1/E15/E57에 대한 치수 검증을 통해 ISO 9001:2015 인증 품질 관리에 따라 제조 및 포장됩니다. 추출 가능한 금속 수준은 오염이 중요한 응용 분야에 대해 로트별로 ICP-MS를 통해 검증됩니다.